[发明专利]用于薄膜材料的沉积和/或表面改性的电子束/微波气体喷射PECVD方法和设备无效
| 申请号： | 00819458.0 | 申请日： | 2000-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN1452778A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | M·伊朱;J·德勒;S·琼斯 | 申请（专利权）人： | 能源变换设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J7/24 | 分类号： | H01J7/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 材料 沉积 表面 改性 电子束 微波 气体 喷射 pecvd 方法 设备 | ||
【说明书】：
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