[发明专利]制备难溶薄涂层的方法无效
| 申请号： | 00805960.8 | 申请日： | 2000-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN1346412A | 公开（公告）日： | 2002-04-24 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安－赫伯特·菲舍尔;汉斯－于尔根·穆福勒;玛尔塔·克里斯蒂娜·勒克斯－施泰纳 | 申请（专利权）人： | 哈恩－迈特纳研究所柏林有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;H01L21/368;H01L31/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 难溶薄 涂层 方法 | ||
1、一种在任意形态的底材上制备难溶薄涂层的方法，它包括下列步骤，这些步骤可根据所需涂层的厚度循环执行，以制备陶瓷涂层或氧化物涂层(CL/OL)：
(I)将至少一种适当的起始物料(P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料层；
(II)在惰性气流(GS)中或通过蒸发使所形成的起始物料涂层(PL)干燥；
(III)在干燥后的起始物料涂层(PLD)中通入潮湿的反应气体(RG)，使其转化成相应的氢氧化物涂层或络合物涂层(HL)；
(IV)热处理所形成的氢氧化物涂层或络合物涂层(HL)，使其形成最终涂层(CL/OL)；接着
如果有未转化的起始物料成分或不需要的副产物
(V)进行洗涤分离，然后干燥。
2、一种在任意形态的底材上制备难溶薄涂层的方法，它包括下列步骤，这些步骤可根据所需涂层的厚度循环执行，以制备金属涂层：
(I)将至少一种适当的起始物料(P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料层；
(II)在惰性气流(GS)中或通过蒸发使所形成的起始物料涂层(PL)干燥；
(III)在干燥后的起始物料涂层(PLD)中通入潮湿的、还原性的反应气体(RG)，使其转化成金属涂层；
(IV)热处理所形成的金属涂层，分离未转化的起始物料成分或不需要的副产物。
3、一种在任意形态的底材上制备难溶薄涂层的方法，它包括下列步骤，这些步骤可根据所需涂层的厚度循环执行，以制备硫属化物涂层(CHL)：
(I)将至少一种适当的起始物料(P)涂覆到底材表面(S)上，形成起始物料层；
(II)在惰性气流(GS)中或通过蒸发使所形成的起始物料涂层(PL)干燥；
(III)在干燥后的起始物料涂层(PLD)中通入潮湿的反应气体(RG)，使其转化成相应的氢氧化物涂层或络合物涂层(HL)；
(IIIa)在氢氧化物涂层或络合物涂层(HL)中通入另外的、含硫属化氢化合物的反应气体(CRG)，形成硫属化物的最终涂层(CHL)：
(IV)热处理所形成的氢氧化物涂层或络合物涂层(HL)和/或硫属化物的最终涂层(CHL)。
4、如权利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，所述的热处理(IV)或者通过在各涂层形成之后进行单独加热而完成，或者通过提高其形成过程中的过程温度(TP)来完成。
5、如权利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，所述的至少一种的起始物料(P)优选与易挥发的溶剂形成溶液，所述溶液在底材(S)上的涂覆是通过浸渍法(LB)或喷雾法完成。
6、如权利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，所述的起始物料(P)是盐。
7、如权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，所述潮湿的反应气体(RG)优选是碱性的反应性气体或气态水。
8、如权利要求1至7之一所述的方法，其特征在于，所述起始物料(P)是不同化合物的混合物。
9、如权利要求1至8之一所述的方法，其特征在于，在各自的循环步骤中使用不同的起始物料(P)，特别是按重复的顺序进行。
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