[发明专利]真空镀膜机无效
| 申请号： | 00113303.9 | 申请日： | 2000-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1311348A | 公开（公告）日： | 2001-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张石权;任小明;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 张石权;黄国兴 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/34 |
| 代理公司： | 湘潭市专利事务所 | 代理人： | 成晓红 |
| 地址： | 411100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【说明书】：
本发明涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，特别是一种真空镀膜机。
众所周知，利用真空蒸发技术或溅射技术在塑料工件表面镀金属达到装饰或反射或导电的目的，现已成熟应用于工业生产，这种传统的真空镀膜机如图1所示。为了提高产量，现有的作法是加大真空室的直径，直径从1.2米到1.4米，1.6米，1.8米，甚至更大。为此配泵也越配越大，粗抽泵由一台变二台，精抽扩散泵由K600泵变为K800,K1000或两台K600并用，这样虽然产量能提高一些，但设备的大型化必然导致设备投资增大，配电增大，占地增大。表1是传统机型的有关数据一览表。
表1几种传统的镀膜机的有关数据
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