[发明专利]压电传感器和使用压电传感器的电泳油墨显示装置

权利要求书

1.一种薄膜压电传感器，包括在衬底上按第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层和第三电极层的顺序形成的上述各层，其中限制所述第一和第二压电薄膜层在厚度方向上不扩大或缩小。

2.根据权利要求1的薄膜压电传感器，其特征在于，所述第一、第二和第三电极层由铂和钛的多层结构形成。

3.根据权利要求1的薄膜压电传感器，其特征在于，所述第一和第二压电薄膜层由钛酸锆酸铅的压电材料组成。

4.根据权利要求1的薄膜压电传感器，其特征在于，任意的电压波形输入至所述第一压电薄膜层，而已经放大的所述任意电压波形被输出到所述第二压电薄膜层。

5.一种薄膜压电传感器，其特征在于，在其内形成空腔的支撑基底上形成第一电极层、压电薄膜层、第二电极层和第三电极层；在位于所述空腔上方的压电薄膜层上相互有间隙地成对形成所述第二电极层和第三电极层。

6.根据权利要求5的薄膜压电传感器，其特征在于，这样来形成所述第三电极层，使其跨在所述压电薄膜层的端面和上表面上。

7.根据权利要求5的薄膜压电传感器，其特征在于，在其内形成有所述空腔的支撑基底为单晶硅衬底。

8.根据权利要求5的薄膜压电传感器，包括在所述支撑基底和所述第一电极层之间的由锆酸盐薄膜构成的隔膜。

9.根据权利要求5的薄膜压电传感器，其特征在于，所述第一、第二和第三电极层由铂和钛的多层结构组成。

10.根据权利要求5的薄膜压电传感器，其特征在于，所述压电薄膜层由钛酸锆酸铅的压电材料组成。

11.根据权利要求5的薄膜压电传感器，其特征在于，在所述第一电极层和所述第二电极层上施加有任意的电压波形，而已经放大的所述任意的电压波形被输出到所述第一电极层和所述第三电极层之间。

12.一种电泳油墨显示装置，包括多个电泳油墨显示元件，该电泳油墨显示元件包括多个膜盒，膜盒内的颜色因膜盒内带电颗粒的移动而改变；该电泳油墨显示装置还包括：

多条栅极线，与栅极线交叉的多条数据线，以及配置在所述栅极线和数据线的交叉点上的薄膜晶体管；

其中，所述薄膜晶体管的一个源-漏与所述数据线连接；

所述薄膜晶体管的另一个源-漏与所述压电传感器的输入侧连接；和

所述压电传感器的输出侧与所述电泳油墨显示元件的电极连接。

13.根据权利要求12的电泳油墨显示装置，其特征在于，所述压电传感器与所述薄膜晶体管的上部可振动地连接。

14.根据权利要求12的电泳油墨显示装置，其特征在于，所述压电传感器包括在所述绝缘衬底上按第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层和第三电极层的顺序层叠的上述各层；以及

限制所述第一和第二压电薄膜层使其在厚度方向上不扩大或缩小。

15.根据权利要求14的电泳油墨显示装置，其特征在于，通过在所述压电传感器的上部形成柱形结构，并利用对面设置的衬底来按压所述柱形结构，以限制所述第一和第二压电薄膜层，使其在厚度方向上不扩大或缩小，在所述对面设置的衬底上形成有所述电泳油墨显示元件的上电极。

16.根据权利要求14的电泳油墨显示装置，其特征在于，所述第三电极层还具有所述电泳油墨显示元件下电极的功能。

17.根据权利要求14的电泳油墨显示装置，其特征在于，所述第一、第二和第三电极层由铂和钛的多层结构形成。

18.根据权利要求14的电泳油墨显示装置，其特征在于，所述第一和第二压电薄膜层由锆酸钛酸铅的压电材料形成。

19.根据权利要求14的电泳油墨显示装置，其特征在于，任意的电压波形输入至所述第一压电薄膜层，而已经放大的所述任意电压波形被输出到所述第二压电薄膜层。