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- [发明专利]甲硅烷基环戊二烯基钼和甲硅烷基烯丙基配合物及其在薄膜沉积中的应用-CN201580024681.8有效
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肖恩·盖瑞特;保罗·威廉姆斯
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默克专利股份有限公司
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2015-03-10
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2019-12-06
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C23C16/455
- .GIF" he="823" imgContent="drawing" imgFormat="GIF" inline="no" orientation="portrait" wi="601"/>其中,R1,R2,R3,R4,R5,R6,R7,R8,R9,和R10各自选自包含氢、烷基和三烷基甲硅烷基的组;且R1,R2,R3,R4,R5,R6,R7,R8,R9和R10中至少一个为三烷基甲硅烷基
- 硅烷基环戊二烯基钼丙基配合及其薄膜沉积中的应用
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