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[发明专利]一种覆盖parylene提升传感芯片灵敏度及重复利用的方法-CN202211691923.7在审
发明人：解意洋;姜文慧;徐晨;胡良臣;常鹏鹰;包蕾 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种覆盖parylene提升传感芯片灵敏度及重复利用的方法，采用nacl溶液进行实验测试，通过生长parylene前后分别测试两次，通过比较两次数据可以得到生长parylene对传感芯片的影响，并且，在生长parylene后的VCSEL传感芯片上，通过测试去除parylene前后的数据对比可以得到parylene是否完全去除，同理，在生长parylene的传感芯片上测试其他生物试剂，也可以通过去除parylene达到重复利用。
一种覆盖 parylene 提升传感芯片灵敏度重复利用方法

[发明专利]一种宇航级Parylene-C基薄膜及其制备方法-CN202310479832.5在审
发明人：牛虎;李岩;牛诺婕;刘泊天;刘超;汪洋;高鸿;邢焰 -专利权人：中国空间技术研究院
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种宇航级Parylene‑C基薄膜及其制备方法，属于航空航天材料技术领域。宇航级Parylene‑C基薄膜包括依次成型于待镀器件上的偶联剂层、Parylene‑C主体膜层、胶黏剂层和聚酰亚胺保护膜层。通过使用偶联剂，可使Parylene‑C更加牢固沉积在待镀器件表面；通过使用胶黏剂，可使聚酰亚胺牢固的粘结在在Parylene‑C薄膜表面；通过对Parylene‑C沉积工艺参数的优化，精准的控制了Parylene‑C主体膜层的厚度；通过对聚酰亚胺沉积工艺参数的优化，精准的控制了聚酰亚胺保护膜层的厚度；通过聚酰亚胺保护膜层对Parylene‑C主体膜层的涂覆，大幅提高了Parylene‑C基薄膜的抗辐照性能。本发明制备获得的一种宇航级Parylene‑C基薄膜材料，解决了现有Parylene系列薄膜厚度误差大、附着性能差以及抗辐照能力弱等问题。
一种宇航 parylene 薄膜及其制备方法

[发明专利]一种可重复使用的光学生物传感器芯片及实现光学生物传感器芯片重复使用的方法-CN202110836344.6在审
发明人：吕晓庆;黄北举;张欢;张赞 -专利权人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明光学生物传感器芯片的纳米结构表面附着有parylene C膜，且parylene C膜与抗体及抗原偶联；利用parylene C使光学生物传感芯片的纳米结构与抗体及其抗原偶联，待检测完成后，将parylene本发明利用parylene C膜作为光学生物传感芯片纳米结构和特异性抗体之间的偶联桥梁，采用特定的parylene C生长厚度及去除方法，不影响纳米结构表面性质，芯片可再次生长parylene C，光谱结果显示，去除parylene C后的芯片与初始芯片光谱完全重合。
一种重复使用光学生物传感器芯片实现方法

[发明专利]一种基于Parylene涂层的避雷器及涂层加工方法-CN202310297642.1在审
发明人：刘思远;王柳丹;金敬勇;陈金超;陈奕帆;薄祥来;刘志远;耿英三;王建华 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01C1/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Parylene涂层的避雷器及涂层加工方法，所述基于Parylene涂层的避雷器包括避雷器以及Parylene涂层，其中Parylene涂层涂在避雷器阀芯柱和复合外套上，通过Parylene
一种基于 parylene 涂层避雷器加工方法

[实用新型]一种套管式具有Parylene涂层的电极-CN202320452388.3有效
发明人：霍义宏;曾建辉;韩岩智;周虎;黄晓俊 -专利权人：武汉合畅慧通医疗科技有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种套管式具有Parylene涂层的电极，从内至外依次设有电极丝、内层Parylene涂层、导电金属套管和外层Parylene涂层，设所述电极丝的直径为a，所述内层Parylene涂层的厚度为b，所述导电金属套管的厚度为c，所述外层Parylene涂层的厚度为d，则a＞b＞c，a＞d≥b。本套管式具有Parylene涂层的电极通过在电极的内外层设置Parylene涂层，使其具备优良的绝缘性和防护性能，通过对各层厚度和相对比值进行控制，能够让其在较小的尺寸下，兼具柔韧性和强度，在内外层绝缘的环境中电极丝和导电金属套管具有优良导电性
一种套管具有 parylene 涂层电极

[发明专利]LED模组的防水密封结构及其制备工艺-CN200910054820.8无效
发明人：姜标;陈锦峰;王万军 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2009-07-15 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： F21V31/00 文献下载
摘要：LED模组的防水密封结构包括LED元件、基板、电极、线路板，LED模组整体表面包覆一层parylene薄膜，薄膜厚度为3～25μm，该薄膜均匀、致密、透明、无任何孔隙且完全敷形，从而使LED模组处于良好的密封状态所述的parylene薄膜为parylene N、parylene C、parylene D、parylene VT4中的一种。
led 模组防水密封结构及其制备工艺

[实用新型]LED屏幕保护膜-CN201420031354.8有效
发明人：刘双良;雷志钵 -专利权人：东莞市华星纳米科技有限公司
申请日： 2014-01-17 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： B32B9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LED屏幕保护膜，包括Parylene膜层和UV-cut膜层，其中Parylene膜层涂覆于LED屏幕的表面，该UV-cut膜层涂覆于Parylene膜层的表面。Parylene膜层能够在LED屏幕表面形成无气孔的优质防护层，对LED屏幕具有保护效果好特点，同时在Parylene膜层的表面涂覆有一层UV-cut膜层，该膜层具有很好的耐盐雾、耐酸碱和抗紫外的性能，即可以弥补普通Parylene膜层受紫外光线照射快速老化的缺陷，综上所述，本实用新型LED屏幕保护膜具有保护效果好和使用寿命长的特点。
led 屏幕保护膜

[发明专利]一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法-CN201610785127.8在审
发明人：王任鑫;张国军;任子明;白冰;贾传令;薛晨阳 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法，包括以下步骤（a）Parylene薄膜淀积在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的Parylene薄膜；（b）利用ICP刻蚀机对Parylene薄膜进行加工，采用SF6进行等离子体处理，在Parylene薄膜表面就形成高疏水表面。本发明利用Parylene薄膜的绝缘性，基于仿荷叶自洁效应的疏水处理方式，然后采用SF6等离子处理在Parylene薄膜表面形成高疏水表面，实现了微结构的电绝缘自清洁，具有一致性好、可批量加工的优点。
一种 mems 风速计绝缘清洁封装方法

[发明专利]一种基于Parylene涂层的真空灭弧室和制造方法-CN202310020893.5在审
发明人：刘思远;王柳丹;金敬勇;陈金超;陈奕帆;薄祥来;刘志远;耿英三;王建华 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01H33/662 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Parylene涂层的真空灭弧室和制造方法，包括Parylene涂层；所述Parylene涂层设置在真空灭弧室的内部；所述Parylene涂层的涂覆部位包括真空灭弧室外壳的内壁、屏蔽罩的外壁、静端端盖和动端端盖；所述Parylene涂层的原料为聚对二甲苯，二氯代聚对二甲苯和一氯代聚对二甲苯。
一种基于 parylene 涂层真空灭弧室制造方法

[发明专利]一种半镀膜药用胶塞的制法-CN200710114125.7有效
发明人：扈永刚;晁祥庆;郑述玲 -专利权人：山东省药用玻璃股份有限公司
申请日： 2007-11-09 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： A61J1/14 文献下载
摘要：一种半镀膜药用胶塞的制法，属于药用包装领域，其特征是，包括一次硫化成型、镀膜、胶塞除边、二次硫化成型，所述镀膜是采用气相沉积法为药用胶塞镀parlene膜；所述的Parylene膜为：ParyleneC、Parylene D、Parylene N、Parylene HT中的一种。
一种镀膜药用制法

[发明专利]一种Parylene粉末在铁基软磁复合材料中的应用方法-CN202110324265.7在审
发明人：周辰虹;陈秉辉;朱林辉;叶松寿;张诺伟 -专利权人：福建尚辉润德新材料科技有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H01F1/26 文献下载
摘要：本发明提供一种Parylene粉末在铁基软磁复合材料中的应用方法，利用Parylene易升华的特点，通过加热升华将其包覆在绝缘包覆的铁基磁粉的表面，作为绝缘包覆的铁基磁粉在压制成型时润滑剂，退火时在高温下Parylene发生升华，能较为完全的除去。即使加入较多量的Parylene，经过退火后，获得的铁基软磁复合材料的碳含量较低，保持了较好的磁性能。
一种 parylene 粉末铁基软磁复合材料中的应用方法

[发明专利]一种Parylene F型气相沉积方法-CN202110246284.2有效
发明人：刘佳男;王燕;黄洪文 -专利权人：贵州航天林泉电机有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明属于Parylene F型气相沉积技术领域，具体涉及一种Parylene F型气相沉积方法；通过对蒸发工艺和裂解工艺的优化改进，Parylene F型此种较难沉积的原料也可获得较快的蒸发速率，膜层成分纯净性能优异，且未对国内普遍的Parylene气相沉积设备做出改动，在保证膜层性能的前提下大幅提升了加工效率。
一种 parylene 型气相沉积方法

[实用新型]一种多层MINILED线路板-CN202320021291.7有效
发明人：吴瑜;严浩;钟鹏程 -专利权人：广德通灵电子有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多层MINILED线路板，涉及MINILED线路板领域，包括第一线路层和第二线路层，第一线路层和第二线路层之间连接有铜箔层，第一线路层的一侧设有第一保护层，第一保护层远离第一线路层的一侧设有第一parylene镀层，第二线路层的一侧设有第二保护层，第二保护层远离第二线路层的一侧设有第二parylene镀层；通过设置的第一parylene镀层和第二parylene镀层，具有防水效果，所以第一parylene镀层和第二parylene镀层可以将第一线路层和第二线路层保护起来，使第一线路层和第二线路层具有良好的防水效果。
一种多层 miniled 线路板

[发明专利]一种测量燃料电池局部温度用薄膜热电偶制作方法-CN201810783958.0在审
发明人：丁靖;唐于晴;蔡赛杰;屈治国;陶文铨 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L35/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量燃料电池局部温度用薄膜热电偶制作方法，在硅片上镀一层牺牲层；在牺牲层上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的下层保护层；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铜镍合金，去除多余铜镍合金得到图案化的铜镍电极；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铜，去除多余的铜得到图案化的铜电极；在铜镍电极和铜电极上沉积一层Parylene薄膜作为薄膜热电偶的上层保护层；在Parylene薄膜上旋涂光刻胶进行图案化，然后镀一层铝，去除多余的铝得到图案化的硬掩膜，然后刻蚀Parylene薄膜，露出电极引脚并在薄膜上刻蚀通流孔；将牺牲层溶解掉，将薄膜从硅片上剥离下来得到薄膜热电偶
薄膜热电偶图案化光刻胶牺牲层去除上旋测量燃料电池铜镍电极铜镍合金铜电极硅片刻蚀薄膜沉积制作上层保护层下层保护层电极引脚测温点通流孔硬掩膜溶解剥离

[发明专利]一种基于Parylene的三维针尖电极阵列的制作方法-CN200810119952.X有效
发明人：李志宏;黄贤炬 -专利权人：北京大学
申请日： 2008-09-12 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种基于Parylene的三维针尖电极阵列的制作方法，其特征是，利用硅三维针尖阵列制备出基于Parylene柔性衬底的三维针尖电极阵列，该电极阵列是一种类似于三明治结构的Parylene-金属层-Parylene
一种基于 parylene 三维针尖电极阵列制作方法

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