专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]Ge衬底制备超薄氧化锗界面修复层的方法-CN201310723739.0无效
  • 刘洪刚;韩乐;王盛凯;孙兵;常虎东;赵威 - 中国科学院微电子研究所
  • 2013-12-25 - 2014-03-19 - H01L21/285
  • 本发明公开了一种在Ge衬底制备超薄氧化锗界面修复层的方法,包括:选择Ge衬底,去除Ge衬底表面的自然氧化层,然后将其转移到原子层沉积系统的腔体中,在Ge衬底表面沉积一层Al2O3薄膜作为热氧化过程中的O2阻挡层;将表面沉积有Al2O3薄膜的Ge衬底放入快速退火炉中,在O2氛围下利用热氧化方式在Al2O3/Ge界面处形成一层超薄GeOx界面层;将在Al2O3/Ge界面处形成有超薄GeOx界面层的Ge衬底放入原子层沉积反应腔体中,在Al2O3薄膜上沉积高k栅介质;利用快速退火炉对其先后进行栅介质沉积后退火及低温氧气退火,进一步提升氧化物栅介质质量,改善高k介质/Al2O3/GeOx/Ge界面质量。该方法还适用于Ge基MOS电容、MOSFET及其他含有Ge基栅叠层的器件。
  • ge衬底制备超薄氧化界面修复方法
  • [发明专利]一种制备室温铁磁性Ge掺杂GaN粉体的方法-CN201310207534.7无效
  • 简基康;毛德意 - 新疆大学
  • 2013-05-30 - 2013-09-04 - C01B21/06
  • 本发明公开了Ge掺杂GaN室温铁磁性纳米粉体的制备方法,属于纳米材料及其制备的技术领域。采用直接氮化反应法制备了Ge掺杂GaN粉体。以高纯Ga2O3粉、高纯Ge粉或GeO2粉、NH3气分别作为Ga源、Ge源和N源。将Ga2O3粉和Ge粉或GeO2粉充分混合后置于水平管式炉加热区。将管式炉抽真空至9×10-3Pa,通入Ar气,并对管式炉进行加热。当管式炉加热区的温度达到1000-1100℃时,通入100-250sccm的NH3气并保温1-4h。关掉NH3气,自然冷却到室温,得到样品。本发明的特点是:方法简单,成本低,产率高,对环境危害小,易于推广。
  • 一种制备室温铁磁性ge掺杂gan方法
  • [发明专利]一种采用原位臭氧氧化制备氧化锗界面修复层的方法-CN201310723730.X无效
  • 刘洪刚;韩乐;王盛凯;孙兵;常虎东;赵威 - 中国科学院微电子研究所
  • 2013-12-25 - 2014-03-26 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种采用原位臭氧氧化制备氧化锗界面修复层的方法,该方法包括:选择Ge衬底,去除Ge衬底表面的自然氧化层,然后将其转移到原子层沉积系统的腔体中,在Ge衬底表面沉积一层Al2O3薄膜作为氧化过程中的O3阻挡层;利用原子层沉积系统中的前驱体O3作为氧化剂,在Al2O3Ge界面处氧化形成一层GeOx界面层;将在Al2O3Ge界面处形成有超薄GeOx界面层的Ge衬底放入原子层沉积反应腔体中,在Al2O3薄膜上沉积高k栅介质;利用快速退火炉对其先后进行栅介质沉积后退火及低温氧气退火,进一步提升氧化物栅介质质量,改善高k介质/Al2O3/GeOx/Ge界面质量。本发明实现了Ge基MOS器件中栅叠层所要求的界面稳定性与高质量,适用于Ge基MOS电容、MOSFET及其他含有Ge基栅叠层的器件。
  • 一种采用原位臭氧氧化制备界面修复方法
  • [发明专利]Ba3Ge2B6O16:Eu3+发光材料及其制备方法-CN201510438963.4有效
  • 刘志宏;孔娜 - 陕西师范大学
  • 2015-07-23 - 2017-05-17 - C09K11/66
  • 本发明公开了一种Ba3Ge2B6O16Eu3+发光材料及其制备方法,该发光材料是以GeO2、BaCO3、H3BO3、H2O和Eu2O3为原料,先采用水热反应法制备成Ba3[Ge2B7O16(OH)2](OH)(H2O)Eu3+前驱体,然后将该前驱体高温焙烧相转化得到Ba3Ge2B6O16Eu3+发光材料。本发明方法原料易得,操作简单,与采用传统高温固相法制备的Ba3Ge2B6O16Eu3+发光材料相比,本发明制备得到的发光材料具有发光强度高、红橙比高、色纯度高的性能,可应用于显示、显像、光源等不同领域中
  • basubge16eusup发光材料及其制备方法
  • [发明专利]一种优化堆叠栅介质与锗界面的方法-CN201610053917.7在审
  • 李成;池晓伟;陈松岩;黄巍 - 厦门大学
  • 2016-01-27 - 2016-04-27 - H01L21/28
  • Ge衬底进行清洗,去除有机污染物、氧化物和金属杂质等物质;将清洗后的Ge衬底放入原子层沉积系统中,沉积一层Al2O3薄膜,实现对Ge衬底的表面钝化,获得Al2O3/Ge结构;将Al2O3/Ge结构样品进行湿法退火处理,实现Al2O3/Ge界面态的优化;在处理后的样品上生长HfO2高K介质;将获得的样品正面固定在掩膜板上,放入磁控溅射机中沉积金属层作为上电极,在样品Ge衬底的背面溅射金属层作为背电极,即得MOS可优化高K介质/Ge界面态,并能维持钝化层的热稳定性,可减小工艺流程和时间成本。
  • 一种优化堆叠介质界面方法

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