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[实用新型]一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置-CN201921000339.6有效
发明人：张青涛;饶杰奎;解孝辉 -专利权人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。
电离规高真空冷阴极性能检测装置真空室真空磁控溅射设备真空泵系统检测真空室抽真空本实用新型罗茨真空泵涡轮分子泵旋片真空泵直流电源电压表真空计停机生产

[发明专利]一种磁控溅射阴极移动靶-CN201210195444.6无效
发明人：王振东 -专利权人：沈阳新瑞真空设备有限公司
申请日： 2012-06-14 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种磁控溅射阴极移动靶，包括密闭的真空容器，溅射靶材，加热器，挡板，阴极支撑座，阴极水冷背板，阴极水冷真空密封座，磁体，阴极体移动真空密封系统，工件；被镀工件从加热器和挡板之间经过，在密闭的真空容器中安装有移动阴极体，移动阴极体包括阴极体移动真空密封系统，在密闭的真空容器外实现阴极体的精确移动；磁体通过胶水黏在阴极水冷真空密封座上；阴极水冷背板与阴极支撑座组成阴极体的移动部分，溅射靶材通过机械固定方式固定阴极水冷背板上
一种磁控溅射阴极移动靶

[实用新型]一种磁控溅射阴极移动靶-CN201220279260.3有效
发明人：王振东 -专利权人：沈阳新瑞真空设备有限公司
申请日： 2012-06-14 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种磁控溅射阴极移动靶，包括密闭的真空容器，溅射靶材，加热器，挡板，阴极支撑座，阴极水冷背板，阴极水冷真空密封座，磁体，阴极体移动真空密封系统，工件；被镀工件从加热器和挡板之间经过，在密闭的真空容器中安装有移动阴极体，移动阴极体包括阴极体移动真空密封系统，在密闭的真空容器外实现阴极体的精确移动；磁体通过胶水黏在阴极水冷真空密封座上；阴极水冷背板与阴极支撑座组成阴极体的移动部分，溅射靶材通过机械固定方式固定阴极水冷背板上
一种磁控溅射阴极移动靶

[实用新型]一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置-CN202020082389.X有效
发明人：许建平;陈晶;于久灏 -专利权人：黑龙江省海振科技有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B23K10/02 文献下载
摘要：为了提高空心阴极真空电弧的高频引弧效率，本实用新型提出了一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置。本实用新型对夹持空心阴极的结构进行电绝缘处理，避免夹持空心阴极的结构出现辉光放电，实现高频方式快速引燃空心阴极真空电弧。所述一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置的特征主要包括：带有高频发生器的电弧电源、水冷套、空心阴极、工件、真空室、真空抽气系统、聚四氟乙烯的圆盘结构、聚四氟乙烯的圆筒结构、陶瓷筒、陶瓷冒、法兰盘、螺母、阴极夹等，带有高频发生器的电弧电源的阴极和阳极分别与空心阴极和工件连接。本实用新型的引弧稳定性优良，操作工艺简单，适于真空电弧技术在工业生产中推广应用。
一种高频引燃空心阴极真空电弧结构装置

[实用新型]一种多空心阴极的大电流真空电弧阴极结构装置-CN202121643754.0有效
发明人：许建平;陈晶;李青川 -专利权人：黑龙江省海振科技有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B23K9/24 文献下载
摘要：为了解决单一空心阴极承载大电流时使用寿命短的问题，本实用新型公开了一种多空心阴极的大电流真空电弧阴极结构装置。本实用新型采用多空心阴极的协同放电结构。所述一种多空心阴极的大电流真空电弧阴极结构装置的特征主要包括：主空心阴极、右空心阴极、左空心阴极、阳极、右电源、主电源、左电源、左进气、主进气、右进气、聚四氟乙烯绝缘套、聚四氟乙烯绝缘板、抽真空系统、阴极法兰、真空室、左阴极夹、主阴极夹、右阴极夹等。本实用新型的空心阴极真空电弧的总电流大，使用寿命长。
一种空心阴极电流真空电弧结构装置

[发明专利]一种真空管阴极发射能力的测量方法-CN202310153929.7在审
发明人：刘本田;胡强;陈波;王晓洁 -专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开一种真空管阴极发射能力的测量方法，该方法可用于真空管生产制造、测试、故障判断、长期储存后恢复、寿命终止判定等情况下，测量真空管(如：回旋管、速调管、行波管)阴极的发射能力。真空管阴极发射能力是真空管质量的重要判定，阴极发射下降意味着产品寿命终结，本方法可对阴极发射能力进行直接判定，从而判断真空管的当前状态。本发明使用微安表及外围电路实现阴极发射能力的测量，在阴极灯丝加点的同时开展测量。典型地，本方法用于回旋管产品的阴极发射能力的判定。
一种真空管阴极发射能力测量方法

[发明专利]狭缝镀膜装置-CN202010559361.5在审
发明人：马永胜;孙飞;黄涛;刘佰奇;郭迪舟;何平;董海义 -专利权人：中国科学院高能物理研究所
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请提出一种狭缝镀膜装置，包括：法兰、阴极丝、阴极丝固定结构，其中，法兰的个数为两个，两个法兰平行放置，用于固定待镀膜的真空管，阴极丝固定在真空管的中心位置，阴极丝固定结构设置在阴极丝上，用于固定阴极丝；其中，阴极丝上每间隔预设距离设置一个阴极丝固定结构。由此，采用阴极丝固定结构将阴极丝稳定固定，以保证阴极丝处于拉直且不短路的状态，实现了在真空管内壁进行镀膜过程中等离子体辉光放电时阴极丝处于拉紧状态且不会被拉断，解决了现有技术中对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路、阴极丝断裂等现象影响对真空管进行镀膜的技术问题，从而保证了镀膜能够正常进行。
狭缝镀膜装置

[实用新型]基于直流磁控溅射方法的狭缝镀膜装置-CN202021140555.3有效
发明人：马永胜;孙飞;黄涛;刘佰奇;郭迪舟;何平;董海义 -专利权人：中国科学院高能物理研究所
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请提出一种基于直流磁控溅射方法的狭缝镀膜装置，包括法兰、阴极丝、阴极丝固定结构，其中，法兰的个数为两个，两个法兰平行放置，用于固定待镀膜的真空管，阴极丝固定在真空管的中心位置，阴极丝固定结构设置在阴极丝上，用于固定阴极丝；其中，阴极丝上每间隔预设距离设置一个阴极丝固定结构。由此，采用阴极丝固定结构将阴极丝稳定固定，以保证阴极丝处于拉直且不短路的状态，实现了在真空管内壁进行镀膜过程中等离子体辉光放电时阴极丝处于拉紧状态且不会被拉断，解决了现有技术中对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路、阴极丝断裂等现象影响对真空管进行镀膜的技术问题，从而保证了镀膜能够正常进行。
基于直流磁控溅射方法狭缝镀膜装置

[发明专利]空心阴极真空电子发射性能测试装置、方法及筛选方法-CN201711403358.9在审
发明人：谷增杰;张天平;郭宁;顾左;杨威;李娟;杨福全;唐福俊;王润福 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种空心阴极真空电子发射性能测试装置、方法及筛选方法。使用本发明能够直接测试已装配的空心阴极产品的真空电子发射性能，并可同步进行空心阴极激活特性、点火条件、放电特性等测试试验，能够全面反映空心阴极的产品性能。本发明装置包括：空心阴极、非接触式测温装置、微电流测试仪、真空舱、平板阳极、供电系统、贮供系统、真空获得系统。在高真空环境中利用空心阴极加热器预热发射体，在触持极上接恒流稳压控制电源接收从发射体通过阴极顶节流孔引出的电子，用微电流测试仪检测触持极电子电流，并通过测温装置测量阴极顶温度，微电流测试仪读数即为当前空心阴极加热温度及真空度下的空心阴极真空电子发射能力
空心阴极真空电子微电流测试仪发射性能测试装置发射体非接触式测温装置供电系统空心阴极加热器稳压控制电源真空获得系统筛选阴极高真空环境测量阴极测试试验测温装置产品性能点火条件电子电流发射能力放电特性平板阳极直接测试节流孔真空舱预热恒流加热装配激活检测

[实用新型]一种双阴极气体捕集型真空泵-CN201721916210.0有效
发明人：邵文生;于志强;高玉娟 -专利权人：中国电子科技集团公司第十二研究所
申请日： 2017-12-31 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： F04B37/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种双阴极气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，该阴极组件包括两个阴极。本实用新型双阴极气体捕集型真空泵本实用新型所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极，实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵，可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。
真空泵本实用新型捕集型双阴极阴极阴极组件阳极电子器件陶瓷芯柱小型真空真空维持电压低磁铁壳体引针应用

[发明专利]一种活性空心阴极真空电弧焊接装置及方法-CN201510869505.6在审
发明人：许建平;陈晶;齐海群;王佳杰;于久灏 -专利权人：黑龙江工程学院
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： B23K9/16 文献下载
摘要：一种活性空心阴极真空电弧焊接装置及方法，它涉及一种电弧焊接装置及方法，具体涉及一种活性空心阴极真空电弧焊接装置及方法。本发明为了解决现有空心阴极真空电弧焊接熔化效率较低，熔化深度较浅的问题。本发明包括空心阴极、活性剂、焊接电源、工作气体、真空室和抽气机构，空心阴极设置在真空室内，工件设置在空心阴极的下方，焊接电源的阴极与空心阴极连接，焊接电源的阳极与工件连接，活性剂涂覆在工件的上表面上，工作气体填充在空心阴极内，抽气机构与真空室的排气口连接。
一种活性空心阴极真空电弧焊接装置方法

[实用新型]一种可双向调节的活性空心阴极真空电弧焊装置-CN202020145268.5有效
发明人：许建平;陈晶;于久灏;王景旭 -专利权人：黑龙江省海振科技有限公司
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： B23K9/00 文献下载
摘要：一种可双向调节的活性空心阴极真空电弧焊装置，它涉及一种活性空心阴极真空电弧焊装置，具体涉及一种可双向调节的活性空心阴极真空电弧焊装置。本实用新型为了解决现有活性空心阴极真空电弧焊装置虽然能够提高焊接生产效率，但是，其空心阴极是固定不可调的，工件也无法实时移动，影响焊接精度的问题。本实用新型包括空心阴极移动机构和工件夹具机构，所述空心阴极移动机构安装在真空室内壁上，空心阴极安装在所述空心阴极移动机构上，所述工件夹具机构安装在真空室内的底面。本实用新型属于焊接领域。
一种双向调节活性空心阴极真空电弧焊装置

[发明专利]光阴极微波电子枪-CN202010664695.9有效
发明人：李任恺;黄鹏玮;杜应超;郑连敏;唐传祥;黄文会;陈怀璧;施嘉儒 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。
阴极微波电子枪

[实用新型]磁控阴极溅射镀膜工艺室-CN201320412833.X有效
发明人：陆仁立 -专利权人：重庆春江镀膜玻璃有限公司
申请日： 2013-07-11 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及玻璃镀膜生产技术领域，公开一种磁控阴极溅射镀膜工艺室，包括依次连通的入口气锁室、入口真空缓冲腔室、磁控阴极溅射镀膜真空腔室、出口真空缓冲腔室和出口气锁室，所述入口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室，磁控阴极溅射镀膜真空腔室包括至少16个溅射单元腔室，所述出口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室；本实用新型的磁控阴极溅射镀膜工艺室，在磁控阴极溅射镀膜真空腔室两端设置真空缓冲室和锁定室，可有效降低玻璃基片进出磁控阴极溅射镀膜真空腔室造成的气体泄漏，提高磁控阴极溅射镀膜真空腔室的真空度，并使其维持在稳定的水平，从而提高镀膜质量。
阴极溅射镀膜工艺

[发明专利]一种制备金属粉体的系统及方法-CN201811364011.2在审
发明人：杨武保 -专利权人：安世亚太科技股份有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： B22F9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备金属粉体的系统及方法，所述系统包括：真空腔室；阴极，位于所述真空腔室的一侧，所述阴极与所述真空腔室动态密封连接，所述阴极通过阴极进给机构固定并逐步进料；阳极，所述阳极位于所述真空腔室的另外一侧，所述阴极与所述阳极相对；电源，为所述制备金属粉体的系统提供动力，所述电源的正极与所述阳极相连，所述电源的负极与所述阴极相连；粉体收集系统，位于所述真空腔室底部；真空系统，用于对真空腔室抽真空，所述真空系统与真空腔室密封连通
一种制备金属系统方法

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