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- [发明专利]快速热退火的方法-CN03123664.2有效
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张耀元;周世良;李若玺;林宗德;曾国佑;练文政
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旺宏电子股份有限公司
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2003-05-12
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2004-11-24
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C30B33/02
- 本发明是关于一种快速热退火的方法，其制程是在快速热退火装置中对一晶圆进行第一快速热退火步骤，并监测一制程参数，判断该制程参数的实测值是否超出一第一制程参数范围，其中第一制程参数范围是为第一快速热退火制程正常进行时的制程参数加减一第一预定数值，接着进行一第二快速热退火步骤，并监测该制程参数，判断制程参数的实测值是否超出一第二制程参数范围，其中该第二制程参数范围是为此制程参数加减一第二预定数值，且第一制程参数范围大于第二制程参数范围。本发明制程能够在快速热退火步骤的初期检测出该快速热退火制程的制程稳定性；并能够在热退火制程不稳定时，在快速热退火步骤的初期就停止快速热退火制程，而可避免晶圆报废。
- 快速退火方法
- [发明专利]一种航空零部件的增材制造方法-CN202310941805.5在审
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祝世超;陈文纲;龙兵;张道;王真玮
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无锡世超智能制造科技有限公司
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2023-07-28
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2023-10-24
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B22F10/28
- 本发明公开一种航空零部件的增材制造方法，包括以下步骤：S1:采用仿真软件，对航空零部件的模型添加支撑，进行制造仿真，所述制造仿真包括SLM成形仿真、退火工艺仿真，通过所述退火工艺仿真获得优化的退火工艺参数；S2:金属3D打印部件；S3:依次从基板上切除航空零部件、采用S1步骤仿真得到的退火工艺参数进行退火、冷却、移除支撑。方法包含退火工艺，可以减小残余应力和变形，提高零件的性能和质量。而通过制造仿真包括SLM成形仿真、退火工艺仿真，可以通过调整参数，如退火温度、保温时间等获得残余应力值、位移变形值、表面偏差值的变化，利用正交实验对退火过程进行比较，获得优化的退火工艺参数，选择最优的工艺以达到最佳的效果
- 一种航空零部件制造方法
- [发明专利]退火炉的人机接口系统-CN201310370322.0无效
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李茂诚
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协鋐机电有限公司
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2013-08-22
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2015-03-18
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F27D19/00
- 本发明涉及一种退火炉的人机接口系统，远程连接于一退火炉，人机接口系统包括一参数设定机构、一控制机构、一PID温控机构、以及一远程传输机构，参数设定机构连接控制机构及PID温控机构，用以输入一参数设定信息，控制机构接收参数设定信息，经远程传输机构而据以发出控制信号控制退火炉的相关机构，PID温控机构接收参数设定信息以及退火炉的温度感控机构的温度感测信息，经远程传输机构而据以发出一温控信号控制退火炉的加热机构，退火炉的众多信息整合于人机接口系统，使得操作人员能够简易而快速的于远程操作退火炉，而有较佳的安全性和处理效率。
- 退火炉人机接口系统
- [发明专利]一种退火炉均温控制方法-CN202210803177.X在审
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葛平平;郭斗斗;汪文宁
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安徽绿能技术研究院有限公司
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2022-07-07
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2022-10-04
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C21D9/00
- 本发明公开了一种退火炉均温控制方法，属于退火炉控温技术领域，具体方法包括：步骤一：获取退火炉设备信息，建立退火炉模型；步骤二：获取退火炉的各个加热区分布信息，并在退火炉模型中进行相应的标记，在退火炉模型内动态更新加热区，获得对应的温控区域；步骤三：通过温度巡检仪获取各个温控区域内的温度，将采集的温度数据输入到温差模型中，获得对应的差异区域数据；步骤四：基于获得的差异区域数据生成对应控制参数，根据获得的控制参数进行相应的功率调节器输出功率调整，完成退火炉的均温控制；通过生成对应的控制参数实现退火炉内的温度调整，保障退火炉内的温度均匀性。
- 一种退火炉温控方法
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