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[实用新型]一种声表面波谐振器组件和滤波器-CN202123143639.X有效
发明人：牛青山;韦鹏;邓士宝;陆增天 -专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种声表面波谐振器组件和滤波器，涉及半导体领域，该谐振器组件包括压电基底和形成在压电基底上的若干个谐振器组，每个谐振器组包括多个串联连接的谐振器，每个谐振器包括叉指换能器和反射栅，叉指换能器和反射栅在声表面波传播方向上排列，反射栅设置于叉指换能器的两侧；每个谐振器组在垂直声表面波传播方向的两侧设置有汇流条；多个串联连接的谐振器中两侧谐振器的孔径小于中间谐振器的孔径。本申请通过改变串联连接的谐振器的结构设计，调节多个谐振器间的散热情况，增加了叉指换能器整体的抗应力迁移能力，进而提升整个声表面波滤波器的功率耐受特性。
一种表面波谐振器组件滤波器

[发明专利]弹性表面波谐振器以及梯型滤波器-CN200880110814.3有效
发明人：田中伸拓 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2008-08-01 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明提供能够充分提高反共振频率下的阻抗、可改善构成梯型滤波器时的滤波器特性的弹性表面波谐振器。弹性表面波谐振器(1)，对IDT电极(3)进行交叉幅度加权，使交叉幅度随着向弹性表面波传播方向外侧而减少，第1母线(11)的内侧边(11a)具有相对于第1母线(11)侧的包络线部分(B1)相隔一定距离配置的倾斜的倾斜部分(11a1、11a2)，第2母线的内侧边(12a)具有与第2母线(12)侧的包络线部分(B2)相隔一定距离配置的倾斜部分(12a1、12a2)，在向弹性表面波传播方向延伸的直线从至少一个电极指(13、15
弹性表面波谐振器以及滤波器

[发明专利]弹性表面波装置、通信装置-CN03120055.9有效
发明人：高峰裕一;沢田曜一 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2003-02-17 - 公布日： 2003-08-27 - 主分类号： H04Q7/32 文献下载
摘要：提供一种减小滤波特性的最大插入损耗、扩大频带宽度、从而改善VSWR的纵结合谐振器型弹性表面波滤波器。在压电基板上至少带有一个沿弹性表面波的传播方向具有至少2个IDT的弹性表面波滤波器201、202，并带有与纵结合谐振器型弹性表面波滤波器201、202串联连接的至少一个弹性表面波谐振器221－224。将谐振频率设定为位于纵结合谐振器型弹性表面波滤波器201、202的通频带内，将反谐振频率设定为位于纵结合谐振器型弹性表面波滤波器201、202的通频带之外，在IDT223a的电极指和节点之间带有虚拟电极
弹性表面波装置通信

[发明专利]一种基于柔性磁铁的电磁声表面波传感器-CN201610600135.0有效
发明人：刘增华;钟栩文;谢穆文;刘秀成;吕炎;何存富;吴斌 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01N29/34 文献下载
摘要：一种基于柔性磁铁的电磁声表面波传感器，属于电磁超声无损检测领域。该传感器包括柔性磁铁和柔性弧形回折线圈。柔性磁铁相对于刚性磁铁，具有柔韧性，可弯曲一定角度贴合钢轨，使用时不易磨损传感器。当弧形回折线圈通入交变电流时，在试件表面会产生涡流，在柔性磁铁提供偏置静磁场的作用下，基于洛伦兹力原理在钢轨中产生表面波信号。采用的柔性弧形回折线圈具有凸向和凹向，以所需信号传播方向为基准，通过选择弧形回折线圈的凹凸向，使产生的表面波信号能量偏向一个方向聚焦，并通过实验验证了信号传播的单向性。
一种基于柔性磁铁电磁表面波传感器

[发明专利]杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法-CN201010217604.3无效
发明人：肖夏;单兴锰;刘亚亮 -专利权人：天津大学
申请日： 2010-07-05 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： G01N29/07 文献下载
摘要：本发明属于材料性能检测技术领域，涉及一种杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法，用于检测由各向同性薄膜淀积在硅衬底上形成的分层薄膜材料，包括下列步骤：利用短脉冲激光器在分层薄膜材料样片表面激发出宽频带超声表面波；通过压电探测器分别在样片表面的Si[110]方向和Si[100]方向对表面波信号进行采集，得到超声表面波在该方向上分层薄膜材料上传播的频散曲线；设置多个杨氏模量和泊松常数计算出多条不同的理论色散曲线，将实验测得的表面波实验色散曲线和这些理论色散曲线进行拟合，可以得到与实验色散曲线最接近的理论色散曲线，从而确定出薄膜材料的杨氏模量和泊松常数。
杨氏模量常数超声表面波双向检测方法

[发明专利]一种双声表面波滤波器、双频组件及其制造方法-CN202111339423.2在审
发明人：王阳;吴洋洋;曹庭松;陆彬 -专利权人：北京超材信息科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明提出了一种双声表面波滤波器，该双声表面波滤波器包括：压电衬底；在同一压电衬底上设置第一滤波元件和第二滤波元件；第一滤波元件响应于声表面波的第一频率，第一滤波元件包括多个第一IDT电极，第一IDT电极具有第一厚度的第一金属薄膜；第二滤波元件响应于声表面的第二频率，第二滤波元件包括多个第二IDT电极，第二IDT电极具有第二厚度的第二金属薄膜；第一频率与第二频率不同；第一厚度与第二厚度不同；第一滤波元件的声表面波传播路径与第二滤波元件的声表面波传播路径平行或相交由此，根据本发明提供的双声表面波滤波器及其制作方法能够实现一种高功率耐受性且可靠性高的双声表面波滤波器。
一种双声表面波滤波器双频组件及其制造方法

[发明专利]基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法-CN201810215118.4有效
发明人：谢宇辰;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，并与输入输出换能器相对设置，反射器反射输入输出换能器输出的声表面波信号，输入输出换能器与反射器形成声表面波传播路径，输入输出换能器接收反射器反射的声表面波信号，并转换为电磁信号；针尖设置在压电基底上，并位于声表面波传播路径上，声表面波带动所述针尖震动；信号收集器收集所述电磁信号。优点是，在不引入激光检测针尖振动信号前提下，可实现对材料表面形貌高空间分辨测量。
基于表面波原子显微镜探针制备方法表征

[发明专利]一种支持光频表面波的银纳米颗粒分散聚合物复合材料-CN201010287324.X无效
发明人：裴延波;姚凤凤;孙秀冬;姜永远 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2010-09-20 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： B32B9/04 文献下载
摘要：一种支持光频表面波的银纳米颗粒分散聚合物复合材料，属于导波光学技术领域。该复合材料由纳米尺度的银颗粒分散到聚合物基体中制备而成，利用旋涂法制成厚度在纳米量级的薄膜。在该复合材料薄膜两侧对称地覆盖厚度可与传播光波波长比拟的透明介质膜。在该体系中，光波以长程表面波的形式在薄膜表面附近沿表面传播，在垂直于传播方向上被束缚在以复合薄膜为中心的、几十纳米的范围内。并能够支持的表面波频率在复合材料的共振吸收峰附近，而且表面波频率可以通过恰当地选择银纳米颗粒的形状、尺寸和浓度来在可见、近红外范围内调谐。
一种支持表面波纳米颗粒分散聚合物复合材料

[发明专利]延迟线型声表面波传感器及其制作方法-CN202110141329.X在审
发明人：张利威;张海峰;孙云龙;廖明 -专利权人：上海航天电子有限公司;上海科学仪器厂有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01K11/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种延迟线型声表面波传感器及其制作方法，包括LTCC陶瓷衬底，衬底上方的压电陶瓷层，在LTCC陶瓷衬底下方的电极层，在压电陶瓷上设置一金电极的均匀结构的叉指换能器，以及三个沿声表面波传播方向设置的金电极的短路反射栅；均匀叉指换能器可以直接激励或接收声表面波，当输入电信号后，通过压电基片的逆压电效应，将电信号转化为机械信号，以声表面波的形式在压电基片上传播，并分别由第一反射栅、第二反射栅与第三反射栅所反射，再通过压电基片的压电效应
延迟线型表面波传感器及其制作方法

[发明专利]用多缝隙天线的表面波等离子体处理装置-CN200410063770.7有效
发明人：铃木伸昌 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2004-07-07 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：提供一种用多缝隙天线的表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体处理装置，包括：其一部分形成为可使微波透过的介电体窗的等离子体处理室、在该等离子体处理室内设置的被处理基体支撑体、向该等离子体处理室内导入等离子体处理用气体的等离子体处理用气体导入单元、使该等离子体处理室内排气成真空的排气单元、和采用了与上述被处理基体支撑体对置且配置在上述介电体窗的外侧的多缝隙天线的微波导入单元，其特征在于：作为缝隙并设有向周边方向上传播表面波的放射状缝隙和在径向上传播表面波的圆弧状缝隙
缝隙天线表面波等离子体处理装置

[发明专利]弹性表面波谐振器、弹性表面波装置以及通信设备-CN200610087834.6有效
发明人：大塚一弘;卷渕大辅;仲井刚;福浦笃臣;田中宏行;尾原郁夫;饭冈淳弘 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2006-05-26 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：在压电基板(1)上，沿着在压电基板(1)上传播的弹性表面波的传播方向设置有多个IDT电极(2)～(7)，上述多个IDT电极(2)～(7)具有沿与传播方向垂直的方向延伸的多条电极指，同时，在多个IDT电极从而，可以提供通频带宽较宽、插入损失较小、并且改善通频带的平坦性的弹性表面波装置。
弹性表面波谐振器装置以及通信设备

[实用新型]一种新型声表面波传感器-CN201920760261.1有效
发明人：李卫;潘沛锋;蔡云;王琳琳;冯烨;赵健胜;郝文斌;陈剑锋 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型声表面波传感器，包括压电基板，压电基板上部两侧分别设置有输入叉指式换能器和输出叉指式转化器，压电基板上设置有二氧化硅阵列，二氧化硅阵列位于输入叉指式换能器和输出叉指式转化器之间的感应区，二氧化硅阵列与感应区波传播方向垂直，二氧化硅阵列的长度与输入叉指式换能器和输出叉指式转化器相等，二氧化硅阵列包括等间距平行设置的二氧化硅单元，二氧化硅单元的形状为长方体形。本实用新型提供的一种新型声表面波传感器，能够减少表面波在传播过程中在垂直方向上的损耗，进而提升压电介质的应变产生电位移，改善声表面波传感器性能。
二氧化硅声表面波传感器输出叉指输入叉指压电基板换能器转化器二氧化硅单元本实用新型感应区等间距平行设置长方体形传播过程方向垂直压电介质表面波波传播电位移相等

[发明专利]基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器-CN201410257074.3有效
发明人：高翔;刘文 -专利权人：常州智梭传感科技有限公司
申请日： 2014-06-11 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括密封连接的壳体和壳盖，还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器，压电薄膜设在压电基片的上表面，基座固定在壳体内的底面上，压电基片的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜的一端和压电基片的固定端均固定在基座上，且高于壳体内的底面；至少有一个声表面波谐振器设在压电薄膜的上表面，剩余的声表面谐振器设在压电薄膜和压电基片之间；三个声表面波谐振器谐振频率各不相同；三个声表面波谐振器所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片的固定端向压电基片的悬伸端的伸出方向。
基于表面波具有温度补偿加速度传感器

[实用新型]一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器-CN201420308442.8有效
发明人：高翔;刘文 -专利权人：常州智梭传感科技有限公司
申请日： 2014-06-11 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括密封连接的壳体和壳盖，还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器，压电薄膜设在压电基片的上表面，基座固定在壳体内的底面上，压电基片的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜的一端和压电基片的固定端均固定在基座上，且高于壳体内的底面；至少有一个声表面波谐振器设在压电薄膜的上表面，剩余的声表面谐振器设在压电薄膜和压电基片之间；三个声表面波谐振器谐振频率各不相同；三个声表面波谐振器所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片的固定端向压电基片的悬伸端的伸出方向。
一种基于表面波具有温度补偿加速度传感器

[发明专利]弹性表面波传感器-CN201280054141.0有效
发明人：小贝崇;谷津田博美 -专利权人：日本无线株式会社
申请日： 2012-11-01 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明的弹性表面波传感器具备传播弹性表面波的压电元件，进行电信号与表面弹性波的转换的电极，以及与所述压电元件接触、液体浸润的多孔性基材。
弹性表面波传感器