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[发明专利]晶圆清洗方法及晶圆清洗装置-CN202110294823.X在审
发明人：宋受壮;蔡长益;林禄渊 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：所述晶圆清洗方法包括如下步骤：提供待清洗的晶圆，所述晶圆表面具有污染物；向所述晶圆表面喷射表面活性剂，同时采用抛光垫对所述晶圆表面进行擦洗，所述表面活性剂能够与所述晶圆表面的所述污染物作用，以降低所述污染物与所述晶圆之间的粘附力，从而除去所述晶圆表面上的所述污染物。本发明可以去除大部分甚至全部前段制程工艺在所述晶圆表面上残留的污染物，且由于污染物与晶圆之间的粘附力减小，使得污染物回粘至所述晶圆表面的概率降低，从而改善了晶圆清洗效果，减少了污染物在所述晶圆表面的残留
清洗方法装置

[发明专利]适用于重度辐射污染区应急消控的作业方法-CN202110938147.5在审
发明人：王天运;王世琦;邓长华;王永茂;陈显波;位哲哲 -专利权人：洛阳市琦安科技有限公司;焦作琦安环保科技有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请公开一种适用于重度辐射污染区应急消控的作业方法，该方法包括：控制遥控压制机进入污染现场；通过检测记录行进路径的辐射值变化趋势，判断污染源方向，确定污染源；确定污染种类，其中，污染种类包括近地表面大面积污染源污染、球面罐体污染源污染、高大建筑物表面和高低空大面积污染；基于污染源种类对近地表面大面积污染源污染进行地面布洒压制，对球面罐体污染源污染、高大建筑物表面或高低空大面积污染进行高远程喷射封堵压制或雾化喷洒压制
适用于重度辐射污染区应急作业方法

[发明专利]一种加速建材表面污染气体散发的装置-CN201810725050.4在审
发明人：刘锦华;张艳妮;赵鹏;朱小锋;刘凝;张晶晶;宁占武 -专利权人：北京市劳动保护科学研究所
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明涉及环境保护和室内气体污染检测技术领域，尤其涉及一种加速建材表面污染气体散发的装置，包括舱体和加热部件，舱体由其底面向其内部形成导流腔，舱体的顶面设有均与导流腔连通的进气孔和出气孔，加热部件设置于进气孔处，舱体的底部与建材表面连接，以使导流腔覆于所述建材的表面。本发明由舱体的底部向舱体的内部凹陷形成导流腔，舱体的顶部具有与导流腔连通的进气孔和出气孔，清洁气体从进气孔进入后经过加热部件的加热，经加热后的气体流入导流腔，由于舱体的底面与建材表面连接，因此加热气体可对导流腔覆盖的建材表面进行吹扫，加速建材表面污染物散发，建材散发的污染气体随气流从出气孔流出，流出的气体可供富集或实时检测。
舱体导流腔建材表面加热部件污染气体出气孔进气孔加热散发连通流出检测技术领域室内气体污染建材进气孔处内部凹陷清洁气体实时检测吹扫底面顶面富集污染物环境保护覆盖

[发明专利]一种表面耐污染腐蚀的装饰集成墙板-CN202010778429.9在审
发明人：向湘军;王杰超;袁仕云;谭雪华;刘晶;陈泽君;谭海斌 -专利权人：湖南恒信新型建材有限公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： E04F13/075 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面耐污染腐蚀的装饰集成墙板，涉及集成墙板技术领域，具体为一种表面耐污染腐蚀的装饰集成墙板，包括基板，所述基板的右端固定连接有连接块，所述基板的左端开设有连接槽，所述基板的顶部设置有无纺布层通过对装饰膜及制造工艺进行了改进，集成墙板表面通过无纺布层、水性热熔胶层、PVC膜层、第二UV涂层、油墨印刷层和第一UV涂层处理后，性能提升，可达到耐腐蚀、耐污染，解决无法清洁的问题。
一种表面污染腐蚀装饰集成

[发明专利]全自动氚表面污染巡测系统及应用方法-CN202010883938.8在审
发明人：吴冠银;陈华;陈志林;杜阳;穆龙;贺月虹;蒋聪明;马俊格;马中笙;陈平 -专利权人：中国工程物理研究院核物理与化学研究所
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G01T1/169 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动氚表面污染巡测系统及其应用方法，包括：巡检机器人；与巡检机器人通过线缆进行通信连接的控制终端，其上设置有显示模块；其中，所述巡检机器人被配置为包括：车体，其底部相对设置有至少两组用于行走的麦克纳姆轮组本发明提供一种全自动氚表面污染巡测系统及其应用方法，针对急剧增加的氚表面污染监测需求，设计加工了全自动氚表面污染巡测机器人，该机器人具备手动和自动测量模式，可记忆氚表面污染测量点位，并读取历史测量轨迹(
全自动表面污染系统应用方法

[发明专利]一种基于SiPM的表面污染探测器-CN201911256095.2在审
发明人：卢亚鑫;沈杨;董翀 -专利权人：北京中科核安科技有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于SiPM的表面污染探测器，属于核辐射探测技术，其包括探测器本体、闪烁体、多个SiPM探头以及信号处理模块。由于SiPM探头分散分布，提高了探测器表面不同位置上探测效率的均匀性。
探测器本体探头腔室闪烁体信号处理模块探测效率有效地探测器贯通电信号转变核辐射探测探测器表面表面污染独立腔室分散分布射线激发数字信号信号转变均匀性底端封堵进口出口申请

[发明专利]基于脉冲形状甄别的α/β表面污染仪及其测试方法-CN202110407249.4在审
发明人：杨悦;王仁生 -专利权人：苏州大学
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于脉冲形状甄别的α/β表面污染仪，包括叠层闪烁体探测器、光电转换器件和脉冲形状甄别模块：叠层闪烁体探测器包括ZnS(Ag)闪烁体和塑料闪烁体，ZnS(Ag)闪烁体连接塑料闪烁体，光电转换器件连接塑料闪烁体本发明采用ZnS(Ag)闪烁体和塑料闪烁体耦合形成叠层闪烁体探测器，能够在不同入射粒子的情况下发射出不同衰减时间的脉冲信号，利用脉冲形状甄别方式进行信号的处理之后，区分不同辐射粒子，实现了同时在线检测α/β表面污染情况
基于脉冲形状甄别表面污染及其测试方法

[发明专利]掩模保护膜表面污染颗粒去除装置和方法-CN202110205023.6在审
发明人：胡丹丹;高松;郭晓波 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩模保护膜表面污染颗粒去除装置，包括：电荷产生装置和电荷消除装置；所述电荷产生装置能够产生带有电荷的气流；所述气流从电荷产生装置流向电荷消除装置；所述电荷消除装置能够消除或转移电荷；所述掩模保护膜表面污染颗粒去除装置设置于掩模版承载台的上方
保护膜表面污染颗粒去除装置方法

[发明专利]一种α表面污染巡测定位机器人-CN202210591199.4在审
发明人：文继;王亮;张宏俊;詹冠森;刘俊豪;熊忠华;张川伟;赵勇 -专利权人：中国工程物理研究院材料研究所
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本发明涉及一种α表面污染巡测定位机器人，属于环境放射性监测技术领域。该巡测定位机器人包括机器人本体、α表面污染探测部件和巡测定位部件，巡测定位部件包括控制板、定位组件、运动组件和数据处理组件。控制板、定位组件和运动组件用于进行机器人本体的定位和运动控制，完成在目标场所的移动过程，α表面污染探测部件用于对机器人本体所在位置的α表面污染进行测量，得到测量信号，数据处理组件用于对测量信号进行处理，得到目标场所的表面污染监测数据，从而能够自动对目标场所的全区域进行表面污染监测，监测效率高。
一种表面污染测定机器人

[发明专利]机场污染跑道表面状况评估及云端预警管理系统-CN202310553697.4在审
发明人：丁清苗;崔艳雨;张浩;平博源 -专利权人：中国民航大学
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：一种机场污染跑道表面状况评估及云端预警管理系统。在数据管理上，可以对机场污染跑道的数据进行管理和处理，包括数据采集、存储、清洗、加工和分析等；可根据污染跑道的状况自动产生警报，提醒机场管理人员采取相应的措施。易用便捷。
机场污染跑道表面状况评估云端预警管理系统

[发明专利]一种冷却循环无污染表面处理反应装置-CN202211671665.6在审
发明人：庞美兴 -专利权人：苏州市安派精密电子有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C25D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种冷却循环无污染表面处理反应装置，包括反应池，反应池上设置有加热结构和冷却循环结构，反应池表面固定安装有导向架，导向架上设置有第一连接杆，第一连接杆下端固定安装有第一液压缸，第一液压缸连接在第一电机上
一种冷却循环无污染表面处理反应装置

[发明专利]多晶硅表面颗粒污染物的去除方法-CN202310626311.8在审
发明人：孔庆路;石强;周颖;李秀然;李协吉;庞士武;董健;袁力 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅表面颗粒污染物的去除方法及屏蔽栅沟槽型器件的形成方法。具体的，其针对形成有多晶硅材料层和硬掩膜层的半导体衬底进行CMP化学机械研磨之后，有机颗粒污染物极易选择性的吸附在多晶硅材料层的表面上的问题，通过改善多晶硅表面亲疏水情况，提出了可以将现有的湿法清洗工艺中的HF清洗试剂去除，然后，在利用该改进后的湿法清洗工艺对所述多晶硅材料层和所述硬掩膜层的表面进行清洗，减小所述多晶硅材料层的表面接触角，即增强所述多晶硅材料层的表面亲水性的特性，减小所述多晶硅材料层的表面对成分包含碳和/或氧的有机颗粒污染物的吸附，并最终改善了多晶硅材料层表面的颗粒污染物的污染情况。
多晶表面颗粒污染物去除方法

[发明专利]一种用于减缓灯窗表面污染的装置-CN201310694073.0有效
发明人：李海洋;李金旭;赵无垛;齐国臣;刘巍 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2013-12-15 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置，包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极，skimmer电极。其中，侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。由于电极A和B上施加有不同的电压，进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧，无法轰击到灯窗表面，从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。
一种用于减缓表面污染装置

[发明专利]古代彩绘泥塑表面贴金污染物清洗剂-CN201410640426.3有效
发明人：王永进;于群力;马涛;周伟强;石美荣;闫敏;柏柯;吴新 -专利权人：陕西省文物保护研究院
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C09D9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种古代彩绘泥塑贴金表面污染物清洗剂，该清洗剂是将去离子水、柠檬酸铵、无水乙醇混合制成，所得清洗剂无毒、清洗效果好，清洗过程对金箔无损伤，能有效去除泥塑贴金表面的污染物，污染物清除率可达95％以上，特别是对于已经开裂、脆弱的贴金表面，在去除贴金表面污染物的同时不破坏其下的金箔，因清洗过程不需要人工干预，只需不断的更换吸附材料宣纸(生宣)即达到清洗的目的。
古代彩绘泥塑表面贴金污染物洗剂

[发明专利]用于检测表面的污染物的方法和系统-CN201780026471.1有效
发明人：里昂·范德瓦尔克;史蒂文·诺埃尔;尼古拉斯·威廉姆斯 -专利权人：狄夫斯高公司
申请日： 2017-01-25 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：检测装置用于在施加保护涂层之前检测表面上的污染物，例如可溶盐。检测装置包括透气防水膜、覆盖件和检测室。在装配好时，该检测装置提供了能方便地移除的检测装置，其包围了溶剂可注射到其中的空腔，以确定表面上的污染物的量。
用于检测表面污染物方法系统

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