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[发明专利]蒸发源装置及蒸镀设备-CN202211176760.9在审
发明人：李彦松;刘华猛;白珊珊 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种蒸发源装置及蒸镀设备。该蒸发源装置包括：蒸发源，包括底壁、周向侧壁以及顶壁，周向侧壁与底壁连接，顶壁与底壁相对设置，底壁、周向侧壁和顶壁共同围成蒸发腔；多个喷嘴，间隔设置于顶壁并与蒸发腔连通，喷嘴的出口位于顶壁的上方；分隔件，设置在蒸发腔内，以分隔蒸发腔；分隔件与底壁之间具有间隔，位于分隔件两侧的分隔腔通过间隔连通；分隔件在周向侧壁上的正投影与蒸发源移动的方向之间具有夹角，夹角不等于0°。本申请实施例解决了现有技术存在蒸发源内材料容易产生飞溅的技术问题。
蒸发装置设备

[发明专利]一种铜铟镓硒太阳能电池光吸收层的掺杂方法-CN201811166785.4有效
发明人：张冲;王雪戈 -专利权人：鸿翌科技有限公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/383 文献下载
摘要：本发明提供一种铜铟镓硒太阳能电池光吸收层的的掺杂方法，在衬底沉积背电极；在所述衬底用于形成所述铜铟镓硒光吸收层的一侧，沿所述衬底卷绕的方向设置第一蒸发部和第二蒸发部，其中，所述第一蒸发部由铜蒸发源、铟蒸发源、镓蒸发源和硒蒸发源组成，所述第二蒸发部由氟化钾蒸发源组成，所述第二蒸发部与所述第一蒸发部间隔预设距离；对所述衬底进行放卷和收卷操作，以使得：所述衬底移动至所述第一蒸发部，控制所述第一蒸发部蒸发，在所述背电极沉积形成铜铟镓硒光吸收层；以及所述衬底移动至所述第二蒸发部，控制所述第二蒸发部蒸发，以在所述铜铟镓硒光吸收层上沉积氟化钾。
一种铜铟镓硒太阳能电池光吸收掺杂方法

[实用新型]一种抽屉式的蒸发源-CN202121651176.5有效
发明人：李成林;杜雪峰;郝明 -专利权人：辽宁分子流科技有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抽屉式的蒸发源，主要包括底座、门板和蒸发器；蒸发器固定安装在底座上，门板也与底座相连；门板上设置有把手，通过推拉把手可将蒸发源拉出或推回蒸发镀膜机；蒸发源还包括电极，电极的一端与蒸发器相连接底座的底部设置有滚轮机构；蒸发源通过底座底部的滚轮机构在蒸发镀膜机内设置的导轨上移动。门板内侧加工有密封面；门板上的密封面与蒸发镀膜机的法兰上的密封胶圈相配合，实现真空密封。本实用新型的蒸发源便于安装、检修和更换，降低了人工劳动量，提高了蒸发镀膜机的生产运行效率。
一种抽屉蒸发

[发明专利]一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机-CN202011017813.3在审
发明人：刘加彬 -专利权人：刘加彬
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源和第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。本发明能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成AL2O3
一种电容器用复合金属化薄膜蒸镀机

[实用新型]一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机-CN202022118695.7有效
发明人：刘加彬 -专利权人：刘加彬
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源和第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。本实用新型能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成AL2O3
一种电容器用复合金属化薄膜蒸镀机

[发明专利]用于制备多组分薄膜的多蒸发源系统-CN200610008066.0无效
发明人：樊菁;舒勇华;刘宏立 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备多组分薄膜的多蒸发源系统，包括真空室，真空室内布设有多个电子枪加热蒸发源，每个电子枪蒸发源包括一电子枪、一传感器和一坩锅，两两蒸发源之间均设置有电磁屏蔽装置。与现有技术相比，本发明通过在两两电子枪加热蒸发源之间设置电磁屏蔽装置后，有效地避免了电子枪之间的磁场干扰问题，保证了电子枪产生的电子束能够按照既定方向作用于蒸发材料，为多源多枪薄膜制备方法的应用创造了条件同时，在传感器的端部设置套筒后，使得每个传感器只定向接收相对应蒸发源发出的蒸发粒子，既保证了传感器的检测准确性，又使探头不致接收过多到的蒸发粒子，从而有助于延长传感器的使用寿命。
用于制备组分薄膜蒸发系统

[实用新型]真空蒸膜设备-CN202020239793.3有效
发明人：陈珉;黎守新 -专利权人：成都晶砂科技有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空蒸膜设备，包括真空室；蒸发源；晶振座；晶振；传感器；前反馈控制模块；机架；基板；发光部件；光电传感器部件；后反馈控制模块；蒸发源挡板；第一驱动装置；总控制模块，其将蒸发速率与预定蒸发速率比较得到比较结果并基于比较结果向前反馈控制模块发出控制第一驱动装置驱动蒸发源挡板沿与蒸发源中的材料在气相时向晶振、基板流动的路径相交的轨迹往复移动使挡住蒸发源中的材料在气相时向晶振座、基板流动的路径的面积增大、减小或保持不变的第一控制信号，其当实际测量厚度等于或大于预定厚度值时发出表征蒸膜已完成的第二控制信号。它能监测蒸发源材料蒸发速率及沉积在基片上膜层厚度，精确控制沉积过程中膜层厚度。
真空设备

[发明专利]连续式成膜装置的成膜准备方法和连续式成膜装置以及搬运器-CN201480067225.7有效
发明人：深尾万里 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2014-11-26 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种可缩短成膜准备所需的作业时间的低成本的连续式成膜装置的成膜制备方法，其在排列设置多个蒸发源(21、22、23)的真空室(11)内，沿各蒸发源排列设置的方向传送基板(S)，在基板上形成多层膜之前，在基板上形成由各蒸发源提供的蒸发材料的单层膜，制备测量用试样。基板安装在搬运器(SC1)上，从与上游侧的蒸发源相对的位置开始连续或间断地传送到与下游侧的蒸发源相对的位置，使用包括可有选择地分别遮挡基板的一面的规定范围的多个遮挡装置(341、342、343)的装置作为搬运器，在通过搬运器从上游侧向下游侧传送基板时，依次改变各遮挡装置各自遮挡的规定范围，在单个基板的面内分别形成各蒸发源蒸发的蒸发材料的单层膜。
蒸发源搬运器基板成膜装置连续式成膜排列设置遮挡装置蒸发材料单层膜遮挡制备方向传送基板侧向传送基板基板安装低成本多层膜真空室上游蒸发测量

[发明专利]电弧蒸发装置-CN202211005375.8在审
发明人：朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 -专利权人：纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种电弧蒸发装置，包括阴极弧蒸发源、气体管道、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构。环状凹槽结构限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴。气体管道嵌入阴极弧蒸发源。第一磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道，并且经配置以产生第一磁场。第二磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕第一磁场装置设置，并且经配置以产生第二磁场。第三磁场装置环绕阴极弧蒸发源、第一磁场装置和第二磁场装置设置，并且经配置以产生第三磁场。第一磁场和第二磁场的磁场方向相反，第一磁场和第三磁场的磁场方向相同。
电弧蒸发装置

[实用新型]钻晶膜的镀膜设备-CN201420235222.7有效
发明人：王建成 -专利权人：深圳市深新隆实业有限公司
申请日： 2014-05-08 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了钻晶膜的镀膜设备，包括具有开口的密封腔体，所述的密封腔体联接有真空组件，所述的密封腔体内还设有蒸发源和离子源，及位于密封腔体底部的光源测试组件和设于密封腔体顶部的基片固定架；所述的蒸发源为镧化物蒸发源，包括设于密封腔体底部的热蒸发源支杆、固定于热蒸发源支杆上端的电热板和蒸发源温度传感器，以及设于电热板上的镧化物材料。本实用新型在玻璃基片上采用镧化物作为靶材，并采用电阻式加热蒸发进行镀膜，可以提高玻璃表面抗划伤能力到8H以上，使玻璃表面硬度达到天然宝石级别，不但提高了产品寿命。
钻晶膜镀膜设备

[实用新型]防污膜镀膜装置-CN201620672919.X有效
发明人：张洪;渡边优 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学薄膜技术领域，尤其是一种防污膜镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括至少两个蒸发源，所述蒸发源控制机构联动控制所述蒸发源的移动。本实用新型的优点是：可实现在同一镀膜腔室中设置多个防污膜蒸发源，满足了大型镀膜腔体镀膜均匀性的需要；简化了结构，降低了成本，便于操作及维护。
防污镀膜装置

[发明专利]一种低浓度掺杂的蒸发设备-CN201310210299.9无效
发明人：周明杰;冯小明;陈吉星;王平 -专利权人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
申请日： 2013-05-30 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种低浓度掺杂的蒸发设备，包括真空镀室、主蒸发源和掺杂蒸发源，蒸发设备还包括掩膜装置，掩膜装置包括至少一个掩膜板及蒸发腔体，蒸发腔体的上端开口并通向待制备器件；掩膜板水平安装在蒸发腔体内，掩膜板上开设多个通孔，多个通孔均匀分布于掩膜板；掺杂蒸发源设置在蒸发腔体内且位于掩膜板的下方。掺杂蒸发源蒸发的掺杂材料需通过掩膜装置才能到达待制备器件，由于掩膜板上设置有均匀分布的开孔，使在单位时间内通过掩膜板的掺杂材料速度发生变化，在不改变掺杂蒸发源蒸发热量的情况下，能够使掺杂材料的蒸发实现一个非常低的蒸发速度
一种浓度掺杂蒸发设备

[实用新型]一种蒸发电极结构-CN202021874469.5有效
发明人：鲁旭亮;郭琼;张少斌 -专利权人：常州星宇车灯股份有限公司
申请日： 2020-09-01 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及车灯镀膜技术领域，具体涉及一种蒸发电极结构，包括第一导电杆、第二导电杆、蒸发源和锁紧件，所述第二导电杆的第一端和所述第一导电杆可拆卸连接，所述第二导电杆的第二端开设有螺纹孔，且所述第二导电杆上开设有卡槽，所述卡槽和所述螺纹孔连通，所述蒸发源被配置在所述卡槽内，所述锁紧件和所述螺纹孔配合锁紧所述蒸发源。本实用新型提供的一种蒸发电极结构，可调整蒸发源位置使得被镀零件表面膜厚均匀，并且蒸发源的安装和拆卸简单、方便、快捷。
一种蒸发电极结构

[发明专利]蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源-CN201410018357.2无效
发明人：楠敏明;山本健一;玉腰武司;三宅龙也;松浦宏育;矢崎秋夫;尾方智彦;松崎永二 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-01-16 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源，该蒸镀装置能够长时间进行稳定的蒸镀，该蒸发源能够稳定且大量地收入作为蒸镀材料的Al。本发明的蒸镀装置具备蒸镀基板的蒸发源（30）和收纳蒸发源（30）且基板被搬送的工艺腔室。蒸发源（30）具备坩埚（10），坩埚（10）具有固体的Al材料（2）被供给的材料收入部（11）、与材料收入部（11）相邻，加热从材料收入部（11）供给的Al材料（2）使其熔融并形成为熔液（1）的熔融部（12）、和与熔融部（12）相邻，加热从熔融部（12）供给的熔液（1）而产生蒸气的蒸发部（13）。
装置所用蒸发

[发明专利]P型掺杂薄膜的制备方法及有机电致发光器件的制备方法-CN201310530681.8无效
发明人：周明杰;冯小明;钟铁涛;王平 -专利权人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：该P型掺杂薄膜的制备方法包括提供衬底及采用真空蒸镀共蒸一个有机主体材料蒸发源和两个无机P型掺杂剂蒸发源，在所述衬底上形成P型掺杂薄膜的步骤。上述P型掺杂薄膜的制备方法采用三源共蒸制备种P型掺杂薄膜，由于采用两个无机P型掺杂剂蒸发源，使得每个无机P型掺杂剂的蒸发速度可以降低至使用一个蒸发源时的1/2，使得单个无机P型掺杂剂蒸发源的所需的蒸发热量较少，对有机主体材料蒸发源的影响较小，有利于避免有机主体材料的降解，因而能够较为精确地控制P型掺杂薄膜中的无机P型掺杂剂的掺杂比例。
掺杂薄膜制备方法有机电致发光器件