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- [发明专利]改善接触孔图案化的方法-CN02150449.0无效
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蔡耀铭
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统宝光电股份有限公司
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2002-11-12
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2004-06-02
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G02F1/136
- 本发明提供一种改善接触孔图案化的方法,该方法中采用的液晶显示面板包含有一衬底,一导电层设于该衬底表面,以及一介电层设于该导电层表面。本发明首先于该介电层表面形成一光致抗蚀剂层,且该光致抗蚀剂层内包含有一孔洞通达至该介电层表面,接着进行一蚀刻工艺,沿着该孔洞去除部分的该介电层,以形成一通达至该导电层表面的接触孔,随后再进行一表面处理,于该接触孔底部的该导电层表面形成一保护层,以避免去除该光致抗蚀剂层时对下方的该导电层造成伤害。
- 改善接触图案方法
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