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[发明专利]一种多功能紫外线响应与屏蔽智能窗及其制备方法-CN201910556474.7在审
发明人：汪宏;吴亮亮;郑成;方华靖 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G02F1/1503 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能紫外线响应与屏蔽智能窗及其制备方法，包括电致变色器件、透明紫外探测器及同相放大电路，其中，透明紫外探测器与电致变色器件之间透明胶层相粘接，透明紫外探测器与电致变色器件通过同相放大电路电连接，该窗具有检测紫外线强度及调节紫外线透过率的功能，且制备方法简单，易于实现。
电致变色器件紫外探测器制备多功能紫外线同相放大电路智能窗屏蔽透明紫外线透过率透明胶层响应电连接紫外线粘接检测

[发明专利]一种ZnO纳米晶薄膜晶体管型紫外探测器的制备方法-CN201610018728.6有效
发明人：潘新花;王伟豪;戴文;叶志镇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2016-01-12 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种ZnO纳米晶薄膜晶体管型紫外探测器的制备方法，该紫外探测器自下而上依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、ZnO纳米晶层和Au电极。其制备方法如下先制备ZnO纳米晶的胶体分散相，然后将胶体分散相旋涂在Si/SiO2的SiO2面上，旋涂并退火，最后镀上Au电极完成紫外探测器的制作。相比于传统的紫外探测器，此方法制备的紫外探测器暗电流低、响应灵敏度高、响应时间快，且结构简单、制备成本低，在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值。
一种 zno 纳米薄膜晶体管紫外探测器制备方法

[发明专利]一种透明柔性紫外探测器及其制备方法-CN201010128112.7无效
发明人：张新安;张伟风;丁玲红;吴永辉;王昊午 -专利权人：河南大学
申请日： 2010-03-19 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明柔性紫外探测器，同时还公开了其制备方法。其中透明柔性紫外探测器包括透明塑料衬底，该透明塑料衬底表面沉积有ZnO基活性层，在ZnO基活性层的表面设置有透明叉指电极；所述透明塑料衬底为聚对苯二甲酸乙二酯薄膜、聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜、聚醚砜树脂薄膜或有机玻璃薄膜本发明实现了紫外探测器的透明化、柔性化，可以提高紫外探测器的应用范围；另外，本发明的紫外探测器整个制备过程在室温下完成，工艺过程简单，而且ZnO材料资源丰富，无毒害，适合工业化生产。
一种透明柔性紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法-CN201611223173.5有效
发明人：代兵;朱嘉琦;刘康;杨磊;韩杰才;舒国阳;赵继文;高鸽;孙明琪;姚凯丽 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法，涉及金刚石探测科学与技术领域，尤其涉及一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法。本发明为解决现有金刚石紫外探测器，采用平面电极结构，会有紫外穿透深度范围以内金刚石纵向电场太弱不足以将光生载流子导出的问题，而采用石墨柱电极结构，会有晶界阻碍载流子的输运问题。一种三维结构金刚石紫外探测器，包含光感区和电极结构，光感区为蛇形折叠形状金刚石，电极结构为两组相互交叉的叉指结构凹槽组成，每组叉指结构含有n个电极。一种三维结构金刚石紫外探测器的制备方法：基底的选择；预处理；制备刻蚀掩膜；制备三维电极结构；沉积金属薄膜和后处理。本发明应用于紫外探测领域。
一种三维结构金刚石紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种紫外多参数校准装置-CN201310065833.1有效
发明人：孙红胜;王加朋;魏建强;张玉国;李世伟;张虎;孙广尉 -专利权人：北京振兴计量测试研究所
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及紫外光参数校准技术领域，具体的讲是一种紫外多参数校准装置，旋转平台内置于所述真空仓内，单色仪与真空仓相连接，紫外探测器通过单色仪测量真空仓内的紫外光源的辐射，或者紫外光源通过单色仪向真空仓提供紫外光源的辐射；标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统均置于所述旋转平台之上，所述旋转平台根据控制信号沿着所述旋转平台的圆心旋转，其中，所述紫外成像器和紫外成像参数校准系统处于同一光路通过上述实施例，能够在一个共用校准装置上实现紫外光源光谱辐射度校准、紫外探测器光谱响应度和紫外成像器参数的校准，节省了试验成本，提高了试验效率。
一种紫外参数校准装置

[发明专利]一种氧化锌量子点增强的紫外探测器及其制备方法-CN201611082033.0在审
发明人：庞倩桃 -专利权人：庞倩桃
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H01L31/109 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化锌量子点增强的石墨烯/氮化镓紫外探测器及其制备方法，该石墨烯/氮化镓紫外探测器自下而上依次有衬底、导电镀膜层、氮化镓层、硼掺杂石墨烯层及氧化锌量子点层，所述的紫外探测器还设有第一电极和第二电极其制备方法如下：先在衬底上沉积导电镀膜层，再沉积氮化镓层；然后将石墨烯转移至氮化镓层上；在硼掺杂石墨烯层上制备氧化锌量子点层；最后在硼掺杂石墨烯层及导电镀膜层上分别制作电极，获得紫外探测器。本发明的氧化锌量子点增强的石墨烯/氮化镓紫外探测器利用氧化锌量子点引入的光生掺杂效应来获得具有高转化效率的石墨烯/氮化镓紫外探测器。
一种氧化锌量子增强紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种基于电场分布调控的高增益紫外雪崩探测器及其制备方法-CN202110074074.X在审
发明人：于吉;田宁 -专利权人：沈阳师范大学
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H01L31/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电场分布调控的高增益紫外雪崩探测器，该探测器为Ag纳米颗粒修饰的Au/MgO/ZnO/Al结构的ZnO肖特基型紫外雪崩探测器；包括衬底层，所述衬底层上设有紫外光吸收层ZnO薄膜，在ZnO本发明所设计的器件结构有利于将电场限定在倍增层，从而有利于在倍增层中实现高电场，由于高电场能够实现载流子的高雪崩增益，因此在该结构中能够实现高增益的ZnO紫外雪崩探测器。本发明与已有的ZnO紫外雪崩探测器相比，具有高增益的优点，进而将达到实现高性能ZnO紫外雪崩探测器的目的。
一种基于电场分布调控增益紫外雪崩探测器及其制备方法

[发明专利]一种极远紫外探测器校准装置-CN201210478716.3有效
发明人：王加朋;孙红胜;宋春晖;张玉国;李世伟;张虎;任小婉 -专利权人：北京振兴计量测试研究所
申请日： 2012-11-23 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种极远紫外探测器校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。探测器单元包括标准探测器和待测探测器。利用本发明可以实现在30nm～200nm范围内探测器相对光谱响应度校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
一种紫外探测器校准装置

[发明专利]光伏型有机紫外半导体探测器-CN201010296652.6有效
发明人：姬荣斌;唐利斌;宋立媛;陈雪梅;马钰;王忆锋;庄继胜 -专利权人：昆明物理研究所
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：光伏型有机紫外半导体探测器，涉及光电技术领域，尤其是一种光伏型的有机紫外半导体探测器。本发明的一种光伏型有机紫外半导体探测器，在特殊材料衬底上设置特殊材料各功能层构成三层、五层或七层结构。相对于光导探测器而言，光伏探测器具有响应速度快、功耗低、易于形成阵列、无需偏置等优势。此外，有机半导体材料克服了无机半导体材料的缺点，使得制备成本更低，易于实现大面积、大阵列，光敏材料电阻率可控、无需制冷、可实现柔性加工，因此有机紫外光伏探测器在军事、民用以及一些特定领域具有重要的潜在应用价值
光伏型有机紫外半导体探测器

[实用新型]一种紫外线山火监控系统-CN201720022786.6有效
发明人：童啸霄;胡锡林;殷超;倪利;尹志浩;凌超 -专利权人：国网浙江嵊州市供电公司;国家电网公司;国网浙江省电力公司;国网浙江省电力公司绍兴供电公司
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G08B17/00 文献下载
摘要：本实用新型主要公开了一种紫外线山火监控系统，包括紫外镜头、紫外探测器、数据采集电路、无线发送模块、无线接收模块，计算机，紫外镜头将收集的火焰信号聚集到紫外探测器上，数据采集电路对紫外探测器感应的信号进行采集后由无线发送模块以GSM短信的形式发送到监控中心的无线接收模块，无线接收模块与计算机连接，计算机对接收到的数据进行存储、显示，并给出报警信号，通过紫外镜头、紫外探测器的检测和采集，紫外镜头会辐射紫外线，能够降低太阳光红外线的干扰
一种紫外线山火监控系统

[发明专利]紫外红外双色探测器及其制作方法-CN201810442396.3有效
发明人：张志伟;陈一仁;李志明;谬国庆;蒋红;宋航 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L31/103 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外红外双色探测器及其制作方法，其中，紫外红外双色探测器包括衬底层、生长在衬底层上的GaN缓冲层、生长在GaN缓冲层上的GaN吸收层及生长在GaN吸收层上的TMDCs盖层。由于GaN具有宽禁带性能，可对紫外波段进行吸收，GaN外延的TMDCs层可以对红外波段的光进行探测，本申请提供的紫外红外双色探测器实现同时对红外和紫外波段的光进行探测。
紫外红外探测器及其制作方法

[发明专利]电调控同光轴日盲紫外-可见光双波段探测器及制备方法-CN202210629441.2在审
发明人：赵志伟;方勇;雷威;周建明 -专利权人：苏州奕赫光电子科技有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器及制备方法，探测器由窄禁带半导体(如掺杂硅等)、势垒层(如ZrO2等)和宽禁带半导体(如碳点等)构成异质结光电二极管本发明提出的电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器采用同一块传感芯片对日盲紫外和可见光进行探测，日盲紫外探测和可见光探测使用同一个光学成像系统，所以光学系统光轴唯一，减小了不同光轴系统中日盲紫外图像和可见光图像融合成像的技术难点本发明提出的电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器采用薄膜沉积工艺制备，对制备设备要求低，制备流程简单，可以降低探测器成本。
调控光轴紫外可见光波段探测器制备方法

[实用新型]电调控同光轴日盲紫外-可见光双波段探测器-CN202221357964.8有效
发明人：赵志伟;方勇;雷威;周建明 -专利权人：苏州奕赫光电子科技有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器，探测器由窄禁带半导体(如掺杂硅等)、势垒层(如ZrO2等)和宽禁带半导体(如碳点等)构成异质结光电二极管本实用新型提出的电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器采用同一块传感芯片对日盲紫外和可见光进行探测，日盲紫外探测和可见光探测使用同一个光学成像系统，所以光学系统光轴唯一，减小了不同光轴系统中日盲紫外图像和可见光图像融合成像的技术难点本实用新型提出的电调控同光轴日盲紫外‑可见光双波段探测器采用薄膜沉积工艺制备，对制备设备要求低，制备流程简单，可以降低探测器成本。
调控光轴紫外可见光波段探测器

[发明专利]一种ALD结合银纳米线增强法制备高性能ZnO薄膜紫外探测器的方法-CN201910700544.1有效
发明人：张墅野;何鹏;林铁松;徐成彦;石志远 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种ALD结合银纳米线增强法制备高性能ZnO薄膜紫外探测器的方法，属于光电器件技术领域。该方法是在硅片基板上涂覆一层厚度均一的Ag纳米线层；采用原子层沉积法在Ag纳米线层的表面制备ZnO薄膜，获得银纳米线增强的ZnO薄膜；将银纳米线增强的ZnO薄膜进行热处理，得ZnO薄膜紫外探测器。本发明制备的银纳米线增强ZnO基紫外探测器具有等离子激元增强效果，该探测器可有效探测紫外波段的响应光，可以作为紫外探测器的核心组件，适用于应用在航空航天、宇宙探索、民用监测等各领域中。
一种 ald 结合纳米增强法制性能 zno 薄膜紫外探测器方法

[发明专利]MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器-CN201210395263.8无效
发明人：蒋大勇;赵曼;梁庆成;高尚;赵建勋;秦杰明 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2012-10-17 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： H01L31/108 文献下载
摘要：MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，采用双温区化学气相沉积方法制备MgZnO纳米线阵列，由此获得MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器，其响应度高于现有MgZnO纳米线紫外光电探测器，属于半导体光电技术领域本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极位于硅衬底背面，MgZnO纳米线分布在硅衬底正面，上电极位于MgZnO纳米线上面，并与MgZnO纳米线欧姆接触，其特征在于，所述MgZnO纳米线竖直等高、本发明用于环境污染监控、火焰光电探测、紫外预警以及通讯等领域。
mgzno 纳米阵列紫外光电探测器

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