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[发明专利]一种解决离子注入机路径污染的方法-CN201410193648.5在审
发明人：刀正开;陈立峰;逄锦涛;张进创 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-05-09 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供一种解决离子注入机路径污染的方法，所述方法至少包括步骤：提供中轻原子量的离子作为离子源，调节离子注入机，使所述离子源被加速后在所经的路径上形成发散的离子束，所述离子束撞击路径内壁上的污染层，将污染层剥离；提供多个放置于离子注入机台上的控片，所述离子束及剥离后的污染层注入于所述控片中，完成所述污染层的去除。本发明提供的方法采用中轻原子量的离子作为离子源，通过离子源撞击路径内壁，可以有效去除离子束路径内壁上的污染物，解决离子注入机离子污染问题，减小机台注入剂量误差，提高机台的稳定性。
一种解决离子注入路径污染方法

[发明专利]一种离子注入的监控方法-CN200710171570.7有效
发明人：汪军;卢庄鸿;邢桂宁 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-11-30 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供的离子注入的监控方法，用于防止离子注入时的离子污染和分析污染离子的形成原因。该监控方法包括以下步骤：1.先在离子注入的反应腔内通入测试离子源，并电离测试离子源成若干不同离子；2.采用离子束质谱分析对反应腔内离子进行测试，得出反应腔的离子束质量谱图；3.根据步骤2得出的离子束质量谱图，当谱图中有异常质量峰时，需要去除污染离子后才能进行离子注入，如果没有异常质量峰则可直接进行离子注入。根据离子束质量谱图中的质量峰是否异常来决定是否直接进行离子注入，这样可有效防止离子注入时的污染，同时离子束质量谱图的异常质量峰可帮助分析污染离子形成原因，预防离子注入时发生污染。
一种离子注入监控方法

[发明专利]改善离子注入机金属污染的方法-CN202111541428.3在审
发明人：冯超;郑刚 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种改善离子注入机金属污染的方法，提供离子注入机，将离子注入机置于空机状态，离子注入机包括机台腔室和设置于其中的离子注入装置；将离子注入机置于空机状态；利用离子注入装置产生的离子束流对机台腔室进行轰击，利用离子注入机对裸晶圆进行离子注入，进行金属污染含量测试，得到金属污染含量数据；提供设置阈值，将金属含量污染数据与设置阈值进行对比；若金属污染含量数据大于设置阈值，则将金属含量污染数据与设置阈值进行对比，直至金属污染含量数据小于设置阈值。
改善离子注入金属污染方法

[发明专利]一种基于钙镁离子移除的原位缓解正渗透膜污染方法-CN201811184806.5有效
发明人：王新华;李玲;李秀芬;任月萍 -专利权人：江南大学
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B01D65/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于钙镁离子移除的原位缓解正渗透(FO)膜污染方法，属于污水处理与膜分离技术领域。基于钙镁离子强化FO膜污染的共识，本发明提出一种通过从膜面污染物中原位移除钙镁离子的FO膜污染控制方法。具体来说，借助梯度薄膜扩散技术(DGT)以及乙二胺四乙酸(EDTA)对金属离子的螯合作用，原位从FO膜面污染物中提取钙镁离子，降低膜面污染物中钙镁离子含量，提高膜污染层的孔隙率，从而减少膜面阻力并提升污染膜的清洗效果与传统的膜污染控制措施相比，基于钙镁离子移除的原位缓解FO膜污染方法操作更简单、对膜没有损伤、DGT和EDTA等移除材料可以重复使用。
一种基于离子原位缓解渗透污染方法

[发明专利]量化电路板上离子污染度的方法-CN200510067989.9无效
发明人：徐焰;陈普养 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2005-04-30 - 公布日： 2006-11-08 - 主分类号： G01N17/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种量化电路板上离子污染度的方法，该方法在施加离子污染过程中，在污染液标准食盐水中添加常温下可挥发并能与水互溶的有机溶剂，如分析纯的无水乙醇或异丙醇类，达到减小溶液表面张力，均匀润湿梳状电极的目的；采用刮的方式，使污染液均匀覆盖在梳状电极表面，形成均匀的润湿的液膜。因此，利用本发明可以直接计算出电路板上梳状电极间的离子污染度，误差很小，适合用来分析离子污染度对离子迁移腐蚀的影响。同时，本发明可以根据残留在梳状电极上的污染液液膜体积，直接计算出使用不同浓度食盐水溶液作为污染液所得到的离子污染度，而不必重复整个标定离子污染度的实验过程，方法简单，数据准确。
量化电路板离子污染方法

[实用新型]离子污染测试仪恒温装置-CN201320301219.6有效
发明人：张盘新 -专利权人：麦可罗泰克（常州）产品服务有限公司
申请日： 2013-05-28 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种离子污染测试仪恒温装置，包括离子污染测试仪、溶液温度传感器和温度控制器，所述的温度控制器与离子污染测试仪连接，所述的溶液温度传感器与离子污染测试仪，所述的溶液温度传感器与温度控制器连接本实用新型提供了一种对温度进行恒温控制的离子污染测试仪恒温装置。
离子污染测试仪恒温装置

[发明专利]金属离子污染物的检测装置及检测方法-CN202210043680.X在审
发明人：程健 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及一种金属离子污染物的检测装置及检测方法，其中，金属离子污染物的检测装置包括：采集装置，所述采集装置包括晶圆支撑平台和晶圆，所述晶圆能够位于所述晶圆支撑平台上，且所述晶圆支撑平台能够向所述晶圆提供静电，所述晶圆能够采集所述金属离子污染物；检测装置，所述检测装置包括提取组件和定量检测装置，所述提取组件用于提取所述晶圆表面采集的金属离子污染物；数据分析装置，与所述定量检测装置连接，以用于对所述定量检测装置检测的金属离子污染物的定量数据进行分析，并给出所述金属离子污染物的检测结果。该检测装置能够对环境中的金属离子污染物进行准确的定量检测。
金属离子污染物检测装置方法

[发明专利]一种基于电化学传感器的水污染检测系统-CN202110782056.7在审
发明人：张之;廖伟成;邹汝清 -专利权人：利晟（杭州）科技有限公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电化学传感器的水污染检测系统，属于污染检测领域，涉及水污染检测技术，包括水体采集模块、水质分析模块、污染判定模块、数据存储模块以及污染预警模块；通过水体采集、水质分析、污染判断以及污染预警实现基于电化学传感器的水污染检测，对水体内的重金属离子，包括铅离子、镉离子、铜离子进行浓度测定，并设定浓度阈值，污染预警根据不同的离子浓度超标信号实现不同等级的污染报警。
一种基于电化学传感器水污染检测系统

[发明专利]一种提高低温等离子体处理污染物效率的方法-CN201710409254.2有效
发明人：郭亚逢;牟桂芹;赵乾斌;隋立华;刘宝全;王林;厉建祥;姚猛;宋项宁 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高低温等离子体处理污染物效率的方法，包括如下步骤：(1)污染物预处理；(2)使用低温等离子体发生器对污染物降解；(3)降解后的污染物进入下一个处理单元，其中步骤(2)所述低温等离子体发生器使用间隔式低温等离子发生器，该设备将两个或两个以上的低温等离子体放电单元插入反应器中，在污染物流动方向上间隔布设，低温等离子体将低温等离子体反应器间隔成非放电区域和放电区域，同时在非放电区域设置臭氧分解剂。本发明可提高等离子发生器内O₃活性粒子与污染物的反应机率，从而进一步提高污染物的降解效率，降低二次污染物生成机率。
污染物低温等离子体发生器低温等离子体处理低温等离子体非放电区域低温等离子体反应器低温等离子发生器预处理等离子发生器臭氧分解剂二次污染物污染物降解处理单元反应机率放电单元放电区域活性粒子间隔布设降解效率反应器间隔式降解流动

[发明专利]具有改进的电池隔板的二次电池-CN202180061611.5在审
发明人：铃木浩之 -专利权人：赛尔格有限责任公司
申请日： 2021-07-10 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01M50/417 文献下载
摘要：一种二次电池，其产生或包含选自铜离子、锰离子、镍离子、钴离子、铁离子、铝离子、铬离子、钼离子、锡离子或其组合的金属离子污染物，该电池包括：阳极；阴极；阳极和阴极之间的涂覆或未涂覆的电池隔板，其中所述涂覆或未涂覆的电池隔板包括污染离子陷阱层由于隔板减少或消除了电池中的金属离子污染，该电池提高了初始充电和老化过程的成品率并延长了使用寿命。
具有改进电池隔板二次

[发明专利]从离子束中和装置和注入装置就地清除污染物用的方法和装置-CN96109322.6无效
发明人：Ｊ·Ｇ·布莱克 -专利权人：艾克塞利斯技术公司
申请日： 1996-08-28 - 公布日： 2002-12-25 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：提供清除粘结在离子束中和装置(46)和离子束注入装置(10)的离子束注入室(18)内表面的污染物的方法和装置。污染物是用等离子体辉光放电从中和装置和注入装置清除的。污染物还用离子束膨胀的方法从中和装置清除。
离子束中和装置注入就地清除污染物方法

[实用新型]利用离子膜强化电动-络合修复重金属污染土壤的装置-CN201920037862.X有效
发明人：宋岳;仓龙;徐宏婷;周东美 -专利权人：中国科学院南京土壤研究所
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B09C1/08 文献下载
摘要：利用离子膜强化电动‑络合修复重金属污染土壤的装置，包括污染土壤室，所述污染土壤室的两端分别设有阳极室和阴极室，阳极室内设有阳极，阴极室内设有阴极，所述阴、阳极与污染土壤室之间设有离子交换膜，所述离子交换膜将阳极室与污染土壤室之间间隔出金属络合物回收室，所述离子交换膜将阴极室与污染土壤室之间间隔出络合剂投加室，所述金属络合物回收室与阴极室通过管路连通。本实用新型方法操作简单，可以实现场地污染土壤的原位修复，修复效果好，环境扰动小，适合各类重金属离子污染土壤。
污染土壤离子交换膜阳极阴极室阴极金属络合物回收室阳极室重金属离子污染重金属污染土壤室内场地污染土壤修复本实用新型管路连通环境扰动原位修复离子膜络合剂络合土壤

[发明专利]一种用于判断水质的智能容器-CN201810567996.2在审
发明人：郑远强;刘锐 -专利权人：杭州杰富睿科技有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01N33/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于判断水质的智能容器，包括容器以及：位于容器容腔内，用于实时检测容器中水的污染程度值和离子浓度值并向控制装置发送污染程度值和离子浓度值的检测装置；用于接收污染程度值和离子浓度值并分别转化为污染指数和浓度指数并将污染指数和浓度指数发送的控制装置；位于容器的外侧，显示装置连接控制装置用于接收并显示污染指数和浓度指数的显示装置。该发明中的智能容器能够对盛装在容器中的水中的污染程度和离子浓度值进行检测，并将检测出的污染物程度和离子浓度值通过显示装置显示在智能容器上，向使用者展示容器中水的水质污染程度和离子浓度值，起到检测水质并提醒使用者安全健康用水的作用
离子智能容器浓度指数污染指数显示装置控制装置污染水质检测连接控制装置发送水质污染安全健康检测装置实时检测展示容器容腔污染物盛装转化

[实用新型]一种负离子空气净化教研装置-CN202022256343.8有效
发明人：张波;姚惠;常玉成;程萌 -专利权人：安徽职业技术学院
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G09B25/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种负离子空气净化教研装置，负离子空气净化教研装置由污染源发生单元、负离子单元、排放单元和不锈钢框架、控制系统、鼓风机、排气筒组成；本实用新型中负离子单元中的负离子发生器的输出电压由控制系统控制；各单元出气口附近设置传感器模块，实时测量本单元出口处污染物PM2.5、甲醛、TVOC的浓度。通过负离子单元与污染源发生单元污染物的浓度差，可以评价负离子发生器在不同选型与参数时对各种污染物的去除效果，评测优选负离子发生器选型与参数。
一种负离子空气净化教研装置

[发明专利]一种表面含离子液体层的耐污染分离膜及其制备方法-CN202210155815.1在审
发明人：张林;林赛赛;马烈;姚之侃;冯向东;徐浩然;施国忠 -专利权人：浙江大学;浙江浙能技术研究院有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B01D71/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面含离子液体层的耐污染分离膜及其制备方法。所述耐污染分离膜的表面含有等量的阴阳离子，膜表面呈现整体电荷平衡。该耐污染分离膜是将离子液体上的阴阳离子单独或同步接枝于分离膜表面，使膜表面整体呈现电中性。分析两性离子耐污染机制可知，其优良的耐污染性能主要源于以下两个结构特征：一是分子内含有的等量阴、阳离子基团可通过溶剂化作用紧密结合水分子，使材料具有优异的亲水特性；二是等量阴阳离子基团同时存在，使得膜面整体呈电中性的特殊结构，其制备方法的原料选择范围广、过程简单温和、可设计性强，易于工业化，制备得到的耐污染分离膜耐污染效果提升显著且结构稳定。
一种表面离子液体污染分离及其制备方法

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