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- [发明专利]直接成像系统-CN202010723057.X在审
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刘长清;陶帅洋;祝锁;曹葵康;温延培
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苏州天准科技股份有限公司
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2020-07-24
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2020-10-02
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G03F7/20
- 本发明提供一种直接成像系统，包括：第一柱体，所述第一柱体形成有第一腔室及开设在所述第一柱体上且连通所述第一腔室的激光器安装口，在所述第一腔室内设置匀光设备；第二柱体，所述第二柱体形成有与所述第一腔室连通的第二腔室，所述第二腔室设置有数字微镜器件设备及位于所述数字微镜器件设备下方的第一反射镜；第三柱体，所述第三柱体形成有与所述第二柱体连通的第三腔室及位于所述第三柱体的底端的激光出口，所述第三腔室内设置有光刻成像镜头根据本发明的直接成像系统，形成密闭结构，能够避免外界污染和光线干扰，结构稳定，光刻效果好，且方便调节及维护保养。
- 直接成像系统
- [发明专利]直接成像光学设备-CN202010723082.8在审
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祝锁;陶帅洋;熊让安;曹葵康;温延培
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苏州天准科技股份有限公司
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2020-07-24
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2020-10-02
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G03F7/20
- 本发明提供一种直接成像光学设备，包括：光源，用于提供散射光；准直透镜，所述准直透镜接收自所述光源的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；复眼透镜，所述复眼透镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；中继透镜，所述中继透镜接收来自所述复眼透镜经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；空间光调制器，所述空间光调制器接收来自所述中继透镜的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。根据本发明的直接成像光学设备，结构简便、光学质量较佳、光刻效果较好且节约成本。
- 直接成像光学设备
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