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- [发明专利]在镶嵌制程中形成金属电容器的方法-CN01130733.1有效
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徐震球;李世达
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矽统科技股份有限公司
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2001-08-22
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2003-03-12
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H01L21/70
- 一种在镶嵌制程中形成金属电容器的方法。于形成金属薄膜电容器之前，利用铜金属镶嵌制程来制作其下的内连线。电容器的下电极是在镶嵌制程中形成，而此镶嵌制程亦同时用来形成导线和插塞。且于用以隔离双镶嵌结构的绝缘层的上方形成抗反射层，此抗反射层亦可做为硬罩幕层、研磨终止层和蚀刻终止层接窄于抗反射层上，依序形成另一绝缘层和金属层，并进行微影蚀刻，以形成上电极和电容器绝缘层。在完成电容器后，继续利用铜金属镶嵌制程来制作其上的内连线。具有减少制造内含电容器的积体电路的微影蚀刻步骤及减少制造成本，降低内含电容器的积体电路，容易控制的内含电容器的积体电路的制程及使用铜制程来制造内含电容器的积体电路，以降低RC延迟的功效。
- 镶嵌制程中形成金属电容器方法
- [实用新型]电力电容器-CN99226746.3无效
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刘学贵;刘昌福;杨金保;邹胜宇
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上海贵宝机电有限公司
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1999-05-26
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2000-04-26
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H01G2/08
- 本实用新型涉及电力系统中使用的电力电容器。特征是电容器的纵向即上下方向设有若干根散热用的空气通道。所述空气通道可以由电容器的壳体向电容器内部凹陷形成;也可在电力电容器内设置若干根金属管实现,金属管纵向穿过电力电容器的整个高度方向并伸出于电力电容器的底部和顶部。其优点是电力电容器工作过程中空气会经过空气通道对流而使电力电容器加速散热,可在高温下长时间工作。本实用新型不扩大电容器体积,制造过程简单,降温效果显著。
- 电力电容器
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