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- [发明专利]制造半导体器件的方法-CN201210230158.9有效
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山谷秀一
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瑞萨电子株式会社
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2012-06-21
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2018-03-02
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G03F7/20
- 提供如下技术,在该技术中通过使用浸渍曝光方法来防止衬底的主表面之上形成的转移图案中的形状缺陷,由此允许提高半导体器件的制造产量。当向抗蚀剂上辐射曝光光时,浸渍水保持于在投影光学系统的光学元件和管嘴部分的每个下表面与抗蚀剂之间的第一浸渍区域中;并且当调节聚焦、光学系统对准等时,浸渍水保持于在投影光学系统的光学元件和管嘴部分的每个下表面与测量台的上表面之间的第二浸渍区域中使保持于第一浸渍区域中的浸渍水的横向扩展小于保持于第二浸渍区域中的浸渍水的横向扩展。
- 制造半导体器件方法
- [发明专利]海蜇加工废水处理装置-CN202010416869.X有效
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曲珍慧;曲林江;秦广渊
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山东曲记生物科技有限公司
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2020-05-18
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2020-08-11
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C02F9/10
- 本发明公开了一种海蜇加工废水处理装置,涉及海蜇加工废水处理领域,包括废水多级利用机构和UAV声化脱盐机构,废水多级利用机构和UAV声化脱盐机构之间设有连通组件,废水多级利用机构包括两个浸渍水池和四个过滤组件,每个所述浸渍水池内均设有第一浸渍槽、第二浸渍槽和第三浸渍槽,每个过滤组件均包括过滤部件和清理部件,所述清理部件设置在过滤部件的内部,两个所述浸渍水池中的第三浸渍槽均通过连通组件与UAV声化脱盐机构连通本发明通过多个浸渍水池的配合工作以及UAV声化脱盐机构对污水的处理,实现氯化钠和清水的重复利用,节能环保,降低成本。
- 海蜇加工废水处理装置
- [发明专利]一种烟梗浸渍回潮装置-CN201810757959.8有效
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胡宏帅;李少平;范磊;朱国成;郑凯;刘著文;王正伟;肖辉
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河南中烟工业有限责任公司
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2018-07-11
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2021-10-22
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A24B3/04
- 本发明属于烟草加工技术领域,具体涉及一种烟梗浸渍回潮装置专利申请事宜。该装置中:烟梗浸渍水槽为一开口或封闭的槽体,槽体前端上部设有烟梗进料口,同时在烟梗浸渍水槽前端设有进水口;落料器设于烟梗浸渍水槽末端底部,为一中间设有转动轴的、由若干隔板分割形成若干腔室的圆形腔体结构,落料器上端对应烟梗浸渍水槽的开口处形成混料入口,而在落料器下方、对应入口方向处开口形成混料出口;落料器由转动轴带动转动。本申请通过将浸渍混合装置与浸梗水水槽分开设计,可为后续设备检修、维护提供较好的便利性,同时通过控制旋转速度较为精确的控制浸梗回潮时间,可有效保障回潮后含水率的稳定性,从而为后续梗丝加工奠定良好基础。
- 一种浸渍回潮装置
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