专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体机台的清洁方法-CN200910002545.5有效
  • 李宗达;唐瑞麟;罗志添;钟国保 - 联华电子股份有限公司
  • 2009-01-16 - 2010-07-21 - H01L21/00
  • 本发明公开了一种半导体机台的清洁方法。首先,对反应室进行第一清洁步骤,包括将清洁气体经由短反应气体注入管通入反应室中,以在反应室中产生清洁气体的等离子体。接着,对长反应气体注入管进行清洁步骤,包括将清洁气体经由长反应气体注入管通入反应室中。然后,对反应室进行第二清洁步骤,包括将清洁气体的等离子体经由短反应气体注入管通入反应室中。本发明的半导体机台的清洁方法能有效地清洁反应室内部以及反应气体注入管内壁。如此一来,能避免沉积于反应室内部以及反应气体注入管内壁的沉积物掉落至芯片上,以大幅提升芯片的产率与良率。
  • 半导体机台清洁方法
  • [发明专利]一种CVD反应腔体清洁方法-CN201110227478.4无效
  • 赵强;刘长安;陶晟;周军;李文静 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2011-08-09 - 2013-02-13 - B08B9/00
  • 本发明公开了一种CVD反应腔体清洁方法,包括:A、按照正常清洁过程中所需的温度和压力范围,设置CVD反应腔体的温度参数和压力参数;B、向所述反应腔体内通入清洁气体,清洁气体的流量由正常清洁时所需流量逐渐增大至预设流量;C、通入预设时间的所述清洁气体后,抽去反应腔体内的清洁气体,以清除反应腔体内杂质颗粒;D、重复步骤B和C,直至将反应腔体中的杂质清洁干净。该方法对反应腔体的清洁力度较强,能减少反应腔体内的杂质颗粒的数量。
  • 一种cvd反应清洁方法
  • [实用新型]一种具有清洁动能的粘合剂反应-CN202222938393.3有效
  • 姜卫靖;罗红旗 - 天津盛玉印染助剂有限公司
  • 2022-11-04 - 2023-03-03 - B01J19/18
  • 本实用新型公开了一种具有清洁动能的粘合剂反应釜,包括粘合剂反应釜主体,粘合剂反应釜主体的顶部设置有粘合剂反应釜密封盖,粘合剂反应釜密封盖的顶侧设置有清洁刷驱动电机,清洁刷驱动电机的内部连接有清洁刷驱动轴,清洁刷驱动轴的一端设置有驱动轴联轴器,驱动轴联轴器的内部开设有联轴器连接孔,驱动轴联轴器的一侧设置有第一清洁刷连接轴,第一清洁刷连接轴的外壁连接有第二清洁刷连接轴;该一种具有清洁动能的粘合剂反应釜,通过设置反应釜侧壁清洁刷、反应釜底壁清洁刷、第一清洁液传输管道、第二清洁液传输管道、第三清洁液传输管道,清洁刷驱动轴会带动反应釜侧壁清洁刷与反应釜底壁清洁刷转动清洁,实现了该一种具有清洁动能的粘合剂反应釜的清洁功能。
  • 一种具有清洁动能粘合剂反应
  • [发明专利]一种反应腔用清洁装置及反应清洁方法-CN202210872847.3在审
  • 张强 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2022-07-21 - 2022-10-18 - B08B9/087
  • 本公开提供一种反应腔用清洁装置及反应清洁方法,反应腔用清洁装置包括封盖、清洁部件和控制部,封盖用于将反应腔的开口封闭;清洁部件安装于封盖上,清洁部件包括驱动机构以及与驱动机构相连的清洁部,清洁部位于封盖的一侧,驱动机构用于驱动清洁部运动,以在封盖将开口封闭时,使得清洁部沿反应腔的内壁运动。本公开中,通过在封盖上设置清洁部件,清洁组件的驱动机构能够带动清洁部沿反应腔的内壁运动,以及设置能够控制驱动机构运动作的控制部,实现了通过封盖将反应腔的开口封住的情况下对反应腔中内壁上的沉积物进行清理,提高了清洁速度,还避免了反应腔中的有害气体与颗粒物进入外部环境。
  • 一种反应清洁装置方法
  • [实用新型]一种不饱和聚酯反应清洁装置-CN202120300248.5有效
  • 江帆 - 黄山市华圣新材料有限公司
  • 2021-02-02 - 2021-11-12 - B08B9/093
  • 本实用新型公开了一种不饱和聚酯反应清洁装置,包括反应釜顶盖组件,所述反应釜顶盖组件的内部固定设置有反应清洁组件,且反应釜顶盖组件的内部通过拉紧弹簧拉紧设置有两组清洁水管喷头封堵组件,在自然状态下,通过拉紧弹簧的拉紧,清洁水管喷头封堵组件始终对反应清洁组件上的竖直清洁喷头和倾斜冲压喷头进行封堵,避免竖直清洁喷头和倾斜冲压喷头在不加压冲洗清洁时,物料溅入时的堵塞,反应釜内部清洁时,通过倾斜冲压喷头将弧型喷头封堵板的板体冲击贴附到反应釜顶盖的内侧面上,此时,竖直清洁喷头的冲洗清洁位置就完全暴露,通过竖直清洁喷头的冲洗对反应釜底筒的内部进行冲洗清洁
  • 一种不饱和聚酯反应清洁装置
  • [实用新型]一种易清理的钛反应-CN202121294383.X有效
  • 蔡文彬 - 宝鸡市正宇工贸有限责任公司
  • 2021-06-10 - 2021-12-14 - B01J19/18
  • 本实用新型提供一种易清理的钛反应釜,包括,钛反应釜本体和清洁组件;所述清洁组件固定于所述钛反应釜本体的内部,所述清洁组件包括搅拌轴、滑动槽、滑动绳、拉动绳、复位弹簧、清洁球、清洁喷头、绕线轮、转动盘、销钉;其中,所述搅拌轴设置于所述钛反应釜本体的内部,所述滑动槽开设于所述滑动槽的内部,本实用新型提供的易清理的钛反应釜通过搅拌轴带动清洁球旋转,使得清洁球对钛反应釜本体的内壁进行清洁,然后由清洁喷头对钛反应釜本体的内部进行冲洗,使得清洁后的异物掉落,从而便完成了对钛反应釜本体内壁的清洁,避免了现有的钛反应釜本体清洁组件复杂,占用钛反应釜本体内部空间较大,使得钛反应釜本体容纳量减少。
  • 一种清理反应
  • [实用新型]一种用于微生物发酵反应釜的清洗装置-CN202022584972.3有效
  • 不公告发明人 - 广西再润生态科技有限公司
  • 2020-11-11 - 2021-08-31 - B08B9/087
  • 本实用新型公开了一种用于微生物发酵反应釜的清洗装置,转轴的外壁均匀固定装配有矩形搅拌叶,同侧矩形搅拌叶外侧端固定装配有反应釜内壁清洁结构,上盖的上表面装配有清洁液供给装置;反应釜内壁清洁结构在不使用时能够从矩形搅拌叶外侧端拆卸下来,不影响矩形搅拌叶的正常搅拌过程,在需要进行清洁时,反应釜内壁清洁结构能够方便的安装在矩形搅拌叶外侧端,随着矩形搅拌叶的转动对反应釜内壁进行清洁;可拆卸的反应釜内壁清洁结构,保证了反应釜内壁清洁结构每侧清洁后均可进行清理消毒,保持每次清洁的卫生;通过上盖上的清洁液供给装置能够向反应釜内壁上端喷射清洁液,配合反应釜内壁清洁结构提高清洁效率。
  • 一种用于微生物发酵反应清洗装置
  • [发明专利]一种反应釜清理装置-CN202211465013.7在审
  • 陈果;陶配龙;方以荣;封文宇;邵德万 - 立之力机械(广州)股份有限公司
  • 2022-11-22 - 2023-03-14 - B08B9/093
  • 本发明公开了一种反应釜清理装置,包括卡环组件,卡环组件的顶部滑动卡接有清洁组件,卡环组件卡接于反应釜顶部以驱使清洁组件伸于反应釜内部,清洁组件包括手柄和清洁机构,清洁机构围绕手柄保持轴向转动,清洁机构的外壁设置有呈圆周阵列分布的外撑板,各个外撑板受驱保持撑开以抵接反应釜内壁。该发明提供的反应釜清理装置通过卡环组件顶部可进行滑动的清洁组件,可在外部将清洁组件围绕反应釜进行转动,且清洁机构可围绕手柄保持轴向转动,可调整清洁机构的角度,将反应釜内部全方位进行冲洗,且通过清洁机构外壁设置的多个外撑板,可撑开而抵接反应釜内壁,使外壁通过魔术贴粘贴的百洁布对反应釜内壁进行擦拭清理。
  • 一种反应清理装置
  • [实用新型]一种自清洗式增粘剂反应-CN202023287884.3有效
  • 殷冬益 - 无锡市益良车用材料有限公司
  • 2020-12-30 - 2021-11-19 - B01J19/18
  • 本实用新型公开了一种自清洗式增粘剂反应釜,涉及反应釜领域,包括反应釜主体,所述反应釜主体的一侧安装有收卷箱,所述收卷箱的顶端连接有耐磨连接绳和耐用电线,所述耐磨连接绳和耐用电线的一端位于反应釜主体的内部安装有连接块,所述连接块的一端连接有清洁机。本实用新型通过设置强磁板、清洁垫,在反应釜主体加工完成后,将清洁机放入反应釜主体内部,然后通过强磁板将清洁机吸附在反应釜主体的内壁,然后启动清洁机,清洁机启动后通过移动轮转动而进行移动,清洁机移动时通过清洁垫对反应釜主体内壁的残留物进行清洁,通过清洁机提高了清洁的效率。
  • 一种清洗式增粘剂反应
  • [发明专利]清洁装置及清洁方法-CN202310618523.1在审
  • 王中磊 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2023-05-26 - 2023-09-12 - B07C5/342
  • 本公开提供了一种清洁装置及清洁方法,涉及半导体技术领域。该装置包括:反应室的内壁附着有反应物,清洁气体通过反应室的入口进入反应室内,清洁气体与反应反应生成中间物质;第一捕集器与反应室的出口连通,第一捕集器用于捕集中间物质;第二捕集器与反应室的出口连通,第二捕集器用于捕集中间物质该清洁装置通过设置第二捕集器和第一感应器,在对反应室进行清洁时,通过第一感应器获取第二捕集器的重量信息,通过重量信息判断反应室的清洁终点,可以有效检测到清洁终点,避免由于人为设定参数错误导致的清洁终点监测错误,发生清洁过度或清洁不彻底的现象。
  • 清洁装置方法
  • [实用新型]一种连续流反应-CN202122638235.1有效
  • 杨博婷 - 北华大学
  • 2021-11-01 - 2022-05-06 - B01J19/24
  • 本实用新型提供一种连续流反应器,涉及化工制药设备技术领域。一种连续流反应器包括反应器本体,以及贴合于反应器本体内壁的内部清洁刷和贴合于反应器本体外壁的外部清洁部件,反应器本体外侧设置有驱动机构,驱动机构用于驱动内部清洁刷和外部清洁部件同时旋转,对反应器本体的内壁和外壁同时进行清洁工作,外部清洁部件为可拆卸结构。本实用新型提供的一种连续流反应器启动驱动机构,带动内部清洁刷和外部清洁部件同时沿着反应器本体进行旋转,对反应器本体的内壁和表面进行清洁,使得应器本体可以便捷快速的对其内部以及表面进行清洁工作,有效的提高了应器本体的清洁效率
  • 一种连续流反应器

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