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[发明专利]紫外光辐射照度自动测量装置-CN201310252989.0在审
发明人：翁铭廷;谢军 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2013-06-24 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种紫外光辐射照度自动测量装置，包括紫外光探测模块和控制模块，所述紫外光探测模块用于测量紫外光的辐射照度；所述紫外光辐射照度自动测量装置还包括驱动模块，其中，所述控制模块，用于向所述驱动模块发出驱动信号，并预先设定紫外光辐射区域中的至少一任意点为测量点；所述驱动模块，用于根据该驱动信号驱动所述紫外光探测模块在紫外光辐射区域内运动，以使得所述紫外光探测模块在预先设定的测量点测量紫外光的辐射照度。本发明所述的紫外光辐射照度自动测量装置可以自动控制紫外光探测模块在紫外光辐射区域内的任意点测量紫外光的辐射照度，不对测量点数进行限制，而且测量点可以任意选取，并可覆盖整个紫外光辐射区域。
紫外光辐射照度自动测量装置

[发明专利]一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪-CN201911300022.9在审
发明人：熊亮;张路平 -专利权人：广东谨诺科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及测量技术领域，更具体地说，它涉及一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪，该透可见光且反紫外光工件影像测量仪包括机台、光源和用于对待测量件成像的物镜；所述光源和物镜均设置在机台上；所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构，所述载物机构设置在机台上、且为可吸收紫外光线的载物机构，所述载物机构用于承载待测量件；所述光源包括紫外光源，所述紫外光源用于发出紫外光，为所述载物机构上的待测量件提供照明。根据本发明提供的技术方案，本发明的影像测量仪可以对高光透反紫外光工件比如ITO膜进行测量，测量精度较高。
一种可见光紫外光工件影像测量仪

[发明专利]紫外光感测-CN201580028321.5有效
发明人： V·L·欣戈拉尼;R·卡尔尼克;J·J·利斯 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2015-05-28 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：一种测量紫外光的方法包括：使用紫外光传感器观察环境光的紫外光部分，使用可见光传感器测量环境光的可见光部分的强度，以及如果所观察到的环境光的紫外光部分超过阈值强度，则基于所测得的环境光的可见光部分的强度来估计环境光的紫外光部分的强度
环境光紫外光可见光可见光传感器紫外光传感器测量紫外光感测观察测量

[实用新型]带紫外线透过率测量功能的焦度计-CN201320015936.2有效
发明人：吴义清 -专利权人：上海嫦娥光学仪器科技有限公司
申请日： 2013-01-11 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：带紫外线透过率测量功能的焦度计涉及焦度计，包括一焦度计本体，焦度计本体设有一发射头，发射头朝向一镜片支座，镜片支座开有通光孔，通过孔下方设有一光信号接收装置；还包括一紫外线透过率检测系统；紫外线透过率检测系统包括一紫外光源、一紫外线强度检测模块，紫外线强度检测模块包括一紫外光信号处理单元，紫外光信号处理单元连接一紫外线传感器；紫外光源位于发射头内，紫外线传感器位于光信号接收装置内。紫外光源产生的紫外线透过率测量用光束可以穿过通光孔进入紫外线传感器。紫外光信号处理模块根据紫外线传感器输出的信号，获得紫外线强度的测量值，通过紫外线强度的原始值和测量值比较分析获得紫外线透过率。
紫外线透过测量功能焦度计

[实用新型]一种工业废水中有机污染物浓度检测装置-CN201820630974.1有效
发明人：任俊道;蒋鉴;蒲琴;陈金国;黄茹;李成明;邓燕霞;王韵樵;庞博 -专利权人：四川省华检技术检测服务有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于检测工业废水中有机污染物浓度的检测装置，包括壳体，所述壳体内部被一废水测量槽分隔为两个独立的紫外光发射空间和紫外光探测空间；所述废水测量槽由高透光材料制成，且内部设置有污水容纳腔；所述污水容纳腔的顶部设置有样品进口，底部设置有样品出口；所述紫外光发射空间设置有向废水测量槽发射紫外光的紫外光发射机构；所述紫外光探测空间内设置有对从废水测量槽透过的紫外光进行探测的紫外光探测机构；所述紫外光探测机构还与一光电转换机构相连接
紫外光探测测量槽废水紫外光发射工业废水检测装置有机污染物浓度检测紫外光容纳腔有机污染物检测光电转换机构本实用新型高透光材料顶部设置二次污染壳体内部空间设置内部设置样品出口样品进口污水壳体有向分隔探测发射

[实用新型]一种用紫外光测量气体浓度的双光路结构-CN201920428229.3有效
发明人：潘国章 -专利权人：深圳市科尔诺电子科技有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用紫外光测量气体浓度的双光路结构，包括中空且不透光的底座，底座上设有分光镜片，底座上设有与空腔B连通的进气口和出气口，底座上设有透光孔A、透光孔B、以及透光孔C，底座且位于透光孔A处设有向空腔A内发射紫外光束a的紫外光发生装置，紫外光束a经过分光镜片反射后得到紫外光束b，紫外光束a经过分光镜片折射后得到紫外光束c，紫外光束b射向透光孔B，紫外光束c经过空腔B后射向透光孔C，底座且位于透光孔B处设有紫外线光传感器A，底座且位于透光孔C处设有用于测量紫外光束c强度的紫外线光传感器B；通过对紫外线光传感器A和紫外线光传感器B采集的数据分析，能更加准确的测量待测气体的浓度。
一种紫外光测量气体浓度双光路结构

[发明专利]生物传感器和具有该生物传感器的空气净化器-CN201480067809.4有效
发明人：尹星镇 -专利权人：豪威株式会社
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本发明提供一种生物传感器以及具有该生物传感器的空气净化器，该生物传感器可测量室内生物气溶胶的浓度，所述测量通过传感被生物气溶胶散射的紫外光的光学传感方法来进行。该生物传感器包括光辐照器和紫外光传感器，该紫外光传感器用于检测散射的紫外光，所述散射的紫外光来自光辐照器发出并被生物气溶胶反射的光。该生物传感器可通过光学传感方法实时测量室内生物气溶胶的浓度，该测量使用被生物气溶胶散射的一定波长的紫外光，并且可基于测量的生物气溶胶浓度和测量的尘埃粒子浓度使空气净化器在合适的条件下运转。
生物传感器具有空气净化器

[发明专利]一种基于比色的紫外双波长辐射测温方法-CN202010799098.7在审
发明人：张金涛;董伟;卢小丰 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于比色的紫外双波长辐射测温方法，对具有高温表面的待测温物体进行测量；提供第一紫外波长探测器和第二紫外波长探测器，所述第一紫外波长探测器和第二紫外波长探测器分别对所述高温表面的辐射信号进行探测；所述第一紫外光探测器采集第一紫外光信号，所述第二紫外光探测器采集第二紫外光信号；所述第一紫外光信号和第二紫外光信号之间具有小于等100nm的波长差。本发明可以逼近表面真实温度，并且能够近乎消除观测窗口被污染给测量造成的影响。
一种基于比色紫外波长辐射测温方法

[实用新型]紫外光透过率测试装置-CN97246017.9无效
发明人：林铭;辜信实;黎焕文 -专利权人：东莞生益敷铜板股份有限公司
申请日： 1997-11-17 - 公布日： 1999-10-13 - 主分类号： G01J3/00 文献下载
摘要：一种检测覆箔板紫外光透过率的装置,一个紫外测试头用导线与一个紫外幅照计相连,一个含峰值波长为365nm的紫外光灯隔着一块只能透过波长为365nm的玻璃对着紫外测试头照射,紫外光灯的发光强度能够调节,紫外光灯与紫外测试头之间的距离能够调节、满足紫外测试头和紫外幅照计量程的要求,测得没有层压板样品时的测量值为A、放入层压板样品时的测量值为B、用公式r=(B/A)×100%便可计算该层压板样品的紫外光透过率。
紫外光透过测试装置

[实用新型]实时测量紫外光强度的硅片光刻机-CN201720270642.2有效
发明人：刘珊珊 -专利权人：苏州汶颢微流控技术股份有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种实时测量紫外光强度的硅片光刻机，包括紫外光遮罩体，该紫外光遮罩体具有一光刻腔体，光刻腔体内上下依次设置有照明系统、掩膜台系统和自动对准系统，照明系统包括紫外光源和紫外辐射照计模块，紫外光遮罩体上设置有操作面板，该操作面板包括紫外线强度显示窗口，紫外光遮罩体开设有样品取置窗口，该取置窗口遮盖有紫外光隔离门。本新型在光源附近设置紫外辐射照计模块，用于实时测量和查看紫外线的强度，比现有的光刻机增加了光强参数，具有及时更换紫外灯，增加了曝光的成功率的优势，另外，本新型的光刻机设置了保护系统，避免了曝光过程中紫外光对人体及环境产生伤害
实时测量紫外光强度硅片光刻

[实用新型]一种应用于UV固化工艺中的紫外光强度自动控制系统-CN201821763656.9有效
发明人：赵金平;王弘书;冯小江;陆庆秀 -专利权人：中关村人居环境工程与材料研究院
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于UV固化工艺中的紫外光强度自动控制系统。所公开的系统包括：紫外光强度设置模块；UV固化机，用于接收第一强度控制信号，基于第一强度控制信号输出第一紫外光信号，还用于接收经反馈的第二强度控制信号，基于第二强度控制信号输出第二紫外光信号；紫外光强度检测模块，用于检测第一紫外光信号和第二紫外光信号的实际测量强度值；微控制器，微控制器与紫外光强度设置模块、UV固化机、以及紫外光强度检测模块连接，用于接收期望强度值和实际测量强度值，基于期望强度值产生和输出第一强度控制信号，基于期望强度值和当前的实际测量强度值产生和输出第二强度控制信号。
强度控制信号紫外光紫外光信号实际测量输出自动控制系统强度检测强度设置微控制器期望本实用新型模块连接应用反馈检测

[发明专利]基于荧光追踪样点的材料表层去除原位测量装置及方法-CN202210452637.9在审
发明人：王兵;刘浩;刘战强;蔡玉奎;宋清华;赵金富 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本公开公开的基于荧光追踪样点的材料表层去除原位测量装置及方法，包括设置有第一进光口、紫外光进光口和出光口的壳体，第一进光口与显微镜头连接，出光口与摄像机连接，紫外光进光口与紫外光源连接，在紫外光进光口处设置紫外透过滤波片，在出光口处设置荧光带通滤波片，在壳体内设置二向色镜，紫外光源发出的紫外光能够经过紫外透过滤波片后经二向色镜反射进入第一进光口并经显微镜头照射出，显微镜头进入的光线能够经二向色镜和荧光带通滤波片后进入摄像机实现了待加工工件加工过程中变形区域的全域场量测量。
基于荧光追踪材料表层去除原位测量装置方法

[发明专利]紫外光谱辐射通量测量装置及方法-CN202111438576.2在审
发明人：王彦飞;代彩红;许超群;李玲;吴志峰;程秋桐;贺书芳;刘金元;谢一航 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本公开提供一种紫外光谱辐射通量测量装置及方法，装置包括：紫外标准辐射源(1)，可转动设置于旋转台(2)上，紫外标准辐射源(1)分别以第一轴线或第二轴线为旋转轴，第一轴线与第二轴线正交；辐射通量测量仪(3)，设置于紫外标准辐射源(1)的紫外光路上，以测量紫外标准辐射源(1)的辐射通量；其中，辐射通量测量仪(3)包含第一光栅(301)和第二光栅(302)，第一光栅(301)与第二光栅(302)分别设置于不同的腔室，以依次对紫外光进行分光；第一轴线与辐射通量测量仪(3)的光接收面垂直。本公开的紫外光谱辐射通量测量装置及方法实现了200nm‑450nm波长范围的紫外光谱辐射通量的精确测量。
紫外光谱辐射通量测量装置方法

[实用新型]紫外光谱辐射通量测量装置-CN202122963587.4有效
发明人：王彦飞;代彩红;许超群;李玲;吴志峰;程秋桐;贺书芳;刘金元;谢一航 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本公开提供一种紫外光谱辐射通量测量装置，包括：紫外标准辐射源(1)，可转动设置于旋转台(2)上，紫外标准辐射源(1)分别以第一轴线或第二轴线为旋转轴，第一轴线与第二轴线正交；辐射通量测量仪(3)，设置于紫外标准辐射源(1)的紫外光路上，以测量紫外标准辐射源(1)的辐射通量；其中，辐射通量测量仪(3)包含第一光栅(301)和第二光栅(302)，第一光栅(301)与第二光栅(302)分别设置于不同的腔室，以依次对紫外光进行分光；第一轴线与辐射通量测量仪(3)的光接收面垂直。本公开的紫外光谱辐射通量测量装置实现了200nm‑450nm波长范围的紫外光谱辐射通量的精确测量。
紫外光谱辐射通量测量装置

[发明专利]极紫外光微影设备、工艺控制方法及评估焦距控制的方法-CN201811107941.X有效
发明人：刘益伦;罗元彦;郭明志 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种评估极紫外光(EUV)微影设备焦距控制的方法、控制极紫外光微影工艺的方法及极紫外光微影设备，评估极紫外光(EUV)微影设备焦距控制的方法包括准备通过使用极紫外光微影设备来曝光的晶圆。晶圆包括由光刻胶所形成的测试图案、及通过不同曝光焦距的极紫外光多次曝光所制备的圆形岛状物或孔洞。上述方法还包括测测量试图案的粗糙度参数，并估算代表粗糙度参数对焦距的相关性的函数。随后通过具有最佳焦距的极紫外光对包括测试图案的曝光晶圆进行曝光。定期测量曝光晶圆上的测试图案的粗糙度参数，测试图案是通过在最佳焦距下曝光所述曝光晶圆所获得。随后基于测量到的粗糙度参数及函数决定焦距异常性。
紫外光设备工艺控制方法评估焦距

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