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- [发明专利]硅棒可切割性能的评估方法及硅棒切割方法-CN202310387144.6在审
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黎晓丰;王进;任检;吕合彬;王丹
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安徽华晟新材料有限公司
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2023-04-07
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2023-07-18
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G01N3/56
- 本发明提供一种硅棒可切割性能的评估方法及硅棒切割方法。硅棒可切割性能的评估方法包括以下步骤:切取样块,分别自若干硅棒的指定区域切取样片,自样片切取测试样块;测试耐磨性,测试各测试样块在相同条件下的磨耗比,磨耗比与所述硅棒的硬度、塑性、韧性、晶体结构和杂质含量相关;性能评估,根据磨耗比进行数据分析,确定硅棒的耐磨性,根据不同磨耗比建立耐磨性评级,进而建立耐磨性评级与可切割性能评级的对应关系曲线,根据所述耐磨性评级与可切割性能评级的对应关系曲线评估所述硅棒的可切割性能该方法通过测试硅棒的磨耗比评估硅棒的可切割性能,可直观、准确、全面的反应硅棒的可切割性能,用以指导后续的硅棒切割工艺中参数的选择。
- 硅棒可切割性能评估方法
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