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[发明专利]工艺模块设施-CN200910150906.0有效
发明人：雷仲礼;麦华山;刘弘苍;朴乾兑;吴子仲;罗恩·罗斯 -专利权人：英属开曼群岛商精曜有限公司
申请日： 2009-06-25 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一工艺模块设施，其包含至少一工艺反应室设于框架中、一底座与该工艺反应室相邻设置、一固定式泵以及一电箱设于该底座上以及气体控制线路设于底座内并连接于工艺反应室。工艺模块设施可集合设计为用来处理基板的大型系统，包含多个工艺模块设施、基板搬运装置、装卸室以及横向基板处理装置，其又包括横向移动室，可将基板传送给工艺模块，当传送基板时，各横向移动室具有特定气体条件。横向基板处理装置另包含轨道与驱动系统，轨道用来支撑横向移动室，与工艺模块的入口相邻设置，驱动系统可使横向移动室在轨道上移动。
工艺模块设施

[发明专利]涂胶显影系统及涂胶显影方法-CN202310685432.X在审
发明人：张建;陈兴隆;程虎 -专利权人：上海芯源微企业发展有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种涂胶显影系统及涂胶显影方法，包括第一工艺模块和第二工艺模块，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的两端分别与层间工艺模块和接口模块连接，所述层间工艺模块远离所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的一端连接有片盒模块，其中，所述层间工艺模块与所述第一工艺模块和所述第二工艺模块分离设置，且所述层间工艺模块装载晶圆在所述片盒模块与所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间传输，本发明将层间工艺模块与第一工艺模块和第二工艺模块分离开，这样既缩小了工艺模块的体积，使得设备设计灵活，装配和运输难度小，使得设备使用过程符合环保理念，降低了设备的生产投入。
涂胶显影系统方法

[发明专利]一种印制板组装件电子装联快速工艺设计系统及使用方法-CN201811515644.9有效
发明人：马晓萌;金蓓蓓;柴艳红;王健;温学思;朱梅;邓迪;邢方园;苏永胜;董博 -专利权人：上海航天电子通讯设备研究所
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种印制板组装件电子装联快速工艺设计系统及使用方法，包括精益工艺知识库模块、AVMPM模块和快速工艺模块，用于通过精益工艺知识库模块将AVMPM模块和快速工艺模块进行集成实现印制板组装件工艺文件的快速设计，精益工艺知识库模块中各个工艺知识库在AVMPM模块和快速工艺模块中以资源库的方式进行分类管理，用于支撑工艺文件的快速设计响应；AVMPM模块用于提供产品BOM、部分精益工艺知识库模块的管理，保存快速工艺模块生成的工艺文件；快速工艺模块用于读取AVMPM模块提供的产品BOM并通过精益工艺知识库模块的关联判断，配合人机交互进而实现工艺流程的自动生成、工艺知识的自动推送以及装入件的自动关联，并将结果返回到AVMPM模块形成适于用对象产品的工艺文件
一种印制板组装电子快速工艺设计系统使用方法

[发明专利]工艺文件生成系统-CN201310479712.1无效
发明人：陈滨 -专利权人：苏州荣越网络技术有限公司
申请日： 2013-10-15 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G06Q50/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺文件生成系统，包括：密码设置登陆模块、工艺预备模块、产品明细导入模块、工艺修改模块和文件生成模块，所述的密码设置登陆模块分别与工艺预备模块、产品明细导入模块、工艺修改模块和文件生成模块相连接，所述的工艺预备模块分别与产品明细导入模块和工艺修改模块相连接，所述的产品明细导入模块与文件生成模块相连接。通过上述方式，本发明指出的工艺文件生成系统，拥有丰富的工艺存储和修改功能，导入产品明细后可以根据需要选择以往工艺内容或者新增工艺，灵活方便，并自动生成工艺文件，工作效率高。
工艺文件生成系统

[发明专利]一种生物工程废料环保式排放方法-CN202210637439.X有效
发明人：王志超;木鑫城;叶梦瑶;梁嘉怡;沈梦莹;张桓;叶亦心;沈伟伦 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B09B3/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种生物工程废料环保式排放方法，该方法采用的系统包括处理策略共享模块、工艺流程解读模块、工艺提示模块，所述工艺流程解读模块与工艺提示模块和处理策略共享模块电连接；所述工艺流程解读模块用于分析操作人员的整个生物工程的工艺流程，用以判断是否是常规工艺流程，所述工艺提示模块用于向操作人员提示正确的工艺该如何进行，所述处理策略共享模块用于将不同工厂的废料处理最正确的策略进行共享，所述工艺流程解读模块包括原料称量模块、工艺重合度分析模块、步骤更新记录模块、耗时统计模块、工艺步骤储存库、原材料成分分析模块、反应温度记录模块、废料处理计量模块，本发明，具有实用性强的特点。
一种生物工程废料环保排放方法

[发明专利]一种CAPP工艺尺寸自动生成与更新系统和方法-CN201510304807.9有效
发明人：盛步云;殷希彦;刘建桥;方真强;付高财 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2015-06-05 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明是CAPP工艺尺寸自动生成与更新系统和方法，该系统包括CPU和与之电信号相连的工艺尺寸数据库(2)、工艺尺寸拾取模块(3)、工艺尺寸插入模块(5)、工艺尺寸更新模块(6)，与工艺尺寸拾取模块信号输出端相连的工艺尺寸存储模块(4)，以及与艺尺寸更新模块信号输出端相连的关联尺寸显示模块(7)。该方法包括CPU调用工艺尺寸拾取模块、工艺尺寸存储模块、工艺尺寸插入模块、工艺尺寸更新模块和关联尺寸显示模块步骤，由于在word文档的CAPP工艺卡片中以超链接形式显示工艺尺寸，当工艺尺寸发生变化时可以自动更新，消除了工艺人员进行工艺尺寸查找的工作量，能提高工作效率，同时降低工艺卡片中工艺尺寸错误率。
一种 capp 工艺尺寸自动生成更新系统方法

[发明专利]模块化物料清单工艺匹配方法、装置和计算机设备-CN202210735578.6在审
发明人：马星臣 -专利权人：苏州浪潮智能科技有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种模块化物料清单工艺匹配方法、装置和计算机设备，所述方法包括：获取所述模块化物料清单的模块级，按照预设的模块级编码规则，对所述模块级进行编码，生成模块级料号；基于所述模块级的加工工艺，按照预设的模块级工艺编码规则，对所述模块级的加工工艺进行编码，生成模块级工艺名，所述模块级工艺名中至少包括一个所述模块级料号；基于所述模块级料号，获取与所述模块级对应的所述模块级工艺名，以实现所述模块化物料清单工艺的匹配。具有工艺维护效率高、工艺识别难度小、工艺识别准确性高的有益效果。
模块化物料清单工艺匹配方法装置计算机设备

[发明专利]一种工艺工序设计方法及设计模块-CN201911079976.1在审
发明人：张文刚;张兵;刘福利 -专利权人：无锡功恒精密机械制造有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种工艺工序设计方法及设计模块，具体的，多个工艺模块图标显示于显示模块的第一区域；生成排序状态工艺模块，且与所述排序状态工艺模块相对应的工艺模块图标显示于所述显示模块的第二区域；排序状态工艺模块包括连接节点模块；连接节点模块由隐藏状态转变为显示状态，且连接节点模块图标显示于与所述排序状态工艺模块相对应的工艺模块图标的编辑区域；连接节点模块由显示状态转变为可编辑状态；连接线模块对可编辑状态的所述连接节点模块所对应的排序状态工艺模块设定工序优先级使用本发明可以把工艺工序设计过程简单化，工艺工序简单明了，设计过程更加便利。
一种工艺工序设计方法模块

[发明专利]涂胶显影设备和方法-CN202310681480.1在审
发明人：张建;程虎;陈兴隆 -专利权人：上海芯源微企业发展有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供一种涂胶显影设备和方法，该设备包括片盒模块、层间工艺模块、层内工艺模块和穿墙单元组；片盒模块和层内工艺模块分别设于层间工艺模块的两侧；片盒模块用于装载和传输晶圆传送盒，晶圆传送盒用于装载晶圆；层间工艺模块内设有层间机械手组，层间机械手组用于在层间工艺模块内传输晶圆；层内工艺模块内设有L层工艺层；每层工艺层均包括层内机械手和层内工艺组，层内机械手用于在工艺层内传输晶圆；穿墙单元组设于层内工艺模块和层间工艺模块之间；L个穿墙单元组与L层工艺层一一对应设置；每个穿墙单元组用于将晶圆从层间工艺模块传输向工艺层，或/和将晶圆从工艺层传输向层间工艺模块。
涂胶显影设备方法

[发明专利]基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法-CN201810179929.3有效
发明人：崔相镇;金男东;姜东希;朴永濬 -专利权人： ENSCAPE有限公司
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法。基于模块的工艺设备，包括：多个模块，分别具备固有的模块标识符；及控制部，从多个模块接收与多个模块对应的多个模块标识符，基于所接收的多个模块标识符确定需对工艺对象实施的工艺，根据所确定的工艺来控制至少一个模块，以对工艺对象实施工艺。
基于模块工艺设备控制装置方法

[发明专利]产品生产工艺流程计算机仿真系统及方法-CN201110228320.9无效
发明人：周立斌;杨冬;郭鑫;刘云程 -专利权人：易达康（南京）信息系统有限公司
申请日： 2011-08-10 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种产品工艺路线的系统及方法，是一种产品生产工艺流程计算机仿真系统及方法，包括文件读取模块、基础数据模块、自定义属性模块、产品工艺模型模块、路线仿真模块和生产排程优化模块，其中，文件读取模块，用于读取产品设计系统的数据，放入产品工艺模型模块；基础数据模块，用于设定生产现场的状况数据；自定义属性模块，用于维护构成产品物料清单和产品工艺的计算参数的属性；产品工艺模型模块，用于管理建立产品工艺路线的产品工艺模型；路线仿真模块，用于根据产品工艺模型计算出工艺路线，并对工艺路线进行管理；生产排程优化模块，用于对路线仿真模块的工艺路线更换条件，获得最优的排程结果。所述系统对产品工艺路线进行仿真或者优化，节约成本，省时省力。
产品生产工艺流程计算机仿真系统方法

[发明专利]基板处理装置及方法-CN201911140688.2在审
发明人：张富蓉 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置包括：工艺模块，执行对基板的工艺处理；索引模块，将基板插入至所述工艺模块，并从所述工艺模块抽出完成工艺处理的基板；装载模块，将环境转换为真空环境或常压环境，将基板在真空环境的所述工艺模块与常压环境的所述索引模块之间中转；及控制模块，从所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块接收运行状态，并参照所接收的运行状态，而按单位时间内完成工艺处理的基板数量增加的方向调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。
处理装置方法

[发明专利]制造工艺管理系统-CN202210719903.X在审
发明人：吕旭东;徐云飞;孙岱岳 -专利权人：雷恩博（杭州）信息科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明揭示了一种制造工艺管理系统，所述制造工艺管理系统包括：产品工艺参数录入模块、产品图纸导入模块、审图记录模块、工艺技术交底模块、标准工序过程库模块、部件制造工序模块、部件组装工序模块、总装工序模块、排版和焊缝布置图模块、工艺卡填写模块、工艺卡管理模块及制造标准库模块。本发明提出的制造工艺管理系统，可提升生产管理效率，并加强质量控制，降低工艺人员编制生产工艺的难度，提升了编制效率，提高生产管理的便捷度、工作统计及质量记录的便利性。
制造工艺管理系统

[发明专利]涂胶显影设备-CN201910944293.1在审
发明人：洪旭东 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种涂胶显影设备包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，第一工艺模块和第二工艺模块的一端与片盒模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块的另一端与接口模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率，第一工艺模块和第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，第一层间工艺机械手、第二层间工艺机械手和层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器
涂胶显影设备

[实用新型]涂胶显影设备-CN201921657915.4有效
发明人：洪旭东 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种涂胶显影设备包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，第一工艺模块和第二工艺模块的一端与片盒模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块的另一端与接口模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率，第一工艺模块和第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，第一层间工艺机械手、第二层间工艺机械手和层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器
涂胶显影设备

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