专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基于制程区域的晶粒外观检测方法及系统-CN202111141388.3在审
  • 程果 - 武汉精创电子技术有限公司
  • 2021-09-28 - 2022-01-04 - H01L21/66
  • 本发明提供一种基于制程区域的晶粒外观检测方法,包括如下步骤:获取晶圆上的标准晶粒,并对所述标准晶粒进行基于制程的区域划片;通过选取所述标准晶粒的特征点来对所述晶圆上的待测晶粒进行对位;基于所述标准晶粒的不同制程区域提取所述待测晶粒的对应制程区域;对所述待测晶粒的不同制程区域采用对应制程的检测方法进行缺陷检测。本发明通过对待测晶粒进行基于制程的区域提取,并对不同制程的区域采用不同的检测方法进行缺陷检测,提高了检测的精度及效率;同时,采用同一标准晶粒作为所有待测晶粒的对比标准,提高了检测的鲁棒性。
  • 一种基于区域晶粒外观检测方法系统
  • [实用新型]一种晶粒筛分装置-CN201721036447.X有效
  • 陈磊;陈建民;赵丽萍;张文涛;王东胜 - 河南鸿昌电子有限公司
  • 2017-08-18 - 2018-03-02 - H01L21/67
  • 本实用新型涉及半导体致冷件加工技术领域的设备,名称是一种晶粒筛分装置,包括晶粒排列模具,晶粒排列模具上具有阵列的晶粒放置孔,放置孔和所排列的晶粒配合;在晶粒排列模具下面具有振动装置,所述的振动装置是由一个电机,以及在电机轴头上安装的偏心轮形成的,其特征是在所述的振动装置和晶粒排列模具之间还有一个旋转装置,所述的旋转装置能够使晶粒排列模具水平转动360度,所述的晶粒放置孔上面边缘具有圆形的倒角结构。这样的晶粒筛分装置具有可以使所用晶粒便于归位、提高生产效率,使用方便的的优点。
  • 一种晶粒筛分装置
  • [发明专利]用于晶粒晶粒接合的积体电路以及测试晶粒晶粒接合的方法-CN201180031739.3有效
  • 阿利弗·瑞曼 - 吉林克斯公司
  • 2011-01-18 - 2013-07-24 - G01R31/28
  • 一种积体电路(100)包括:第一晶粒(105,110);第二晶粒(115),其中,该第一晶粒可配置于其上;多个晶粒间连线(205,205A,205B),其耦接该第一晶粒至该第二晶粒;以及多个探针垫片(120,120A,120B,120C,120D,120E),其中每个探针垫片系耦接(305,310,405,410)至至少一个晶粒间连线。该第一晶粒可被架构以建立将该第一探针垫片耦接至该第二探针垫片的内连线(315,415,420,515)。在一些实施例中,每个探针垫片系耦接微凸块(210),并且内连线将微凸块彼此耦接。一些实施例利用了透过第二晶粒延伸的直通硅晶穿孔。也揭露了测试所描述的积体电路的方法。
  • 用于晶粒接合积体电路以及测试方法
  • [发明专利]LED晶粒筛选装置以及方法-CN202110821592.3在审
  • 向雪燕;包林;杨浩 - 重庆康佳光电技术研究院有限公司
  • 2021-07-20 - 2022-02-15 - B07C5/00
  • 本申请涉及一种LED晶粒筛选装置以及方法,LED晶粒筛选装置包括载台、检测组件、顶针以及控制件,载台用于承载多个LED晶粒;检测组件相对载台移动,检测组件用于取得多个LED晶粒的图像信息;顶针位于载台背向检测组件的一侧、且相对载台移动;控制件根据检测组件提供的图像信息,筛选出多个LED晶粒中的缺陷晶粒,并控制载台和顶针相对移动,使得顶针和缺陷晶粒对位、并控制顶针将缺陷晶粒顶出。上述LED晶粒筛选装置能够替代人工目检,以提高晶粒的筛选效率和精确度,并降低人工成本。
  • led晶粒筛选装置以及方法
  • [发明专利]晶粒清洁方法-CN202110319758.1在审
  • 卢彦豪 - 梭特科技股份有限公司
  • 2021-03-25 - 2022-09-30 - H01L21/02
  • 本发明提供了一种晶粒清洁方法,包括以下步骤:准备步骤:一晶粒的一表面上具有至少一微粒;移动步骤:一薄膜往靠近晶粒的方向移动,使得薄膜的一清洁部接近晶粒;吸附微粒步骤:通过一正压吹拂清洁部,清洁部受到正压的吹拂而往靠近晶粒的方向移动,使得清洁部吸附至少一微粒;以及移除微粒步骤:清洁部远离晶粒,并且将至少一微粒从晶粒的表面上移除。借此,本发明能够将晶粒的表面上的微粒全部清除,晶粒的后续加工程序不会受到微粒的影响,提升晶粒后续加工制成的产品良率。
  • 晶粒清洁方法
  • [实用新型]半导体元件封装设备-CN201020002409.4有效
  • 黄良印;洪世杰;邱创文 - 均豪精密工业股份有限公司
  • 2010-01-06 - 2010-10-06 - H01L21/50
  • 本实用新型公开了一种半导体元件封装设备,包含有控制模块、基板输送机构、预热装置、基板预检机构、晶粒预压机构、晶粒压合机构、晶片承载机构、晶粒备载机构以及晶粒取放机构,其中基板预检机构可用以检测基板的标示码,并将检测结果传至控制模块,再透过晶粒取放机构自晶片承载机构取出具有不同特性的晶粒放置于晶粒预压机构中的承载台上,承载台将晶粒移至晶粒预压机构中进行预压后,再由基板输送机构将粘有晶粒的基板移至压合区完成粘晶工艺
  • 半导体元件封装设备

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