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[发明专利]一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器-CN202210907400.5在审
发明人：方续东;高博楠;方子艳;李瑜;饶浩;孙昊;吴晨;邓武彬;吴俊侠;赵立波;田边;韩香广;王淞立;王鑫垚;陈兆翔;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点
一种基于静电激励电容检测谐振压力传感器

[发明专利]微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法-CN202210508937.4在审
发明人：邱祥彪;李婧雯;张正君;柏荣旭;顾燕;李涛;乔芳健;徐伟;牛鹏杰;张蓉 -专利权人：北方夜视科技（南京）研究院有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01T3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法，包括：采用原子层沉积技术，使用有机硼前驱体和臭氧或氧等离子体作为两种反应物通过化学反应生成10B2O3膜层；反应产物除了沉积于通道内壁的10B2O3膜层之外，还有胺类及有机气体，无对MCP基底有害的卤化氢气体，因此沉积膜层整体质量较高；通过制备中子敏感膜层的形式，比通过均匀掺杂在MCP基底玻璃中，探测效率可以达到更高的水平
通道内壁制备中子敏感方法

[发明专利]光敏混合膜的形成方法-CN202180060331.2在审
发明人：埃里克·卡尔文·汉森;蒂莫西·威廉·威德曼;吴呈昊;林庆煌;基莱·乔丹·布莱克内;阿德里安·拉沃伊;希瓦南达·克里希南·卡纳卡萨巴帕蒂;萨曼塔·S·H·坦;理查德·怀斯;潘阳;李英熙;卡蒂·林恩·纳尔迪;凯文·利·顾;鲍里斯·沃洛斯基 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及用金属前体与有机前体形成的膜，以及形成并采用这种膜的方法。该膜可用作可光图案化膜或辐射敏感膜。在特定的实施方案中，该膜包括含金属层与有机层的交替层。在其他实施方案中，该膜包括沉积金属与有机成分的基质。
光敏混合形成方法

[发明专利]高温压力传感器及其制作方法-CN201510197049.5有效
发明人：李策 -专利权人：昆山泰莱宏成传感技术有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：本发明为一种高温压力传感器，其包括主芯片，所述主芯片具有位于第一层的衬底、位于第二层的弹性膜、位于第三层的一对金属电极及连接该对金属电极的敏感电阻层，所述高温压力传感器还具有与所述主芯片贴合的盖板，所述盖板具有开口朝向所述主芯片方向的收容腔，所述金属电极与敏感电阻层密封于所述收容腔与所述弹性膜围设的密封腔内，所述高温压力传感器还包括分别与所述金属电极连接的一对导引线并延伸出所述密封腔。所述金属电极与敏感电阻层由于金属电极与弹性膜被密封在真空腔，或者接近真空腔内，令金属电极与敏感电阻层不容易氧化而提高整个传感器更能在高温下工作，可以使传感器在600℃的使用温度条件下的寿命达到1000小时
金属电极高温压力传感器敏感电阻主芯片弹性膜密封腔收容腔真空腔盖板传感器密封使用温度条件导引线第三层第一层衬底贴合围设开口延伸制作

[发明专利]一种具有压力敏感特性的电热膜及其制备方法-CN202111605119.8在审
发明人：康翼鸿;喻学锋;殷耀禹;贾宝泉 -专利权人：武汉中科先进技术研究院有限公司;犇星新材料(内蒙古)有限公司
申请日： 2021-12-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有压力敏感特性的电热膜及其制备方法。所述具有压力敏感特性的电热膜结构上包括下保护层、发热层、上保护层以及贴敷于发热层的电极和引出的导线。所述发热层包括如下组分：聚氨酯树脂95‑98wt%，石墨烯2‑5wt%，黑磷/金属氧化物纳米复合材料0.01‑0.5wt%。本发明在聚氨酯薄膜中填充略低于其导电渗滤阈值范围内的石墨烯填料，并添加少量黑磷/金属氧化物纳米复合材料增强薄膜的压力敏感特性。将所述的电热膜接通电源后，无外界压力时，由于发热层中石墨烯的含量略低于渗滤阈值，此时发热层电阻较大而不发热；当外界赋予电热膜一定压力时，发热层中石墨烯片层相互接近，形成导电通路，电热膜开始发热，当外力消失后，发热层恢复原状，停止发热。
一种具有压力敏感特性电热及其制备方法

[发明专利]一种高稳定性温度传感器敏感元件-CN201910657117.X有效
发明人：胡轶;吕正 -专利权人：重庆斯太宝科技有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：本发明涉及温度检测技术领域，具体为一种高稳定性温度传感器敏感元件，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板上设有厚膜铂层和薄膜铂层，所述厚膜铂层为骨架，所述薄膜铂层填充在所述骨架内，所述厚膜铂层和薄膜铂层构成感温电路；还包括绝缘包封层，所述绝缘包封层包裹厚膜铂层和薄膜铂层；所述感温电路包括引出端，所述引出端连接有引出线，所述引出线的自由端伸出绝缘包封层；所述绝缘包封层上设有用于加固引出线的加固封装部。本发明意在提供一种高稳定性温度传感器敏感元件，具备高稳定性和高可靠性。
一种稳定性温度传感器敏感元件

[发明专利]一种MEMS气流传感器-CN202211397391.6有效
发明人：周剑;蔡建兵;段辉高 -专利权人：湖南大学
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS气流传感器，包括：基底，具有一空腔；第一支撑层，设置于所述基底顶面；电容结构，设置于所述第一支撑层上；泄压结构，设置于所述结构层上；以及保护结构。本申请提供的一种MEMS气流传感器具有如下有益效果：可以在敏感膜两侧空气流速之差超过传感器的量程时，通过泄压结构减小振动空间内的压力以及利用保护结构阻碍敏感膜的进一步形变，对气流传感器的敏感膜进行有效保护，同时内置防尘膜可以阻挡外界异物进入传感器内部，提高了传感器的稳定性和可靠性。
一种 mems 气流传感器

[发明专利]柔性显示装置及其制备方法-CN201510868721.9在审
发明人：王志祥;胡思明;朱晖 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性显示装置，包括至少一层且具有第一类敏感条件及第二类敏感条件的记忆材料层，所述记忆材料层可感应所述第一类敏感条件及第二类敏感条件，并随所述第一类敏感条件和/或第二类敏感条件的改变在柔性与刚性之间切换上述柔性显示装置，记忆材料层可随敏感条件的变化而在刚性和柔性之间切换，从而在不同的使用状态和携带状态下感应敏感条件感应而变为刚性，从而对内部电路进行保护，避免了屏体各膜层间发生位移，导致电路特性发生变化
柔性显示装置及其制备方法

[发明专利]电容式氢气传感器及其制备方法-CN202011530555.9在审
发明人：肖韩;宋华威;王荣 -专利权人：杭州未名信科科技有限公司;浙江省北大信息技术高等研究院
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种电容式氢气传感器及其制造方法，包括：电极层形成在所述衬底的介质层上，第一电极和第二电极呈叉指状交错排列；氢气敏感层，形成在所述电极层上，且氢气敏感层为网状结构的聚合物膜本发明采用网状结构的聚合物膜作为氢气敏感层，这样氢气敏感层可以具有足够高的氢气渗透性，使得电容式氢气传感器的灵敏度更高，响应速度更快，此外，第一电极、第二电极呈叉指状交错排列，使得整个电容式氢气传感器有效面积变大
电容氢气传感器及其制备方法

[实用新型]一种基于光纤表面等离子共振的土壤水分传感器-CN200620032153.5无效
发明人：胡建东 -专利权人：河南农业大学
申请日： 2006-06-01 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：它由不锈钢滤帽，水分敏感膜，Au膜，半球型棱镜，光纤和水分传感器探头组成。在半球型棱镜圆周表面生长一层Au膜，Au膜的表层生长一层水分敏感膜，用于对土壤中的水分进行敏感吸收，用一个不锈钢滤帽来保护水分传感器探头。当一束偏振光耦合进入光纤，并经棱镜传导至Au膜处，Au膜内的自由电子将产生表面等离子共振。由于表面等离子体共振波长与出射光纤传导出的光谱信息，水分敏感膜的折射率存在对应关系。
一种基于光纤表面等离子共振土壤水分传感器

[发明专利]压阻式压力传感器及其制造方法-CN201410527030.8在审
发明人：李刚;胡维;吕萍 -专利权人：苏州敏芯微电子技术有限公司
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：所述压力传感器包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体。所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层。所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。
压阻式压力传感器及其制造方法

[实用新型]压阻式压力传感器-CN201420580179.8有效
发明人：李刚;胡维;吕萍 -专利权人：苏州敏芯微电子技术有限公司
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种压阻式压力传感器，其包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体。所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层。所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。
压阻式压力传感器

[发明专利]复合薄膜声音传感器及其制备方法和应用-CN202210348311.1有效
发明人：王丽丽;陈靖雯;沈国震;陈娣 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合薄膜声音传感器及其制备方法和应用，本发明提供的声音传感器，包括：柔性衬底；导电敏感层，用于感知外界声音信号，通过与所述声音信号产生共振改变所述导电敏感层的电阻和导电状态，形成电信号；电极，用于给所述导电敏感层通电，并传输所述电信号；其中，所述导电敏感层通过导电膜以及二硫化钼膜形成周期性交叠多层结构。采用添加具有二维层状结构的柔性敏感表层，使传感器可与不同的声音产生共振，从而感知外界声音信号，表现为自身电学性能的变化，进而应用于振动检测和声音检测，能够应用于声控电子系统等小型电子器件，解决了传统声学设备不适用于便携的传感器设备的问题
复合薄膜声音传感器及其制备方法应用

[实用新型]一种基于溅射薄膜的薄膜应变计-CN201621369002.9有效
发明人：王文卷;戚龙;潘婷;郇光周;张苗 -专利权人：陕西电器研究所
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于溅射薄膜的薄膜应变计，有基底、薄膜应变计敏感栅、覆盖物保护膜及导引电信号的引出线组成。基底是一层厚度在100μm之内的聚酰亚胺薄膜，起到绝缘作用和传递应变作用；用于感知结构应变的敏感栅是一层金属薄膜镍铬合金，通过溅射薄膜制备工艺制成，可大大降低应变计的使用功耗；引出线通过焊接方式焊接在敏感栅的焊接栅处；覆盖物保护膜是一层Si3N4防护层，可以起到对敏感栅的热、腐蚀、水、电等外界条件的防护作用，防止敏感栅过早、过快氧化，防止受到外界环境的化学破坏。
一种基于溅射薄膜应变

[发明专利]直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法-CN200910022513.1无效
发明人：李昕;朱长纯;刘君华;刘卫华 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2009-05-14 - 公布日： 2009-10-14 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法，采用直热式叉指电极作为信号拾取和加热丝的碳纳米管气体传感器。直热式叉指电极可以拾取敏感膜输出信号，拾取信号时采用电极并联结构。直热式叉指电极可以作为加热丝，使加热电流流过每个指条形成串联回路，对其上的敏感膜区域加热。直热式叉指电极工艺简单，无需专门设计加热层，直接加热效果好，功耗低。直接加热敏感膜而无须通过加热衬底来提高敏感膜温度，因而不要求衬底具有良好的导热性，适应于更多种类衬底材料。
直热式碳纳米气体传感器敏感制备方法

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