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[实用新型]片式氮氧化物传感器的敏感元件-CN201520480684.X有效
发明人：王金兴;张斌;刘宏宇;张克金;王丹 -专利权人：中国第一汽车股份有限公司
申请日： 2015-07-07 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种片式氮氧化物传感器的敏感元件，由敏感层A、参比层B、加热层C组成，其特征在于：敏感层A由敏感层底层基片、敏感层中间层基片、敏感层顶层基片组成，主泵外电极布置在敏感层顶层基片上，主泵外电极上覆盖主泵外电极保护层，敏感层中间层基片前端开有4个腔室，主泵内电极和辅泵内电极布置在敏感层中间层基片与敏感层顶层基片之间，底层主泵内电极、底层辅泵内电极、检测电极布置在敏感层底层基片和敏感层中间层基片之间；其能使敏感元件上涂印的加热电阻头部有效加热区域面积更大，升温更快，发热均匀，减少热应力冲击的片式氮氧化物传感器的敏感元件。
片式氮氧化物传感器敏感元件

[实用新型]一种柔性压力传感器的封装结构-CN202122705131.8有效
发明人：秦泽昭;张通;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型属于柔性压力传感器技术领域，公开了一种柔性压力传感器的封装结构，包括：封装结构从下到上依次为电极层、敏感层、保护层和封装层，所述电极层的上侧面分为敏感层安装部和封装层连接部，所述封装层连接部环绕包围敏感层安装部，所述敏感层设置于敏感层安装部，所述敏感层和保护层尺寸相同，所述封装层包裹保护层和敏感层并和封装层连接部连接。有益效果：在封装结构中增加了封装层，通过封装层包裹敏感层和保护层，实现了良好的密封效果，可以避免环境中的灰尘、水汽等影响柔性压力传感器的工作；封装层和封装层连接部连接，可以在包裹敏感层和保护层的同时将敏感层固定于敏感层安装部，避免敏感层的移动。
一种柔性压力传感器封装结构

[发明专利]一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法-CN201810708216.1有效
发明人：刘云飞;周瑜;冯杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第三研究所
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法，硅衬底上形成有桥孔，桥孔的一侧上设有第一电极，桥孔的另一侧上设有第二电极、第三电极，桥孔上方设有第一薄丝、第二薄丝，第一薄丝、第二薄丝平行设置且保持微间距，第一薄丝、第二薄丝的敏感层均依次由第一端部敏感层、中部敏感层、第二端部敏感层三段组成，中部敏感层的长度大于第一端部敏感层、第二端部敏感层的长度，中部敏感层用于传递热量，第一端部敏感层、第二端部敏感层用于与电极连接；中部敏感层与第一端部敏感层、第二端部敏感层之间分别设有空气间隙层。本发明能够有效提升低频声场质点振速敏感结构的低频响应特性。
一种低频声场质点敏感结构制备方法

[发明专利]一种柔性多参数传感器及其制造方法-CN201210265331.9有效
发明人：秦毅恒;明安杰 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2012-07-27 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：按照本发明提供的技术方案，所述柔性多参数传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底上方的压力敏感层、湿度敏感层及温度敏感层，所述湿度敏感层覆盖于压力敏感层上，温度敏感层覆盖于湿度敏感层上，温度敏感层上覆盖有保护层；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口，所述接触窗口贯通探测敏感区内相应的保护层与温度敏感层，并延伸到湿度敏感层的表面。
一种柔性参数传感器及其制造方法

[实用新型]一种柔性多参数传感器-CN201220366634.5有效
发明人：秦毅恒;明安杰 -专利权人：江苏物联网研究发展中心
申请日： 2012-07-27 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：按照本实用新型提供的技术方案，所述柔性多参数传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底上方的压力敏感层、湿度敏感层及温度敏感层，所述湿度敏感层覆盖于压力敏感层上，温度敏感层覆盖于湿度敏感层上，温度敏感层上覆盖有保护层；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口，所述接触窗口贯通探测敏感区内相应的保护层与温度敏感层，并延伸到湿度敏感层的表面。
一种柔性参数传感器

[发明专利]一种高可靠性CO2气体传感器-CN201610544513.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：江苏源清环保科技有限公司
申请日： 2016-07-07 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种高可靠性CO2气体传感器，所述CO2气体传感器由绝缘陶瓷、电极、敏感层和加热单元组成；所述绝缘陶瓷为沿其长度方向中空的长方体形状；所述电极为两个环形铜电极，分别位于所述绝缘陶瓷的长度方向的两边，覆盖所述绝缘陶瓷的前侧面、后侧面、上面和下面，所述电极的宽度为0.5cm；所述加热单元位于所述绝缘陶瓷中空内部；所述敏感层分为敏感层A和敏感层B，所述敏感层A和敏感层B中有造孔剂碳酸钙形成的多孔结构，所述绝缘陶瓷的上面从内到外依次为敏感层A、敏感层B，所述绝缘陶瓷的下面从外到内依次为敏感层A、敏感层B；所述敏感层A中敏感材料为HoFeO3纳米粉体；所述敏感层B敏感材料为SnO2粉体。
一种可靠性 co2 气体传感器

[发明专利]一种半导体器件及其制造方法-CN202310533505.3有效
发明人：康晓旭;郭佳惠;高晋文;陆原;王晋 -专利权人：润芯感知科技（南昌）有限公司;华润微电子控股有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件及其制造方法，所述方法包括：提供敏感材料层，敏感材料层包括第一表面和第二表面；在敏感材料层的第二表面上形成牺牲层和包围牺牲层的边墙层，边墙层的顶部形成有连接牺牲层的释放孔，边墙层的底部设置在敏感材料层的第二表面上；自敏感材料层的第一表面起依次刻蚀敏感材料层和边墙层，以形成贯穿敏感材料层、并延伸至边墙层内部的凹槽，凹槽的开口与边墙层的底部相对设置；形成填充凹槽的填充层；通过释放孔去除牺牲层，以在边墙层和敏感材料层之间形成空腔结构本发明能够降低敏感材料层与边墙层之间的界面层的腐蚀速度，避免在敏感材料层与边墙层之间产生开裂。
一种半导体器件及其制造方法

[发明专利]一种红外传感器及其制备方法-CN201710516641.6有效
发明人：康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L21/266 文献下载
摘要：本发明提供了一种红外传感器及其制备方法，红外传感器包括：一衬底，衬底上具有敏感层；在敏感层侧壁和顶部覆盖有电极层图案；敏感层顶部与电极层图案底部相接触的表层具有掺杂敏感层；掺杂敏感层是通过离子轰击透过电极层图案进入敏感层中得到的本发明利用离子注入来改善电极层和敏感层之间的接触，不需要对敏感层和电极层进行高温退火，避免对器件和后道互连的影响。
一种红外传感器及其制备方法

[发明专利]一种用于轴承温度/应变信号监测的传感器-CN201811396344.3有效
发明人：李星亮;徐昌语;郭蒙;荀尚伟;张彬 -专利权人：中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明是一种用于轴承温度/应变信号监测的传感器，该传感器是在轴承的外圈端面(1)上制备应变敏感层(2)和温度敏感层(3)而形成，应变敏感层(2)和温度敏感层(3)的一端相互搭接在一起，应变敏感层(2)、温度敏感层(3)和应变敏感层(2)与温度敏感层(3)的相互搭接面均与轴承的外圈端面(1)绝缘，应变敏感层(2)的电阻值能够随应变发生变化而形成应变传感器，应变敏感层(2)和温度敏感层(3)的相互搭接面的电压值能够随将温度发生变化而形成热电偶式温度传感器，在应变敏感层(2)和温度敏感层(3)的另一端通过引线(4)引出信号。
一种用于轴承温度应变信号监测传感器

[发明专利]储层敏感性智能预测数据处理方法及装置-CN202010531272.X有效
发明人：蒋官澄;吴雄军;杨丽丽;贺垠博;董腾飞;全晓虎;彭春耀;罗绪武;谭宾;蔡军;梁兴;尤志良;王勇;李斌;郭永宾;管申 -专利权人：中国石油大学（北京）
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G06F16/23 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种储层敏感性智能预测数据处理方法及装置，属于储层敏感性技术领域。所述方法包括：收集储层敏感性数据；将所述新的储层敏感性因素项与标准储层敏感性因素项进行比较得到比较结果；在所述比较结果指示所述新的储层敏感性因素项缺少一项储层敏感性影响因素的情况下，反演推算出缺少的储层敏感性影响因素的数值；判断反演推算出的所述缺少的储层敏感性影响因素的数值是否准确；若准确，则将反演推算出的储层敏感性数据及其反演数值作为一条新的储层敏感性数据存储至对应的数据库。本发明实施例能够建立准确地反映储层敏感性影响因素与敏感性结果之间的内在关系的数据库，从而提高储层敏感性智能预测的准确率。
敏感性智能预测数据处理方法装置

[发明专利]一种基于属性敏感度选择储层敏感地震属性组合的方法-CN202110880907.1有效
发明人：范廷恩;杜昕;张显文;董建华;刘畅;范洪军;田楠;张晶玉;王海峰;何荣胜 -专利权人：中海石油（中国）有限公司;中海石油（中国）有限公司北京研究中心
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01V1/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于属性敏感度选择敏感属性组合的方法，包括步骤：提取储层中潜在的多种类型储层地震属性；计算所述第一交会椭圆得到地震属性敏感度S1；根据所述地震属性敏感度S1从大到小选出若干种储层地震属性作为储层敏感地震属性集；计算对应的两种储层敏感地震属性之间的地震属性敏感度S2，并根据所述的地震属性敏感度S2得到地震属性敏感度矩阵；计算所述地震属性敏感度矩阵每行的敏感度平均值，作为该行所对应的储层敏感地震属性与其他储层敏感属性之间的平均相关程度，选择平均相关程度较小的多个储层敏感地震属性作为最终的储层敏感地震属性组合。述选择敏感属性组合的方法能够提高对储层结构预测的准确性。
一种基于属性敏感度选择敏感地震组合方法

[实用新型]电容式电子皮肤传感器和基于语音识别的锁具-CN201720110637.5有效
发明人：钱惠君 -专利权人：张家港市长江五金锁业有限公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： G01D5/241 文献下载
摘要：本新型公开了一种电容式电子皮肤传感器和基于语音识别的锁具，包括上下设置的敏感层和支撑层，支撑层和敏感层之间围成一敏感腔体，该敏感腔体凹设形成于支撑层的顶面，敏感腔体的顶面和底面分别形成有第一电极层和第二电极层，第一电极层和第二电极层相对设置，敏感层的顶面凹设形成弧形的接触面，该接触面上凸伸有多个凸起部，凸起部具有球形的表面，支撑层的底面形成有第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别电性连接于第一电极层和第二电极层，支撑层的材质硬度大于敏感层的硬度。本新型敏感腔体开设于支撑层和敏感层之间，通过上下设置的电极层距离微小的改变，可以提高电容式传感器的敏感度，同时通过弧形的接触面和弧形的敏感腔体可以进一步提高敏感度。
电容电子皮肤传感器基于语音识别

[发明专利]一种中子敏感复合膜及其制备方法、中子敏感微通道板-CN202011416105.7在审
发明人：赵卫;孙蒙雅;朱香平;韦永林 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01J43/24 文献下载
摘要：本申请提供一种中子敏感复合膜及其制备方法、中子敏感微通道板，属于电子器件技术领域。中子敏感复合膜包括交替层叠布置的中子敏感层和金属单质层。中子敏感层的材质包括BN或10BN。交替层叠布置的中子敏感层和金属单质层能够优化中子敏感复合膜的中子探测能力，且金属单质层使中子敏感复合膜具有导电性。利用原子层沉积法在微通道板内壁制备得到表面致密且厚度均匀的中子敏感复合膜，使微通道板获得较好的中子探测能力，提升中子敏感复合膜的中子探测效率。同时，通过调控原子层沉积的重复次数，可以精确控制每一层中子敏感层和金属单质层的厚度，以及精确控制整个中子敏感复合膜的厚度，从而设计得到具有预设电阻的中子敏感复合膜。
一种中子敏感复合及其制备方法通道

[发明专利]一种空间碎片的探测装置及方法-CN202011017218.X有效
发明人：刘治东;杨志;王晓宇 -专利权人：航天东方红卫星有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01D5/56 文献下载
摘要：所述探测装置包括第一敏感层、第二敏感层和第三敏感层，其中，所述第一敏感层、所述第二敏感层和所述第三敏感层均是由封装后的聚偏氟乙烯压电薄膜和设置于所述聚偏氟乙烯压电薄膜上的声发射传感器组成的，所述第一敏感层、所述第二敏感层和所述第三敏感层间隔预设距离横向排布设置，且所述第一敏感层、所述第二敏感层和所述第三敏感层相互平行。本发明实施例通过三层PVDF压电薄膜和声发射传感器进行组合，能够给出空间碎片撞击时刻、速度矢量、尺寸和材料类型等信息，为微小空间碎片环境探测与建模提供高质量探测数据，而且具有工艺简单、结构轻便、探测面积大
一种空间碎片探测装置方法

[实用新型]一种用于监测脉搏与体温的柔性传感器及其监测系统-CN202021185414.3有效
发明人：何鑫;贺祥;张弛;杨为家;张忠华;刘志豪;钟毓 -专利权人：五邑大学
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： A61B5/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于监测脉搏与体温的柔性传感器及其监测系统，其中柔性传感器包括第一柔性材料层、第二柔性材料层和敏感层，敏感层位于第一柔性材料层与第二柔性材料层间；敏感层包括分隔的脉搏监测敏感层和体温监测敏感层；两根导线从脉搏监测敏感层引出，另外两根导线从体温监测敏感层引出。另外，脉搏监测敏感层与体温监测敏感层分隔，且分别引线，测量的数据不会相互干扰，使测量结果更加准确。
一种用于监测脉搏体温柔性传感器及其系统

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