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[发明专利]一种三明治型纳米结构的分析方法-CN201710277057.X在审
发明人：刘金养;黄青青;徐杨阳;黄志高;赖发 -专利权人：福建师范大学
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： G01N23/22 文献下载
摘要：本发明公开一种三明治型纳米结构的分析方法，其包括以下步骤1）将三明治型纳米结构放置于硅片上，作为观察样品；2）将观察样品置于载物台上；3）调节扫描电子显微镜并分析观察样品的形貌与结构；具体为3‑1）设置加速电压为低加速电压，观测并获取低加速电压时三明治型纳米结构的上层和中层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑2）设置加速电压为高加速电压，观测并获取高加速电压时三明治型纳米结构上层、中层和下层材料的形貌与结构的扫描电子显微镜照片；3‑3）通过对比和分析高、低加速电压的扫描电子显微镜照片，分析三明治型纳米结构上层材料和下层材料的形貌与结构。本发明通过调控电子束的加速电压来调控二次电子的逃逸深度，观察并确定纳米材料不同空间层次材料的形貌与结构，操作简单可行。
一种三明治纳米结构分析方法

[发明专利]一种定性检测电子产品中石棉的电子显微-X射线衍射法-CN201810222470.0在审
发明人：王宏伟;李俊芳;付艳玲;朱玉松;夏德富;席广成;肖海清 -专利权人：中国检验检疫科学研究院
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01N23/2005 文献下载
摘要：一种定性检测电子产品中石棉的电子显微‑X射线衍射法，是一种将扫描电子显微镜观察和X射线衍射观测相结合的方法，通过扫描电子显微镜的观察，考虑了样品的形态特性并初步确认石棉种类，进而采用X射线衍射确认石棉种类该方法与单独使用X射线衍射法相比，使得X射线衍射观测有的放矢，其结果准确、重现性好，可用于准确鉴定出电子产品待测样品中含有的微量石棉，适用于各类电子产品中石棉的检验。
石棉电子产品定性检测显微扫描电子显微镜观察观测扫描电子显微镜待测样品单独使用形态特性重现性可用观察检验

[发明专利]一种通用型扫描电子显微镜样品台座-CN201711126799.9有效
发明人：倪兵;王奕文;巩志伟;陈丽 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种通用型扫描电子显微镜样品台座，本发明公开的通用型扫描电子显微镜样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面，在所述顶面上设有至少一个样品台孔，所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台；和至少一个支柱本发明的样品台座，能够匹配市场上大部分型号的扫描电子显微镜样品台，使用本发明的样品台座极大的提高了观察效率，显著地降低了扫描电子显微镜的观察成本。而且，本发明的通用型扫描电子显微镜样品台座布局紧凑，充分合理的利用了样品台座的有限的空间。
样品台座扫描电子显微镜通用型样品台圆柱型样品负载样品螺孔相螺孔型外螺纹顶面观察紧凑匹配配合

[发明专利]一种电池原位电镜观测方法及电池原位电镜观测系统-CN202310383598.6在审
发明人：陈荣;李慧芳 -专利权人：力神（青岛）新能源有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01Q30/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电池原位电镜观测方法及电池原位电镜观测系统，所述电池原位电镜观测方法包括步骤S1，原位电池的电连接：将原位电池放入已位于惰性气氛环境中的扫描电子显微镜样品仓，然后将电池充放电设备与原位电池相连接；所述原位电池通过电池夹紧装置对样品电池进行夹紧操作后获得；步骤S2，原位电池的观测：通过电池充放电设备对位于扫描电子显微镜样品仓中的原位电池进行充放电操作，并通过扫描电子显微镜对原位电池的正极片或负极片的截面部分进行观测本发明能够准确、可靠地对锂离子电池的正极和负极活性物质材料在电化学反应时发生的形貌变化进行原位观测，提高观测效率。
一种电池原位观测方法系统

[发明专利]用于以原本状态观察生物试样的利用电子显微镜的观察方法、以及用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜-CN201280044046.2有效
发明人：针山孝彦;高久康春;铃木浩司;村中祥悟;太田勋;下村政嗣;石井大佑 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构
申请日： 2012-09-07 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供一种利用电子显微镜进行观察的方法、和用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜，使用所述电子显微镜能够在存活的状态下观察生物试样，并且可以观察活动情况。本发明的利用电子显微镜观察试样的方法包括以下工序：在试样表面应用含有选自两亲性化合物、油脂类及离子液体中的至少1种的蒸发抑制用组合物形成薄膜，从而利用薄膜覆盖该试样的工序；和在显示装置上显示收容于真空下的试样室的用该薄膜覆盖的试样的电子显微镜图像的工序
用于原本状态观察生物试样利用电子显微镜方法以及真空蒸发抑制组合扫描透射

[发明专利]一种扫描电子显微镜图像处理方法和系统-CN202110116084.5在审
发明人：张跃飞;陈居田;唐亮;张宜旭;王永峰;刘陵恩;张泽 -专利权人：浙江祺跃科技有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G06T5/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描电子显微镜图像处理方法和系统。该扫描电子显微镜图像处理方法利用Canny边缘检测算法对待处理的扫描电子显微镜图像进行边缘检测，提取图像的边缘信息；利用小波阈值去噪法对待处理的扫描电子显微镜图像进行去噪处理，提取图像去噪后的特征；然后结合图像的边缘特征和小波去噪特征
一种扫描电子显微镜图像处理方法系统

[发明专利]一种电子显微镜外罩式真空箱装置-CN202010014354.7在审
发明人：杨艳娜;郭新勇;张康;李盛;董宝杰 -专利权人：河南河大科技发展有限公司
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜主机置于真空箱中，为电子显微镜提供低真空状态的工作环境。该装置包括：真空箱（1）、机械泵（2）、机械手（3）、电子显微镜（4）。本发明设计一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜整体置于其中，实现电镜在粗真空环境下工作，人员在真空外操作，以减少工作环境中不良因素对电子显微镜的影响，提高电子显微镜的稳定性，延长电子显微镜的寿命
一种电子显微镜外罩空箱装置

[发明专利]一种透射电子显微镜观测样品制备方法-CN201010192437.1有效
发明人：张玉多;刘君芳;谢火扬;陈卉;卢秋明 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2010-06-04 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种透射电子显微镜观测样品制备方法，包括以下步骤：提供一需观察的半导体器件，所述半导体器件包括衬底和位于所述衬底上的图形层，在所述图形层之上固定一新衬底，形成一新的半导体器件；去除所述衬底；观察所述暴露出的图形层，确定其上需通过透射电子显微镜进行进一步观察的图形区域；沿所述新的半导体器件的垂直截面方向对所述新的半导体器件进行切割减薄，使所述暴露出的图形层上需通过透射电子显微镜进行进一步观察的图形区域的截面暴露出来，并形成厚度符合透射电子显微镜观测要求的观测样品。本发明的透射电子显微镜观测样品制备方法可确保通过TEM观测得到的图形线宽等数据的准确性。
一种透射电子显微镜观测样品制备方法

[发明专利]一种基于计算机图像处理的大气粒子观察显微镜-CN202310634498.6在审
发明人：陶星宇;汪小桐;郭浩然;吴昊 -专利权人：成都信息工程大学
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：本发明涉及大气观察设备技术领域，具体公开了一种基于计算机图像处理的大气粒子观察显微镜，包括：样品制备、透射电子显微镜观察、去模糊处理、误差补偿和调节倍数；本发明通过采用直接采样法，将大气粒子采样在铜网上，通过透射电子显微镜对铜网进行观察，形成透射电子显微镜图像，同时利用卷积神经网络对图像进行学习，通过生成对抗网络对透射电子显微镜图像进行去模糊处理，提高画面清晰度，同时利用误差补偿，对图像进行误差补偿，减小因透射电子显微镜本身的误差给观测结果带来的影响，此外通过计算机编程调节透射电子显微镜的提高倍率，来根据需要观察大气粒子的类型和数量，从而便于提高观察效率和准确性。
一种基于计算机图像处理大气粒子观察显微镜

[实用新型]一种病理切片智能扫描仪-CN201820699037.1有效
发明人：叶远军 -专利权人：广州雅莉卡科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种病理切片智能扫描仪，包括电子显微镜、平台底座、活动平台、装载切片装置和卸载切片装置，装载切片装置设置于电子显微镜一侧的平台底座上，卸载切片装置设置于电子显微镜另一侧的平台底座上，活动平台与平台底座活动连接，将装载切片装置中的切片经电子显微镜扫描后由卸载切片装置收集。本实用新型结构简单、装卸载动作少、可靠性强、空间体积紧凑的一种病理切片智能扫描仪。
切片装置平台底座电子显微镜病理切片扫描仪卸载装载本实用新型活动平台智能电子显微镜扫描活动连接切片紧凑装卸

[发明专利]基于深度神经网络的超分辨率场发射扫描电子显微镜-CN201910273096.1在审
发明人：兰楚文;马巍;高泽华 -专利权人：北京邮电大学
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G06T3/40 文献下载
摘要：本发明提出一种基于深度神经网络的超分辨率场发射扫描电子显微镜，利用机器学习的方法通过搭建并训练一个深度神经网络来显著改善场发射扫描电子显微镜的性能，在不改变场发射扫描电子显微镜物理结构的前提下实现图像超分辨率
场发射扫描电子显微镜神经网络超分辨率图像超分辨率大视场角机器学习物理结构高信

[实用新型]一种电子显微镜与数字尺组合的静力水准仪装置-CN202121593826.5有效
发明人：杨东升;周明;李斌;吴忠明;贾栖 -专利权人：浙江华东测绘与工程安全技术有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01C5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电子显微镜与数字尺组合的静力水准仪装置，包括桶体，所述桶体顶部设有上盖，所述上盖上设有通气孔，所述桶体中上部设有承载盘，所述承载盘上安装有电子显微镜，所述电子显微镜右侧设有显微镜电缆，本实用新型采用了电子显微镜与精密数字尺相结合，使得沉降位移观测更直观，测量手段更便利，可采用手机或电脑安装的与电子显微镜间的通讯软件即可读取装置中的电子显微镜中的图片数据，无需另外配制专用读数仪表。
一种电子显微镜数字组合静力水准仪装置

[发明专利]高分辨分析探测台-CN99810154.0无效
发明人： F·K·霍尔曼 -专利权人：微操作控制器股份有限公司
申请日： 1999-08-26 - 公布日： 2001-09-26 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：一种用于使用电子显微镜(SEM)通过电测试信号在集成电路样品上探测的方法和系统,其中设置电子显微镜用于观察样品(50)上暴露导电端子的表面。设置托盘为扫描电子显微镜(10)支撑样品(50),同时,计算机从扫描电子显微镜(12)获得确定样品(50)的表面的导电路径标记的图像。由计算机遥控的电动操纵器操纵多个探针(24),它们能够在样品(50)的表面上定位,以在容纳了扫描电子显微镜(12)、托盘(25)、电动操纵器和用于在真空中分析样品(50)的多个探针(24)的真空室内壳(
分辨分析探测

[发明专利]扫描电子显微镜的污染检测方法-CN201810830214.X在审
发明人：陈灵 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明技术方案公开了一种扫描电子显微镜的污染检测方法，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有介质抗反射层；将所述半导体衬底置于所述扫描电子显微镜所处的真空环境中，使所述半导体衬底充分暴露在所述真空环境中；在所述介质抗反射层上形成光刻胶图形；通过所述扫描电子显微镜获取形成有光刻胶图形的半导体衬底的表面图像；基于所述半导体衬底的表面图像检测所述光刻胶图形的缺陷。本发明技术方案可以监控扫描电子显微镜对半导体产品的污染影响。
扫描电子显微镜衬底半导体光刻胶图形介质抗反射层表面图像污染检测真空环境半导体产品污染影响监控暴露检测

[发明专利]扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄方法及拍摄系统-CN201911106494.0在审
发明人：刘殳平 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H04N1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体生产工艺的扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄方法，包括扫描式电子显微镜对晶圆拍摄多张照片，所拍摄照片覆盖晶圆全部区域，拍摄顺序相邻的晶圆照片之间存在重复拍摄区域；判断各晶圆张照片之间是否存在相同区块，若两张晶圆张照片之间存在相同区块，则将相同区块重叠使两张晶圆张照片拼接形成一张晶圆照片；重复执行步骤S2，完成所有晶圆照片拼接，形成该晶圆扫描式电子显微镜照片。本发明还公开了一种用于半导体生产工艺的扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄系统。本发明能准确获得晶圆尺寸超出扫描式电子显微镜晶可拍摄最大范围的晶圆照片。
扫描电子显微镜照片拍摄方法系统