[发明专利]一种通用型扫描电子显微镜样品台座

摘要

本发明公开了一种通用型扫描电子显微镜样品台座，本发明公开的通用型扫描电子显微镜样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面，在所述顶面上设有至少一个样品台孔，所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台；和至少一个支柱，所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹。本发明的样品台座，能够匹配市场上大部分型号的扫描电子显微镜样品台，使用本发明的样品台座极大的提高了观察效率，显著地降低了扫描电子显微镜的观察成本。而且，本发明的通用型扫描电子显微镜样品台座布局紧凑，充分合理的利用了样品台座的有限的空间。

主权项

1.一种通用型扫描电子显微镜样品台座，其特征在于，所述样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面，在所述顶面上设有至少一个样品台孔，所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台；和，至少一个支柱，所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹；所述样品台座还包括至少一个和T型样品台上的杆部相配合的盲孔，并且所述支柱中空形成所述盲孔；所述样品台座还包括样品台夹持机构，所述夹持机构被设置用于夹持不同直径的圆柱型样品台，通过所述样品台夹持机构可调节所述样品台孔的孔径，进而实现对不同直径的圆柱型样品台的夹持固定；所述样品台夹持机构包括一夹持臂、一调节螺栓、和一弹性部件；所述样品台孔内壁的靠外一侧设有容纳所述夹持臂的凹槽，所述样品台座侧壁上设有与所述调节螺栓相配合的螺纹孔，所述弹性部件位于所述螺纹孔底部，所述夹持臂包括夹持部和调节部，所述夹持部位于所述样品台孔内壁的凹槽内，所述样品台孔和所述螺纹孔之间设有供所述调节部活动的窗口，所述夹持臂的调节部自所述窗口伸入所述螺纹孔，所述螺纹孔内从内向外依次为所述弹性部件、所述调节部、和所述调节螺栓。