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- [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN202310302787.6在审
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菅原由季;小野岛升
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佳能特机株式会社
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2023-03-27
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2023-10-17
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C23C14/54
- 本发明提供一种提高监视单元的监视精度的成膜装置及成膜方法。成膜装置具备：第一蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；第一监视部件，其监视来自第一蒸镀源的蒸镀物质的放出状态；第二蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；以及第二监视部件，其监视来自第二蒸镀源的蒸镀物质的放出状态，其中，具备防附着构件，所述防附着构件抑制蒸镀物质从第一蒸镀源向第二监视部件的飞散，且抑制蒸镀物质从第二蒸镀源向第一监视部件的飞散，所述防附着构件具备：第一壁部，其沿第一方向延伸设置；以及第二壁部，其从第一壁部沿与第一方向交叉的方向延伸设置
- 装置方法
- [发明专利]成膜方法-CN202080060096.4在审
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大内健次;东云秀司;河野有美子;池进一
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东京毅力科创株式会社
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2020-08-24
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2022-04-08
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H01L21/02
- 一种用于在基板上选择性地进行成膜的成膜方法，其包括：准备工序、第1成膜工序、第2成膜工序和第1去除工序。在准备工序中，准备在表面露出第1膜和第2膜的基板。在第1成膜工序中，通过向基板上供给具有包含氟和碳的官能团、且用于成膜为抑制形成第3膜的自组装化单分子膜的化合物，从而在第1膜上成膜为自组装化单分子膜。在第2成膜工序中，在第2膜上成膜为第3膜。在第1去除工序中，通过向基板的表面照射离子和活性物质中的至少任意一者，从而去除形成于自组装化单分子膜附近的第3膜。另外，第3膜是比第1膜更容易与自组装化单分子膜中所含的氟和碳结合而形成挥发性化合物的膜。
- 方法
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