专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN202310302787.6在审
  • 菅原由季;小野岛升 - 佳能特机株式会社
  • 2023-03-27 - 2023-10-17 - C23C14/54
  • 本发明提供一种提高监视单元的监视精度的成膜装置及成膜方法。成膜装置具备:第一蒸镀源,其向基板放出蒸镀物质;第一监视部件,其监视来自第一蒸镀源的蒸镀物质的放出状态;第二蒸镀源,其向基板放出蒸镀物质;以及第二监视部件,其监视来自第二蒸镀源的蒸镀物质的放出状态,其中,具备防附着构件,所述防附着构件抑制蒸镀物质从第一蒸镀源向第二监视部件的飞散,且抑制蒸镀物质从第二蒸镀源向第一监视部件的飞散,所述防附着构件具备:第一壁部,其沿第一方向延伸设置;以及第二壁部,其从第一壁部沿与第一方向交叉的方向延伸设置,第一壁部与第二壁部的连接部在第一方向上位于第一蒸镀源及第二蒸镀源与第一监视部件及第二监视部件之间。
  • 装置方法
  • [发明专利]移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法-CN201810657050.5有效
  • 渡边一弘;太田明;小野岛升 - 佳能特机株式会社
  • 2018-06-25 - 2021-01-01 - C23C14/24
  • 本发明提供一种真空蒸镀装置,包括:真空腔室;移动体,所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内;及旋转移动部,所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间,一端部连结于所述移动体,另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面,且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动,构成所述真空腔室的面具有开口,所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分,所述真空蒸镀装置包括力赋予机构,所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧,在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。
  • 移动支承装置包含真空方法
  • [发明专利]物镜驱动装置-CN200710102924.2无效
  • 饭岛明;小野岛升 - 三洋电机株式会社
  • 2007-05-11 - 2007-11-14 - G11B7/09
  • 本发明涉及一种物镜驱动装置,其包括:致动器可运动单元,该致动器可运动单元构造成使得驱动线圈安装在具有物镜的镜架上,并且该致动器可运动单元可移位且弹性地支承在致动器框架上;磁路,该磁路包括固定到所述致动器框架的磁体以形成用于所述驱动线圈的有效磁场;以及滚动消除线圈,该滚动消除线圈安装在所述镜架上以有效作用在由所述磁路形成的所述有效磁场上,使得在倾斜方向上产生驱动力,所述驱动力用于消除当对跟踪线圈提供驱动信号以在跟踪方向上驱动所述致动器可运动单元时所产生的滚动。
  • 物镜驱动装置

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