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[实用新型]一种光纤扫描器及投影显示系统-CN201920809934.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：成都理想境界科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤扫描器，包括致动器和光纤，致动器包括固定端和自由端，光纤固定在致动器上且一端超出致动器的自由端形成光纤悬臂；在致动器自由端末端，与光纤悬臂根部接触的部位，设置有应力缓冲部，应力缓冲部内填充有若干微珠，微珠之间采用聚合物互相粘结。相应的，本实用新型还公开了一种采用上述光纤扫描器的投影显示系统，由于在致动器自由端末端与光纤悬臂根部接触的部位设置的应力缓冲部能有效降低光纤悬臂的断裂风险，采用较低成本实现了光纤扫描器寿命的有效提高。
一种光纤扫描器投影显示系统

[发明专利]微滴沉积头部及其致动器部件-CN201680078050.9有效
发明人：安格斯·康蒂;尼古拉斯·马克·杰克逊;西蒙·詹姆斯·哈伯德 -专利权人：赛尔科技有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于微滴沉积头部的致动器部件，包括：以阵列并排布置的多个流体室，其中某些流体室是引发室，引发室中的每一个设置有至少一个压电致动元件，用于引起从用于该引发室的喷嘴的微滴喷射；和多个不可致动壁，不可致动壁中的每一个由压电材料形成并且限定引发室中的至少一个引发室压电致动元件中的每一个至少设置有第一致动电极和第二致动电极，用于每个压电致动元件的第一致动电极和第二致动电极被配置成向所述压电致动元件施加驱动波形，该压电致动元件由此变形，从而引起微滴喷射。不可致动壁中的每一个至少设置有第一隔离电极和第二隔离电极，用于每个不可致动壁的第一隔离电极和第二隔离电极是电隔离的。
沉积头部及其致动器部件

[发明专利]用于挠曲件集成的微致动器的系统、方法和装置-CN200910129887.3有效
发明人：迈克尔·R·哈奇 -专利权人：日立环球储存科技荷兰有限公司
申请日： 2009-03-30 - 公布日： 2009-09-30 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本发明提供一种用于挠曲件集成的微致动器的系统、方法和装置。压电体舌内微致动器包括带挠曲件舌的悬臂组件。所述舌具有收纳压电体致动器的两个狭缝。所述舌还具有多个铰链柔性元件，其将压电体致动器的扩展和/或收缩转变为记录头的旋转运动。该旋转运动又用于精确定位记录元件于硬盘驱动器上的期望道上方并且允许实现更高的道密度。
用于挠曲集成微致动器系统方法装置

[发明专利]用于进行测定的仪器-CN201880061295.X在审
发明人： K·J·王;D·H·威廉斯 -专利权人：马斯特集团有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于在包括磁珠的微流体系统中进行测定的仪器，所述仪器包括：平台，在所述平台上能够安装微流体系统；具有磁体的一个或多个致动器，所述致动器配置为当将微流体系统安装在所述平台上时，直接影响容纳在微流体系统内的磁珠的移动；以及控制装置，所述控制装置配置为控制一个或多个磁体与安装的微流体系统的相对移动，以使所述磁体能够横跨安装的微流体系统追踪期望的路径，所述磁体能够定位在安装的微流体系统的任何x坐标和y坐标处，其中所述仪器还包括：a)至少一个旋转致动器，所述至少一个旋转致动器配置为使磁体能够沿x轴移动，和/或b)一种用于以步进式方式移动安装的微流体系统的装置。
用于进行测定仪器

[发明专利]具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统-CN200910020976.4无效
发明人：黄玉美;刘定强;李虎;杨新刚;武宏璋;谢礼 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2009-01-20 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： B23Q5/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，包括由下而上依次设置的滑座、直线电机的初级、直线电机的次级、宏动滑台和中空的一边开口的致动器变形导轨支承件，滑座与宏动滑台之间还并行设置有宏动滑台运动导轨，致动器变形导轨支承件内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件和压电致动器，与致动器变形导轨微动块的一端固接，致动器变形导轨微动块的另一端自致动器变形导轨支承件的开口伸出，并与连接件固定连接，连接件与微动滑台固接本发明的宏微驱动精密进给系统具有进给精度高、导向精度高、承载能力强、致动器受力状态好的特点。可用于中大规格、多轴联动精密、超精密数控机床，也可用于其他精密数控机械。
具有导轨结合部驱动精密进给系统

[发明专利]微致动开关-CN200910074022.1无效
发明人：杨卫;张文栋;李艳;王聪;闫俊杰;郭涛;石云波;李杰;秦丽;马喜宏;鲍爱达 -专利权人：中北大学
申请日： 2009-03-24 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS器件，具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关，包括开关主体，开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁，悬臂梁下方底座上设有底电极，悬臂梁下表面设有顶电极，底座另一侧支撑体上支悬固定有凝胶纤维
微致动开关

[实用新型]微流体设备-CN201721282373.8有效
发明人： D·朱斯蒂;M·帕泽蒂 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： B05B9/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微流体设备。该微流体设备具有容纳多个彼此相邻布置的喷射元件的容器本体。每个喷射元件具有液体入口、容器室、压电致动器和喷射喷嘴。每个喷射元件的压电致动器连接至控制单元，该控制单元被配置成生成致动信号并且被集成在容器本体中。
微流体设备喷射元件压电致动器容器本体本实用新型喷射喷嘴相邻布置液体入口致动信号容器室容纳配置

[实用新型]微抓举式致动器结构-CN200720003051.5无效
发明人：洪银树;黄义佑;李彦其;林君颖 -专利权人：建凖电机工业股份有限公司
申请日： 2007-02-25 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，致动平板通过支承梁与主结构层连接，支承梁与主结构层的连接处具有导角，致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。本实用新型可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积的残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压。而且本实用新型在多晶硅支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造合格率，并减少其致动期间因结构断裂而发生故障的几率。
抓举式致动器结构

[发明专利]可控径向油膜轴承-CN200910050367.3无效
发明人：李宝福;王文;王晨;刘平芳 -专利权人：上海大学
申请日： 2009-04-30 - 公布日： 2009-09-30 - 主分类号： F16C35/02 文献下载
摘要：它包括轴承座和轴承，轴承座上安装三个或四个支撑轴承的装置，其中两个为微位移致动器，其余为弹性支撑；位于微位移致动器的对面安置两个位移传感器。根据位移传感器测量的转子轴心位置，通过微位移致动器调节轴承的轴心位置，实现普通油膜轴承不具备的三个功能：转子轴心精确定心、微量进给和主动振动控制。
可控径向油膜轴承

[发明专利]硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法-CN200410009092.6无效
发明人：荆阳;雒建斌;路新春 -专利权人：清华大学
申请日： 2004-05-14 - 公布日： 2005-01-26 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明涉及硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法，属于微机电技术领域。该致动器的多层膜压电元件由流延法或丝网印刷工艺等制作压电陶瓷膜，采用丝网印刷工艺等制作中间电极层。本发明将装有压电微致动器的磁头悬臂的自由端位移提高到≥0.80μm，谐振频率提高到＞15kHz(在外加电压≤40V的条件下)，使该微致动器具有优异的位移/电压灵敏度、谐振频率和驱动力等特点，以适应于计算机硬盘双级伺服系统次级精致动器的寻址和精确定轨之用本发明的多层膜压电元件可广泛用于计算机，同样可以用于其他微致动及位置控制技术领域。
硬盘用微致动器中的多层压电元件及其制备方法

[发明专利]低能量、长使用寿命微流喷射装置-CN200680048765.6有效
发明人： P·W·康奈尔;J·H·鲍尔;S·P·穆莱;R·L·康奈尔 -专利权人：莱克斯马克国际公司
申请日： 2006-12-21 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： B41J2/05 文献下载
摘要：微流喷头和延长微流喷头使用寿命的方法。一个这种的微流喷头包括具有多个热喷射致动器的基底。每个热喷射致动器具有电阻层和其上的保护层。流动特征元件邻近该基底并且限定流体流入通道、与该至少一个致动器结合并且与该流体流入通道流动连通的流体腔以及喷嘴。将该喷嘴偏置到该腔的与该流体通道相反的一侧。具有小于约400℃降解温度的聚合层与结合该流体腔的该至少一个致动器的一部分重叠，并且距离该至少一个致动器的与该流体流入通道相反的至少一边缘小于约5微米安置。
能量使用寿命喷射装置

[发明专利]基于致动器元件的微流体系统-CN200680005419.X有效
发明人： J·M·J·登东德;M·W·J·普林斯;H·R·施塔伯特;D·J·布勒尔 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2006-02-08 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： F04B19/00 文献下载
摘要：本发明提供了微流体系统、用于制造所述微流体系统的方法和用于控制或操纵流体在所述微流体系统的微通道中的流动的方法。因此，为微通道的壁的内侧提供致动器元件，所述致动器元件能够响应于外部激励改变形状和取向。通过这种形状和取向的变化可以控制和操纵流体通过微通道的流动。
基于致动器元件流体系统

[其他]能穿戴的空气微流体和小流体装置及服装-CN202090000718.X有效
发明人：卡罗琳·丽青·任;高润泽 -专利权人：卡罗琳·丽青·任;高润泽
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： A61F5/01 文献下载
摘要：本申请涉及能穿戴的空气微流体和小流体装置及服装。空气微流体和空气小流体启用的主动压缩服装能够通过最小化受伤的风险、加强康复、并最大化舒适度而提高了个人的活动能力和生活质量。与服装集成的球囊致动器为人体的解剖部位提供主动压缩和增强的力。球囊致动器由流体增压硬件致动。空气微流体和空气小流体系统使流体增压硬件小型化，并使其能穿戴、超轻、超合身。空气微流体和空气小流体系统包括各种长度、横截面积的微型和小型通道，并通过等效液压阻力原理发挥作用，允许流体运输、球囊致动器加压中的被动延迟和数字化软质流体致动，其中压缩力是基于充气的球囊数量而不是其压力
穿戴空气流体装置服装

[发明专利]平行微流体阵列的致动-CN200780019958.3无效
发明人： A·约翰逊;J·R·吉尔伯特;M·德施潘德;H·刘易斯;B·邦纳 -专利权人：赛托诺姆公司
申请日： 2007-05-04 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：一种用于在微流体粒子分选系统中使用的致动器，该致动器利用多个致动器堆叠排列的方案以选择地使相联的分选通道中的粒子从通道流偏转。致动器块用来容纳二维阵列的致动器，每个致动器被构造成与相联的包含多个分选通道的分选芯片中的致动端口对准。所述致动器块可以包括内置应力部件以为每个由所述块容纳的致动器预加应力。包括压电堆叠的致动器可以采用接触式电连接而不是焊接的电线以提高排列密度。所述致动器可以是外部致动器。即，该外部致动器是位于其内形成有所述分选通道的基片外部。
平行流体阵列

[发明专利]一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法-CN201910532487.0在审
发明人：唐毓;李世琴;梅永松;黄赛鹏;张飞;丁松年;冯华伟;戚星宇 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法。包含以下三个步骤：利用毛细管将光响应材料涂覆到微悬臂梁阵列上，其中第一根悬臂梁为对照组，第二根至第八根微悬臂梁修饰有不同浓度的光响应材料；通过紫外光和可见光光源对光响应材料的交替照射，使其发生光致异构化，导致微悬臂梁发生弯曲，实现光控致动器的制备；通过激光照射在微悬臂梁阵列自由端上，反射的光线在光电位置敏感探测器上形成光斑，微悬臂梁的弯曲会导致光斑发生位移，通过对光斑的位移检测实现对微梁表面应力的检测充分利用微悬臂梁的微米级尺寸、实时、可以痕量检测应力等优点，结合光响应材料光致异构特点，实现微纳光控致动器的制备及性能检测。
微悬臂梁致动器光控制备光响应材料光斑传感技术微悬臂检测光致异构化可见光光源敏感探测器表面应力光电位置光致异构痕量检测激光照射三个步骤位移检测响应材料性能检测紫外光毛细管微米级悬臂梁自由端涂覆微梁反射修饰照射