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[发明专利]一种激光雷达-CN202210611079.6在审
发明人：谢双伟;龚田;赵晨行 -专利权人：苏州睿新微系统技术有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01S7/483 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光雷达，第一微振镜将发射组件发出的光反射至第一反射元件，第一反射元件将光反射至第二微振镜，第二微振镜将光反射而使光向外界发射出，以及第二微振镜将由外界返回的光反射至第二反射元件，第二反射元件将返回光反射第一微振镜和第二微振镜的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现激光雷达发射出的光进行二维扫描。第二微振镜可以是一维振镜，通过设置具有较大发射面的第二微振镜，可以接收较多的由外界返回的光，从而可以提高本激光雷达接收的光能量。
一种激光雷达

[发明专利]一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺-CN202310949282.9在审
发明人：许煜;白民宇;孟庆阳;彭磊;马力;姜军委;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺，芯片包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，扭转微振镜镜面外周设有扭转微振镜镜面外框，镜面外框两侧分别与微振镜转轴的一端相连接，微振镜转轴的另一端与芯片外框相连接，微振镜转轴的两侧对称布置有扭转微振镜阵列梳齿，扭转微振镜阵列梳齿外侧分别设有梳齿驱动阵列，梳齿驱动阵列及芯片外框上分别布置有金属焊盘；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明通过在扭转微振镜镜面正面采用外框支撑，扭转微振镜镜面背面采用加强筋结构，从而减少镜面动态变形，具有高可靠性、高一致性、高重复性和低成本等优点。
一种防止动态变形扭转微振镜芯片及其制备工艺

[发明专利]一种微型化投影模组及其微振镜封装基座-CN201710411898.5有效
发明人：谢创;杜先鹏;郭俊兴;代启强;丁大海;金传广;秦玉兵;王卫卫 -专利权人：青岛小优智能科技有限公司
申请日： 2017-06-05 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型化投影模组及其微振镜封装基座，包括用于安装微振镜的安装平台，围绕安装平台设置有用于实现微振镜定位的多个定位基准结构，分别通过该多个定位基准结构抵持微振镜三维表面实现微振镜在安装平台的整体定位本发明提供一种微型化投影模组及其微振镜封装基座，采用特制的定位基准结构实现振镜镜面在整个结构中的准确定位，进而可以减小所需的振镜尺寸，大幅降低整个模组的封装体积，实现了微型化投影模组振镜的高精度封装。
一种微型投影模组及其微振镜封装基座

[发明专利]一种光学系统和近眼显示设备-CN202211633525.X在审
发明人：宋强;陈军;马国斌 -专利权人：深圳珑璟光电科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本发明提供一种光学系统和近眼显示设备，包括第一微振镜、第一反射镜组、第二微振镜和第二反射镜租，其中，第一微振镜用于绕第一摆动轴摆动以反射接收的光束；第一反射镜组用于反射经第一微振镜反射后的光束；第二微振镜用于绕第二摆动轴摆动以反射经第一反射镜组反射后的光束；第二反射镜组用于反射经第二微振镜反射后的光束至波导片；第一反射镜组还用于对经第一微振镜反射后的光束进行扩瞳，和/或，第二反射镜组还用于对经第二微振镜反射后的光束进行扩瞳。该光学系统中，通过将第二微振镜设于第一反射镜组和第二反射镜组之间，并利用第一反射镜组和/或第二反射镜组扩展光瞳，可降低第二微振镜的偏转角度，减小系统整体尺寸，且可扩展光瞳。
一种光学系统显示设备

[发明专利]振镜系统、微投影设备以及电子设备-CN201910864673.4有效
发明人：王亮舒;陈思颖;施铭镛;许志尤 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2019-09-09 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：公开了一种振镜系统、微投影设备以及电子设备。该振镜系统包括：MEMS微振镜；设置在MEMS微振镜的转轴末端处的惠斯通电桥，其中，该惠斯通电桥检测MEMS微振镜的转动位置；以及温度检测部件，用于检测该惠斯通电桥的温度相关的信息。
系统投影设备以及电子设备

[发明专利]微振镜控制方法、控制系统及电子设备-CN202211379231.9在审
发明人：付文波;冯洪亮 -专利权人：深圳市镭神智能系统有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开一种微振镜控制方法、控制系统及电子设备，该微振镜设有振镜本体、线圈和电机，该方法包括获取线圈的谐振频率和系统温度，谐振频率与系统温度一一对应；获取微振镜沿第一方向的第一反馈角度；在第一方向上，根据谐振频率和第一反馈角度对线圈进行闭环控制；获取微振镜的第一目标角度及微振镜或线圈沿第二方向的第二反馈角度；在第二方向上，根据第一目标角度和第二反馈角度调节电机的驱动信号。本发明通过设置两个方向的角度反馈，实现双轴微振镜偏转闭环控制，提高了微振镜偏转的稳定性，提高振镜控制精度和抗干扰能力。
微振镜控制方法控制系统电子设备

[发明专利]二维微振镜驱动频率调节系统及方法-CN201810205101.0在审
发明人：王旭;刘晗;孙佳娴;姜楠;宋家成 -专利权人：北方工业大学
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供一种二维微振镜驱动频率调节系统及方法，二维微振镜驱动频率调节系统包括：在二维微振镜所在空间布置匀强磁场，匀强磁场位于x‑y平面，且与x转轴和y转轴的夹角均为45度；在微振镜的表面固定线圈；微振镜采用导电材料制作在安培力的作用下，使微振镜振动。本发明提供的二维微振镜驱动频率调节系统及方法具有以下优点：(1)通过单片机控制调节二维微振镜的振动频率和振动幅度，具有二维微振镜的振动频率和振动幅度调节精度高的优点；(2)整体结构简单，成本低。
微振二维频率调节系统镜驱动匀强磁场振动频率安培力振动幅度调节单片机控制输出端接地数模转换器信号放大器表面固定导电材料方波输出交变电流空间布置振动幅度单片机输入端制作

[发明专利]微镜芯片封装结构、激光设备以及汽车-CN202111063339.2在审
发明人：吴佳豪;曾理;周吴 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种微镜芯片封装结构、激光设备和汽车。涉及微机电技术领域。主要用于提供一种能够抑制微镜芯片振动幅度的微镜芯片封装结构。该微镜芯片封装结构包括微镜芯片、堆叠的第一衬底和第二衬底；微镜芯片设置在第一衬底的背离第二衬底的一侧；微镜芯片包括框架、可动部件和第一扭转臂，可动部件通过第一扭转臂与框架连接；第一衬底包括隔振平台、弹性梁和支撑框，微镜芯片设置在隔振平台上，隔振平台通过弹性梁与支撑框连接；支撑框与第二衬底固定连接，隔振平台和第二衬底之间形成有间隙；隔振平台和第二衬底上均存在镂空区域，镂空区域与可动部件相对。该微镜芯片封装结构是一种二自由度系统，用于隔振，提升微镜芯片性能。
芯片封装结构激光设备以及汽车

[实用新型]一种光机引擎及投影设备-CN202022791371.X有效
发明人：黄永达;崔雷;李建军 -专利权人：青岛海信激光显示股份有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光机引擎及投影设备，涉及投影设备技术领域，能够降低挡片对振镜的热辐射，降低振镜工作时的温度，提升振镜的使用寿命。所述光机引擎包括数字微镜器件、振镜、挡片和隔热板；振镜与数字微镜器件相对设置，挡片设置于数字微镜器件与振镜之间，隔热板设置于挡片与振镜之间，隔热板用于阻隔挡片向振镜发出的热辐射。
一种引擎投影设备

[发明专利]基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法-CN201910085323.8有效
发明人：侯鹏程;柳邦;罗义鸣 -专利权人：湖北三江航天红峰控制有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS微振镜的固态激光雷达装调方法，包括：安装激光发射二极管和激光准直镜，将激光发射二极管和激光准直镜的光轴调整至与平行光管的光轴相平行；以平行光管的位置和光轴为基准，利用五棱镜将经安装的平面反射镜反射出的激光偏转至平行光管的十字分划板正中心；安装MEMS微振镜和相机，使得MEMS微振镜在相机中清晰成像；利用图像质心检测算法和相机检测并计算MEMS微振镜的镜面质心和镜面上光斑质心的坐标；微调MEMS微振镜直至两者的质心坐标重合。通过本发明的技术方案，有效提升了激光和微振镜的实时位置检测精度，大幅度提升了激光和MEMS微振镜的同轴度，同时提高了固态激光雷达装调效率。
基于 mems 微振镜固态激光雷达方法

[发明专利]一种工业设计用三维虚拟展示平台-CN201911012293.4在审
发明人：潘建;王斐波;童竹萱;李慧丽;顾斌斌 -专利权人：绍兴柯桥浙工大创新研究院发展有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G02B30/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种工业设计用三维虚拟展示平台，包括平台本体，所述平台本体上方设置有凹球面透光玻璃，所述凹球面透光玻璃上方为三维虚拟展示区域；所述凹球面透光玻璃下表面设有凸面反光镜，所述凹球面透光玻璃下方设置有微振镜，所述微振镜设置于凸面反光镜下方的空隙处并朝向三维虚拟展示区域，所述微振镜对应其振动方向的两个凸面反光镜，所述微振镜下方设置有微振光源，所述微振光源朝向凸面反光镜。
微振凸面反光镜透光玻璃凹球面工业设计三维虚拟平台本体展示区域光源三维空间方案效果虚拟成像展示平台展示效果振动方向镜设置空隙处下表面直观展示

[发明专利]一种提升微振镜扭转控制精度的控制系统及控制方法-CN202210733074.0在审
发明人：刘俊池;周奂斌;李宁;王超;李爽;郭梦凡;雷雯雯;陈炳坤 -专利权人：湖北三江航天万峰科技发展有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种提升微振镜扭转控制精度的控制系统，包括FPGA控制器、数模转换器、驱动电流放大器和角度位置传感器。该控制系统由FPGA控制器实现对扭转角度指令的解码，得到微振镜驱动数字波形，然后基于数模转换器和驱动电流放大器的处理，得到放大的微振镜驱动电流，然后，微振镜在微振镜驱动电流的作用下实现扭转，并由角度位置传感器测量并向FPGA控制器反馈实际扭转角度，FPGA控制器基于实际扭转角度更新扭转角度指令，输出更准确的微振镜扭转控制信号。如此反馈闭环式的控制可大幅度提升微振镜扭转的控制精度和响应速度。
一种提升微振镜扭转控制精度控制系统方法

[发明专利]基于交错垂直梳齿驱动阵列的微振镜结构及其制备工艺-CN202310948051.6在审
发明人：许煜;白民宇;孟庆阳;胡泽喜;马力;吴建凰;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：基于交错垂直梳齿驱动阵列的微振镜结构及其制备工艺，结构包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，镜面两侧分别与扭转微振镜转轴的一端连接；转轴另一端与芯片外框连接，转轴两侧对称布置扭转微振镜梳齿阵列，扭转微振镜梳齿阵列外侧设有交错垂直梳齿驱动阵列，交错垂直梳齿驱动阵列与键合玻璃静电键合；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明能够准确控制扭转微振镜梳齿阵列与交错垂直梳齿驱动阵列之间的高度差，以便于为扭转微振镜提供可靠稳定的扭矩，具有高可靠性、高一致性、高重复性和低成本的优点。
基于交错垂直梳齿驱动阵列微振镜结构及其制备工艺

[发明专利]一种多光束准同步激光封装装置及方法-CN201410603985.7有效
发明人：朱树存 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明公开一种多光束准同步激光封装装置，其特征在于，包括：一激光光源，用于提供一激光光束；一双轴偏转微镜阵列，该双轴偏转微镜阵列包括若干绕X轴或Y轴转动的微反射镜面，该双轴偏转微镜阵列用于将该激光光束分为预设形状的多光束；一振镜，该多光束进入该振镜后形成多个封装光束至一工件表面；一控制单元，该控制单元与该双轴偏转微镜阵列和振镜连接，用于控制所述双轴偏转微镜阵列和振镜输出。
一种光束同步激光封装装置方法

[发明专利]一种微振镜的反馈系统及方法-CN201611153921.7有效
发明人：乔大勇;夏长锋 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微振镜的反馈系统及方法，通过采集麦克风的声音信号，得到微振镜运动的幅值和相位；具体方法如下：(1)根据微振镜的幅值θ
微振振镜运动相位麦克风测量采集标定系数反馈系统公式计算关系计算声音信息线性关系运动信息振动频率准确度标定检测

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