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- [发明专利]一种减少自掺杂的底座及外延设备-CN201610664993.1有效
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刘源;保罗·邦凡蒂
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上海新昇半导体科技有限公司
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2016-08-12
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2020-04-28
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H01L23/13
- 本发明提供一种减少自掺杂的底座及外延设备,所述底座包括底座主体及连接于所述底座主体背面的支撑杆,其中:所述底座主体内部设有空腔;所述底座主体正面设有若干与所述空腔连通的通孔;所述支撑杆中设有上下贯穿所述支撑杆并与所述空腔连通的用于排出晶圆背面释放的掺杂原子的排气孔本发明的底座正面设有通孔、内部设有空腔、背面设有排气孔,可以使得晶圆背面释放的掺杂原子通过所述排气孔排出,防止掺杂原子被外延层吸收。采用该底座的外延设备中,所述排气孔排出的掺杂原子可以集中被固定尾气管收集,并通过尾气处理器处理。所述固定尾气管与真空管连接,抽力可控,可以减少反应气体进入晶圆与底座之间的间隙,避免晶圆背面的外延层沉积。
- 一种减少掺杂底座外延设备
- [实用新型]一种新型摇臂钻床底座-CN202023029317.8有效
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赵永军
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重庆靖玮机械制造有限公司
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2020-12-16
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2021-12-10
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B23B39/12
- 本实用新型公开了一种新型摇臂钻床底座,从上方俯视底座为底座正面,底座为长方体,俯视时,上端的基座正面与基座背面之间的侧面板为第一侧面板,右端的基座正面与基座背面之间的侧面板为第二侧面板,下端的基座正面与基座背面之间的侧面板为第三侧面板,左端的基座正面与基座背面之间的侧面板为第四侧面板,侧面板相接的位置有四个凹槽,第一凹槽中有第一支撑柱穿过底座与地面接触,第二凹槽中有第二支撑柱穿过底座与地面接触,第三凹槽中有第三支撑柱穿过底座与地面接触,第四凹槽中有中有第四支撑柱穿过底座与地面接触,底座背面有四个移动轮。
- 一种新型摇臂钻床底座
- [实用新型]新型土壤重金属分析仪固定装置-CN201720322334.X有效
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顾成林;余立荣;周健
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佳木斯大学
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2017-03-30
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2017-10-20
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G01N33/20
- 新型土壤重金属分析仪固定装置,包括固定底座、土壤重金属分析仪、支撑底座、桌面、圆柱头螺钉,所述固定底座中部具有圆柱凸台,所述土壤重金属分析仪下部具有支撑底座,所述支撑底座中部具有配合圆孔,所述圆柱凸台插入配合圆孔,所述固定底座两侧对称分布支脚插槽,所述支撑底座两侧对称分布分析仪支脚,所述分析仪支脚插入支脚插槽,所述支撑底座与固定底座连接,所述土壤重金属分析仪外侧对称分布分析仪外侧面,所述固定底座内部对称分布固定座内侧面,固定座内侧面与分析仪外侧面配合,所述固定底座后部具有底座内背面,所述土壤重金属分析仪后部具有分析仪背面,底座内背面与分析仪背面配合。
- 新型土壤重金属分析固定装置
- [实用新型]一种折叠式示教板-CN201120213345.7无效
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高尔军
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高尔军
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2011-06-22
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2011-12-28
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B43L1/00
- 一种折叠式示教板,属于教学仪器技术领域,包括底座、主面板和背面板,主面板固定在底座上,背面板位于主面板背面,且背面板底部与主面板顶部铰接,主面板与背面板之间还连接有气撑杆,所述气撑杆两端与主面板、背面板分别铰接使用时,向上翻起主面板时,气撑杆延伸并推动背面板向上翻起,翻起到位后由气撑杆保持背面板的垂直位置。当向下按下背面板后,气撑杆收缩,背面板完全折叠在主面板后,并由气撑杆支撑背面板,使其处于靠向主面板的位置,便于携带。
- 一种折叠式示教板
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