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[实用新型]平行度检测工具-CN201920402227.7有效
发明人：马国秦;出腾龙;周童;徐国军;丁家彬 -专利权人：米亚索乐装备集成(福建)有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平行度检测工具，涉及靶材背衬管检测技术领域。该平行度检测工具包括：刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。本实用新型实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。
背衬管靶材平行度检测平行度误差检测组件测量尺检测本实用新型刀口测量检测技术领域工具包括测量靶移动紧靠平行垂直

[发明专利]一种平显座舱摄像机校靶的装置及方法-CN201910997159.8有效
发明人：李泽;张华锋;焦健 -专利权人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
申请日： 2019-10-20 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本发明提出一种平显座舱摄像机校靶的装置及方法，装置包括校靶工装和校靶基准工装；校靶工装上安装有销钉，校靶基准工装和座舱摄像机上有销孔，各自销孔轴线所形成的平面对应与反射镜轴线以及光学系统轴线平行；校靶基准工装上的基准面与反射镜光轴的角度等于座舱摄像机光学系统轴线与自身基准面的角度将校靶基准工装安装到校靶工装上，借助经纬仪和大视场平行光管，将大视场平行光管光轴与反射镜轴线调试平行，将校靶基准工装拆下，将座舱摄像机安装到校靶工装上，以大视场平行光管光轴为基准，将CCD中心与光学系统中心调试重合由于不同座舱摄像机都相对同一校靶基准工装进行调试，不同的座舱摄像机的调试基准相同，可以保证座舱摄像机的互换性。
一种座舱摄像机装置方法

[发明专利]多光轴平行度测量系统及方法-CN201711200873.7有效
发明人：张振宇;王皓;熊海林 -专利权人：北京国泰蓝盾科技有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种多光轴平行度测量系统及方法，涉及组合光学侦测系统领域。所述多光轴平行度测量系统包括基准调整设备、靶板调整装置和靶板，靶板设置于靶板调整装置上，基准调整设备上设置有组合光学侦测装置，基准调整设备和靶板调整装置间隔相对设置，基准调整设备上设置有俯仰校准装置，基准调整设备上还设置有方位校准装置，靶板上设置有靶纸，靶纸用于获取被测成像系统光轴距离基准系统光轴的位置偏差，以基于该位置偏差获取被测成像系统光轴的平行度。本发明提出了一种多光轴平行度测量系统来模拟大口径平行光管，降低了测量校准设备设计制作和调校的难度，且降低了对测量场地的要求，操作方便，具有较高的实用性。
光轴平行测量系统方法

[实用新型]多光轴平行度测量系统-CN201721599805.8有效
发明人：张振宇;王皓;熊海林 -专利权人：北京国泰蓝盾科技有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多光轴平行度测量系统，涉及组合光学侦测系统领域。所述多光轴平行度测量系统包括基准调整设备、靶板调整装置和靶板，靶板设置于靶板调整装置上，基准调整设备上设置有组合光学侦测装置，基准调整设备和靶板调整装置间隔相对设置，基准调整设备上设置有俯仰校准装置，基准调整设备上还设置有方位校准装置，靶板上设置有靶纸，靶纸用于获取被测成像系统光轴距离基准系统光轴的位置偏差，以基于该位置偏差获取被测成像系统光轴的平行度。本实用新型提出了一种多光轴平行度测量系统来模拟大口径平行光管，降低了测量校准设备设计制作和调校的难度，且降低了对测量场地的要求，操作方便，具有较高的实用性。
靶板基准调整测量系统光轴平行调整装置本实用新型成像系统位置偏差校准装置组合光学靶纸光轴俯仰测量场地光轴距离基准系统间隔相对平行光管校准设备侦测系统侦测装置大口径平行度调校测量制作

[实用新型]一种平行溅射方式孪生靶布置的单体镀膜设备-CN201721242093.4有效
发明人：宋光耀;叶平 -专利权人：深圳市鼎力真空科技有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平行溅射方式孪生靶布置的单体镀膜装置，所述两个旋转靶(40)组成旋转靶组(4)，在旋转靶组(4)的剖面图中，两个旋转靶(40)的第二磁铁条(42)的中线(421)成平行，且两旋转靶(40)分别到基片架(3)距离相等，所述炉体(1)设有多组旋转靶组(4)。本实用新型的有益效果在于：通过旋转靶组的两个旋转靶的第二磁铁条的中线成平行，且两旋转靶分别到基片架距离相等，让磁场位置一致，保障磁控溅射真空镀膜所产的膜层均匀。
旋转靶本实用新型平行磁控溅射距离相等磁铁条基片架孪生靶溅射真空镀膜技术磁场位置镀膜设备镀膜装置真空镀膜炉体膜层

[实用新型]对称机轮的平行度检验装置-CN202222757170.7有效
发明人：甘艳兰;涂建平;张进 -专利权人：昌河飞机工业（集团）有限责任公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及对称机轮的平行度检验装置，所述平行度检验装置包括观察组件和靶组件；观察组件包括横向观察筒、第一支架、第一同轴转接头、目筒和物筒；靶组件包括第二支架、第二同轴转接头、平面镜和观测靶；观测靶具有观测平面，且观测平面具有定位靶圈；本技术方案结构简单，操作方便，适用于起落架的对称机轮的平行度检验，较好的满足了对称机轮是否平行合格检测要求，使用效果十分显著。
对称机轮平行检验装置

[发明专利]光电系统校轴用便携式试验靶-CN201210236124.0无效
发明人：赵建钊;段红建;胡博;王健军;程刚;杨晓强 -专利权人：中国兵器工业第二0五研究所
申请日： 2012-07-09 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： F41J1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电系统校轴用便携式试验靶，属于光电系统校准技术领域。该试验靶包括靶面、便携式靶架、纤绳和地脚。便携式靶架由动支撑杆、上横梁杆组、中横梁、下横梁杆组构成月形平行框架，靶面通过绑绳绑定在月形平行框架的上部，月形平行框架与接地杆组连接且连接位置可调，接地杆组和接地加长杆组连接而使试验靶直立在地面上，纤绳一端绑在动支撑杆上本发明不仅解决了一靶多用的问题，而且也增强了的靶牢靠性和抗风能力。
光电系统校轴用便携式试验

[发明专利]基于光纤接收的激光阵列式靶面坐标测量系统及方法-CN201910813312.7在审
发明人：张森;周峰;张燕舞;张孟炎;冯振宗 -专利权人：河南科技大学
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： F41J5/00 文献下载
摘要：本发明的基于光纤接收的激光阵列式靶面坐标测量系统及方法，该测量系统包括光幕靶靶架、线状半导体激光发生器、光学透镜、高速相机和控制系统，光幕靶靶架呈矩形框状结构，该矩形框状结构的四个内侧面上依次设置有X向平行光源阵列、Y向平行光源阵列、X向光纤接收阵列以及Y向光纤接收阵列，X向平行光源阵列、Y向平行光源阵列、X向光纤接收阵列以及Y向光纤接收阵列形成该光幕靶的有效面为Zm×Zm；本发明由光纤接收光信号、高速相机拍摄光纤拍摄端端面，经图像处理得到弹丸坐标，以克服现有光幕靶有效面小、接收元件尺寸较大、接收元件间距较大，测量精度低的问题，实现了小口径弹丸高精度无接触测量弹丸着靶点坐标的目的。
光纤接收阵列平行光源光幕靶矩形框状结构测量系统高速相机接收元件弹丸有效面靶架半导体激光无接触测量小口径弹丸靶点坐标靶面坐标光学透镜激光阵列控制系统图像处理依次设置发生器拍摄接收光线状测量

[实用新型]组合平行激光光幕靶-CN200420007418.7无效
发明人：王连海;杨慧武 -专利权人：中国人民解放军63856部队
申请日： 2004-03-17 - 公布日： 2005-03-02 - 主分类号： F41J5/00 文献下载
摘要：一种组合平行激光光幕靶，包括一个靶框，在靶框的纵向侧的一边设有第一激光光幕发生器，在纵向侧的一边，对应所述激光光幕发生器设有第一光敏接收器件组，在靶框的横向侧的一边设有第二激光光幕发生器，在横向侧的一边，对应所述激光光幕发生器设有第二光敏接收器件组，上述第一、二激光光幕发生器及第一、二光敏接收器件组框设构成有效靶面。本实用新型克服了公知技术存在的缺陷，具有较高的测量精度，且靶面上各个位置具有相同的测量精度，克服了声靶、CCD靶等存在的测量精度不均匀的问题，能可靠判断和捕捉各种类型弹丸目标，可实现对连发(点射)射击的弹丸坐标测量，并能准确区分弹序，靶面规格可满足各个不同距离上的精度试验需要，并能够实现对弹丸飞行速度的测量。
组合平行激光光幕靶

[实用新型]大回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶-CN95219498.8无效
发明人：郑世民;范毓殿;李云松 -专利权人：郑世民
申请日： 1995-01-24 - 公布日： 1996-11-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜机所用的大回路闭合溅射轨迹的柱状磁控靶。该柱状靶的靶材为圆管，靶材两端置有N极板和S极板，靶管内部的空腔为水冷通道，中间置有N极靴、N极片、S极靴、S极片和永磁体。本实用新型设计的柱状磁控靶采用平行靶材的轴向的磁路系统，使溅射区与靶管轴向平行且形成大回路闭合溅射轨道，使溅射区沿靶管轴向均匀刻蚀，提高靶材利用率和镀膜均匀性。
回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶

[实用新型]大回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶-CN95200005.9无效
发明人：郑世民;范毓殿;李云松 -专利权人：郑世民
申请日： 1995-01-24 - 公布日： 1996-07-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜机所用的大回路闭合溅射轨迹的柱状磁控靶。该柱状靶的靶材为圆管，靶材两端置有N极板和S极板，靶管内部的空腔为水冷通道，中间置有N极靴、N极片、S极靴、S极片和永磁体。本实用新型设计的柱状磁控靶采用平行靶材的轴向的磁路系统，使溅射区与靶管轴向平行且形成大回路闭合溅射轨道。使溅射区沿靶管轴向均匀刻蚀，提高靶材利用率和镀膜均匀性。
回路闭合溅射轨迹柱状磁控靶

[发明专利]反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置及调节方法-CN201110434045.6有效
发明人：安红海;王琛;方智恒;熊俊;孙今人;王世绩 -专利权人：上海激光等离子体研究所
申请日： 2011-12-21 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： H01S4/00 文献下载
摘要：一种反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置及调节方法，特点是在第四出光靶与多层膜反射镜之间增加一个辅助靶，辅助靶倾斜粘接在相应的辅助靶托上，使所述辅助靶的上端高过多层膜反射镜支架上边缘所在的平面。靶室在线调节过程中，通过平行光管观察辅助靶位置可以间接知道各出光靶之间的排布情况，通过对辅助靶的操作来达到可以调节出光靶的目的。本发明有效地解决了靶场在线调节过程中多层膜反射镜遮挡其后面第六平行光管的视线问题，并且可以通过第六平行光管对出光靶装置的姿态进行有效地实时监测。实验表明，本发明出光靶装置还具有调节方便、稳定性好、调节精度高的特点。
反射双程放大射线激光出光靶装置调节方法

[发明专利]靶面焦斑监测装置-CN200710047630.4无效
发明人：任冰强;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-10-31 - 公布日： 2008-03-19 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现本发明靶面焦斑监测装置的光轴和打靶光束的光轴的对接，图像接收系统用来接收靶面成像光路所成的靶面像并在监视器上显示出来，通过计算CCD摄像机接收到的靶面焦斑图像尺寸，可以精确测定靶面焦斑的实际尺寸。本发明装置既能够提供与实际打靶激光束口径相同的平行激光束，同时又可以以较高的放大倍率对靶点进行监测，以提高靶镜的调整精度，从而提高激光打靶的效率。
靶面焦斑监测装置

[实用新型]靶面焦斑监测装置-CN200720076826.1无效
发明人：任冰强;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-10-31 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现本实用新型靶面焦斑监测装置的光轴和打靶光束的光轴的对接，图像接收系统用来接收靶面成像光路所成的靶面像并在监视器上显示出来，通过计算CCD摄像机接收到的靶面焦斑图像尺寸，可以精确测定靶面焦斑的实际尺寸。本实用新型装置既能够提供与实际打靶激光束口径相同的平行激光束，同时又可以以较高的放大倍率对靶点进行监测，以提高靶镜的调整精度，从而提高激光打靶的效率。
靶面焦斑监测装置

[发明专利]一种提高利用率的平面磁控溅射靶-CN200910154939.2有效
发明人：范家秋 -专利权人：范家秋
申请日： 2009-11-25 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种提高利用率的平面磁控溅射靶，其特征在于包括靶材磁控管外套，靶材磁控管外套的底面连接盖板，盖板与靶材磁控管外套之间有冷却水，靶材磁控管外套内部放置磁额，磁额中制有通水孔，磁额上安装永久磁铁，靶材磁控管外套上安装靶材条和靶材条外侧有靶材条固定块，靶材条成平行相间排列，靶材条之间互相交叠，靶材条的表面为平整面，在靶材磁控管外套和靶材条固定块外有靶材屏蔽罩，靶材磁控管外套内与磁额相连的永久磁铁的磁极为NSN或者SNS平行排列，并垂直于靶材条的表面
一种提高利用率平面磁控溅射

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