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[发明专利]多线切割机的硅棒工件-CN201110192537.9无效
发明人：陈春晖 -专利权人：扬州善鸿新能源发展有限公司
申请日： 2011-07-11 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：多线切割机的硅棒工件，涉及多线切割单晶、多晶硅棒的切割机的领域，包括硅棒，所述硅棒的底部粘贴两根树脂条，两根树脂条分别设置在硅棒宽度的两侧，每根树脂条的长度分别与硅棒底部的长度相等。本发明通过以上设计，利用与硅棒齐长，宽15mm，厚2mm硬性树脂条，贴与硅棒进刀处的左右角上，让线网先切入质地相对较软的树脂条，降低钢线抖动，减少硅片片厚不均匀，增加硅片成品率。
切割机工件

[实用新型]多线切割机的硅棒工件-CN201120242016.5有效
发明人：陈春晖 -专利权人：扬州善鸿新能源发展有限公司
申请日： 2011-07-11 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：多线切割机的硅棒工件，涉及多线切割单晶、多晶硅棒的切割机的领域，包括硅棒，所述硅棒的底部粘贴两根树脂条，两根树脂条分别设置在硅棒宽度的两侧，每根树脂条的长度分别与硅棒底部的长度相等。本实用新型通过以上设计，利用与硅棒齐长，宽15MM，厚2MM硬性树脂条，贴与硅棒进刀处的左右角上，让线网先切入质地相对较软的树脂条，降低钢线抖动，减少硅片片厚不均匀，增加硅片成品率。
切割机工件

[发明专利]一种适用于半导体单晶硅片多线切割的工艺-CN202010929485.8在审
发明人：代刚;赵富军;张超 -专利权人：成都青洋电子材料有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种适用于半导体单晶硅片多线切割的工艺，使用多根52线对单晶硅棒进行切片，所述多根52线的进给速度V1为0.35~1.00mm/min，所述多根52线的切割速度V2为1300~1400m/min，所述单晶硅棒的直径为3~5寸，所述多根52线出线端拉力N1为8牛，所述多根52线的收线端拉力N2为8~8.5牛，所述多根52线的切割温度为19~21℃，通过使用52线进行切割，从而减少对单晶硅棒原材料的浪费
一种适用于半导体单晶硅片多线切割工艺

[发明专利]多次加料直拉单晶生产方法、取料装置-CN202111594709.5在审
发明人：陈红荣;张华利;赵玉兵;汪晨 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：所述多次加料直拉单晶生产方法包括步骤：在连续进行多根单晶棒的拉制之后，将坩埚中的剩余埚底料部分或者全部取出；向所述坩埚中重新加入多晶硅料；所述多晶硅料熔化后，进行下一根单晶棒的拉制。上述多次加料直拉单晶生产方法在连续进行多根单晶棒的拉制之后，将坩埚中的剩余埚底料部分或者全部取出，如此，将金属杂质和碳杂质含量高的多晶硅料取出，更换新的多晶硅料，再进行下一根单晶棒的拉制，能够避免由于连续多次拉制后多晶硅料中杂质富集而导致少子寿命逐根下降
多次加料直拉单晶生产方法装置

[实用新型]一种用于多根硅棒加工的固定装置-CN202321228210.7有效
发明人：周荣华;冯金 -专利权人：上海圣永丞半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-21 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅棒加工夹具技术领域，且公开了一种用于多根硅棒加工的固定装置，包括底座组件，所述底座组件的上端设置有左夹具组件，所述底座组件的上端固定连接有右夹具组件，所述底座组件包括有底座本体、固定孔和导轨该固定装置，通过左夹具组件的多个固定槽一以及右夹具组件的多个固定槽二能够同时加工多根硅棒，减少多根加工存在的误差现象，保障了加工精度还提高了加工效率，通过底座组件的导轨和左夹具组件的导槽能够便于定位对齐夹具且适应不同长度的硅棒，操作方便，通过左夹具组件的通孔和底座组件的固定孔能够便于使用螺栓固定左夹具组件在底座组件上的多个不同间距的固定孔上，进行锁定并据硅棒长度规格调节。
一种用于多根硅棒加工固定装置

[发明专利]多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件-CN200810107025.6有效
发明人：卡罗·保迪;玛太罗·玛塞里;皮艾罗·斯凯德拉 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2008-08-22 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种光伏和半导体技术领域的多晶硅棒生产结束后的转移取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件，特别是涉及一种一次能取出多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件，面对分布在同轴的多个圆环上的多根多晶硅棒，先一次性取分布在最外圈圆环上的多晶硅棒，再一次性取次外圈圆环上的多晶硅棒，依次从外到里，一圈圈地取出所有多晶硅棒。取棒装置是由壁、空腔组成；取棒装置下部还设置有可以支撑断裂后的多晶硅棒的接触件。降低了在转移过程中多晶硅棒被污染的风险；使用本发明，大大简化了生产工艺，减少了转移多晶硅棒所需时间，降低了多晶硅生产周期；同时解决了操作工容易被多晶硅棒刮伤的危险。
多晶方法及其装置组合

[实用新型]一次能取出多根多晶硅棒的取棒装置和取棒装置组合件-CN200820137429.5有效
发明人：卡罗.保迪;玛太罗.玛塞里;皮艾罗.斯凯德拉 -专利权人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请日： 2008-08-22 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光伏和半导体技术领域的多晶硅棒生产结束后的转移取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件，特别是涉及一种一次能取出多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件，面对分布在同轴的多个圆环上的多根多晶硅棒，先一次性取分布在最外圈圆环上的多晶硅棒，再一次性取次外圈圆环上的多晶硅棒，依次从外到里，一圈圈地取出所有多晶硅棒。取棒装置是由壁、空腔组成；取棒装置下部还设置有可以支撑断裂后的多晶硅棒的接触件。降低了在转移过程中多晶硅棒被污染的风险；使用本实用新型，大大简化了生产工艺，减少了转移多晶硅棒所需时间，降低了多晶硅生产周期；同时解决了操作工容易被多晶硅棒刮伤的危险。
一次取出多晶装置组合

[实用新型]一种硅棒拼接夹紧装置-CN201120511455.1有效
发明人：刘彬国;何京辉;崔胜峰;李立伟;杨晓亮 -专利权人：邢台晶龙电子材料有限公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅棒拼接夹紧装置，属于夹具技术领域。其特征在于底板上固定连接有至少3根夹紧柱，所述夹紧柱沿轴线方向设有至少两根调节螺栓，所述调节螺栓穿过所述夹紧柱并通过螺接的方式与所述夹紧柱固定连接。所述装置在夹紧柱上设有可以调整圆硅棒位置及垂直角度的调节螺栓，在圆硅棒拼接时通过测量调节螺栓到夹紧柱的距离来对圆硅棒进行准确定位，保证两根或多跟圆硅棒的轴线在同一条直线上，从而保证了拼接后的圆硅棒在开方时不会出现边长差异，避免了在方硅棒切片的过程中出现因断线而引发的生产事故。
一种拼接夹紧装置

[实用新型]一种晶棒硅中转存储车-CN201320338693.6有效
发明人：胡仁芝 -专利权人：宇骏（潍坊）新能源科技有限公司
申请日： 2013-06-13 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒硅中转存储车，包括车体，所述车体为底部连接车轮的箱体，在所述车体内设有清洗槽，在所述清洗槽内放置有清洗架，所述清洗架包括相互固定连接的四个边框，相对的所述边框上分别设有放置杆，且相对的所述边框上设置的所述放置杆处在同一水平面内，所述放置杆上设有若干用于放置晶棒硅的凹槽。本实用新型设有的清洗架上设有若干放置杆，可将多根晶棒硅放置在清洗架上，同时运送多根晶棒硅，提高工作效率。而且在放置杆上设有若干凹槽，在放置晶棒硅时将其置入凹槽内，存储车移动时凹槽可避免晶棒硅滚动，同时解决了晶棒硅相互之间碰撞的问题。使晶棒硅的破损率减少，节约成本。
一种晶棒硅中转存储

[实用新型]一种用于使用晶体碎料同时拉制多根晶棒的拉制筒-CN202222896946.3有效
发明人：郭李梁;朱振业 -专利权人：洛阳长缨新能源科技有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：一种用于使用晶体碎料同时拉制多根晶棒的拉制筒，涉及人工晶体制备领域，本实用新型通过在底板上设置多圈晶体拉制孔，底板将温度场内的温度隔离进而形成下高上低的温度梯度，当籽晶带动熔液上升至晶体拉制孔内时，随着温度的降低，熔液跟随籽晶开始结晶，当熔液结晶后便形成所需的晶棒，通过多圈晶体拉制孔的设置，进而实现多根晶棒的同时拉制等，本实用新型用于碎硅料同时拉制多根硅芯的装置时，有效的避免了碎硅料的资源浪费等，适合大范围的推广和应用
一种用于使用晶体同时拉制多根晶棒

[实用新型]一种硅棒提升夹具-CN201320269593.2有效
发明人：刘英江;李广哲;范全龙 -专利权人：宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2013-05-16 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅棒提升夹具，包括上夹持件、下夹持件和联接上夹持件与下夹持件的多根立柱；所述上夹持件和下夹持件均由两个半圆形夹板扣合而成，上夹持件的两个半圆形夹板的顶部各设有一个吊环；所述多根立柱与两个半圆形夹板扣合形成的圆环垂直且在圆环上均布本实用新型利用上下两对半圆形夹板组成圆柱形夹具，能够快速、安全的取出意外坠落于单晶炉内的单晶硅棒，立柱保证提升过程中硅棒重心垂直向下，使得硅棒垂直提升，避免发生危险；硅棒提升时不需要人力托扶，避免了人员因硅棒高温意外烫伤而发生事故
一种提升夹具

[发明专利]一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其制备方法-CN200910114990.0有效
发明人：林青云;玛太罗.玛塞里;邱学彦;聂思武;曾雨竹;付家云;廖鸿 -专利权人：江西赛维LDK光伏硅科技有限公司
申请日： 2009-03-04 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体及太阳能领域的一种硅芯及其制备方法，特别是一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其制备方法，本发明将多晶硅原料棒安装固定在多线切割机中；多线切割机中的一组横向切割线和一组纵向切割线在多晶硅原料棒轴线方向上相差3-20厘米，同时进行线切割；线切割完毕后，将硅芯从多线切割机中取出，同时得到多根硅芯。相对于转统的硅芯制备方法，本发明提供的硅芯制备方法的生产效率有了很大程度的提高。
一种用于生长多晶及其制备方法

[发明专利]用于轻掺磷多根拉制单晶硅棒掺杂量的计算方法-CN202310590748.0在审
发明人：魏兴彤;芮阳;杨少林;徐慶晧;曹启刚;王黎光;张昆;王忠保;陈亚;赵泽慧 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司;北方民族大学
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于轻掺磷多根拉制单晶硅棒掺杂量的计算方法，属于直拉单晶硅生产技术领域，该方法考虑到多根拉制时磷母合金与需求阻值的硅熔体中的杂质含量并不对等，需求阻值的硅熔体中的杂质含量偏大的实际情况，提出了新的计算公式，在计算单根之后拉制的硅棒的掺杂量时，以向坩埚内补加的硅料量及补加后的硅熔体中杂质浓度为主进行掺杂量的计算，得到的掺杂量准确性较高，提高了的掺杂量的计算准确性，进而提高了硅棒头部电阻率的打靶准确性
用于轻掺磷多根拉制单晶硅掺杂计算方法

[发明专利]一种浇铸生产硅芯棒的方法-CN202110901326.1在审
发明人：李帅;吴海啸;刘小明;武建华;邢瑞栋;王永强 -专利权人：内蒙古和光新能源有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及硅芯生产领域，具体涉及一种浇铸生产硅芯棒的方法，包括以下步骤：S1：将石英管状容器进行预热；S2：将熔融硅液加入到石英管状容器中；S3：将盛有熔融硅液的石英管状容器降温冷却，形成硅芯棒粗品；S4：将硅芯棒外围的石英去除，清洗即得所述硅芯棒。本发明生产硅芯棒的方法，工艺简单，易操作。只需在生产设备中设置多个石英管状容器即可实现多根硅芯棒的同时制备。
一种浇铸生产硅芯棒方法

[发明专利]一种对晶体硅棒进行切割的方法及其切割装置-CN201610315596.3有效
发明人：刘朝轩;王晨光;邵玮 -专利权人：洛阳金诺机械工程有限公司
申请日： 2016-05-14 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：一种晶体硅棒的切割装置及其切割方法，涉及人工晶体加工领域，本发明所述的晶体硅棒的切割装置包括机架、床身、硅棒传送机构和硅棒切割机构，其特征在于还包括机械手自动上、下料系统、自动探测定位系统以及数控操作系统本发明可同时完成多根开方后多晶硅铸锭原料头、尾部分的切割加工，实现整个过程的多工位自动上下料、自动定位、自动切割，明显提高了生产效率、降低了劳动强度。
一种晶体切割装置及其方法

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