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[发明专利]图案形成装置-CN202080032591.4在审
发明人：玛丽亚-克莱尔·范拉尔;F·J·蒂默曼 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：一种被配置用于光刻设备的图案形成装置，所述光刻设备被配置为使用辐射经由投影光学器件将所述图案形成装置的图案成像到衬底上。所述图案形成装置包括：第一部件，用于反射和/或透射所述辐射；以及第二部件，覆盖所述第一部件的表面的至少部分，并且被配置为至少部分地吸收入射到所述第二部件上的所述辐射。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN202180036026.X在审
发明人：中山修一;中野贵之;堀正和 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：图案形成装置具备在基板上形成图案的图案形成机构和对形成在基板上的标记进行检测的标记检测机构。图案形成装置具备：照明系统，其朝向光分割器投射照明光，在物镜光学系统的光瞳面上形成照明光的光源像；以及调整机构，其使形成在物镜光学系统的光瞳面内的光源像的位置发生变化。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN200810189696.1有效
发明人：中村友则;筒井匠司 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2008-12-26 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，其防止由异物引起对液滴喷头及基板的损伤。由第一异物检测传感器(81)及第二异物检测传感器(82)检测出CF基板W上附着的异物。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN201310120340.3有效
发明人：中嶋美佳;增市干雄;川越理史;上野博之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2013-04-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，使担载体（BL）上的图案形成区域（Al）与板状的物体（PP）相抵接来进行图案形成，并在图案形成时与图案形成区域（Al）相向的区域（A2）的外侧吸附物体（PP）。具体地说，在吸附板（34）中的在图案形成时与物体（PP）的区域（A2）相向的区域（A3）的外侧形成有被供给负压的槽状的开口（351），进而，在该开口（351）的外侧，设有分别局部吸附物体（PP）的局部吸附部
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN201210268331.4有效
发明人：岩岛正信;真田雅和;上野博之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液并形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并能够恰当地进行喷出控制。喷出口（311）的周围及涂敷液供给路径（312）的周围壁面一体形成。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN200810161082.2有效
发明人：藤森英二郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2008-09-26 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：提供一种图案形成装置，其对滑架周边的空气进行排气，并且使该滑架周边简化。沿着Y轴导轨(18)设置，并且进行从液滴喷头喷出的液滴的检查的扫描检查相机装置(80)，其中，在收容与检查相机(CA)电连接的电缆(87)的电缆支架管部(81B)的两端部设有排气口(P1)。因此，通过从吸出孔(85)和引导孔(82)吸引滑架周边的空气并排气，可以向滑架周边导入液滴喷出装置周边的空气。其结果是抑制液滴喷头的温度上升，使功能液的温度一定，由此使液滴喷头的喷出量均匀。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN201710905028.3有效
发明人：加藤正纪;鬼头义昭;堀正和;木内彻 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-03-13 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G03F7/24 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成装置。设有：基材，包括将被实施光学处理的具有透过性的挠性衬底在以规定的曲率弯曲的状态下或是平坦的状态下支承的面；和膜体，形成在该基材的表面上，且相对于在光学处理中所使用的光(曝光用的紫外线、对准用的可视光等)
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN201780032851.6有效
发明人： G·F·J·沙斯富特;P·德格罗特;M·Y·斯德拉科夫;M·P·J·M·迪克斯;J·M·芬德尔斯;彼得-詹·范兹沃勒;J·J·M·巴塞曼斯;S·鲍默;L·C·德温特;W·J·恩格伦;M·A·范德柯克霍夫;R·J·伍德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-05-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G03F1/24 文献下载
摘要：一种图案形成装置，包括反射式标识，其中所述标识包括：多个反射区域，被配置为优先反射具有给定波长的辐射；多个吸收区域，被配置为优先吸收具有所述给定波长的辐射；其中所述吸收区域和反射区域被布置成形成在用辐射照射所述标识时从所述标识反射的图案化辐射束
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置-CN201080062025.4无效
发明人：八角邦夫 -专利权人：株式会社御牧工程
申请日： 2010-01-20 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，其能够最小限度地抑制装置的动作，实现图案形成装置的节省空间化、节能化。打印机（10）包括：喷墨头（11），其向介质（20）喷出墨而进行图案形成；UV灯（15），其向介质（20）照射表面改性用的紫外光；以及一体支承部（13），其用于对喷墨头（11）及UV灯（15）这两者进行支承
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置、图案形成方法、图案形成系统-CN200380108032.3无效
发明人：后藤博史;藤井充;吉冈治男;岸英树 -专利权人：天成科威有限公司;伯东株式会社
申请日： 2003-12-09 - 公布日： 2006-02-08 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：在图案形成装置(10)中，把用于在基板(200)上形成图案的模具(100)加热到基板(200)的表层部的玻化温度Tg以上的温度T1，在该状态下，把模具(100)按压到温度在玻化温度Tg以下的基板(200)上，并转印模具(100)的图案。并且，优选设置从料箱逐个取出基板(200)并依次供给该图案形成装置(10)的供给装置，构成图案形成系统。
图案形成装置方法系统

[发明专利]图案形成装置、图案形成方法-CN200780007581.X无效
发明人：石井浩一;细矢雅弘 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-02-28 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：本发明揭示的图案形成装置具有：保持利用显影剂形成的图案的凹版(1)；使凹版(1)带电的带电装置(3)；使红色的图案进行显影的显影装置(2r)；使绿色的图案进行显影的显影装置(2g)；使蓝色的图案进行显影的显影装置(2b)；以及保持带电装置(3)和各色显影装置(2)、同时对于凹版(1)相对移动的台。依次沿着凹版(1)通过带电装置(3)、红色显影装置(2r)、绿色显影装置(2g)、蓝色显影装置(2b)，并行实施带电步骤、红色显影步骤、绿色显影步骤、蓝色显影步骤。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成材料、图案形成方法及图案形成装置-CN201680047579.4有效
发明人：渡部功治 -专利权人：长濑化成株式会社
申请日： 2016-08-09 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C08F2/44 文献下载
摘要：本发明提供一种三维光造型用图案形成材料，其可提高固化速度，并且可抑制三维造型物的收缩。三维光造型用图案形成材料含有苯二甲酸二烯丙酯预聚物、光固化性单体及光聚合引发剂，并且在室温下为液状。图案形成材料适合于以面曝光方式进行的图案形成。在苯二甲酸二烯丙酯预聚物及光固化性单体的总量中苯二甲酸二烯丙酯预聚物所占的比例为例如5～40质量％。
图案形成材料方法装置

[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201410250180.9在审
发明人：中川良幸 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在基板上以良好的形状形成线图案的图案形成装置以及图案形成方法。该图案形状装置具有气流吹送单元(1C)和图案整形单元中的至少一个，其中，所述气流吹送单元(1C)与开始喷出所述涂敷液以及停止喷出所述涂敷液相对应地朝向所述基板(W)的在第一方向(X)上比向所述基板(W)供给所述涂敷液的供给位置(P1)更靠上游侧的表面喷射气体，并在所述涂敷液喷嘴(2)的喷出口(21)和所述基板(W)的表面的中间，向所述涂敷液的液流吹送气流(AF)；所述图案整形单元向形成在所述基板(W)的表面上的图案(LP)呈脉冲状喷射气体来进行整形。
图案形成装置以及方法

[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201310361890.4在审
发明人：博伊科·斯托伊梅诺夫;山川和芳;铃木雅裕;松尾和昭 -专利权人：株式会社捷太格特
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C25D5/02 文献下载
摘要：发明的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二电极的每一电极之间施加规定的电压。
图案形成装置以及方法

[发明专利]图案形成装置、及图案形成方法-CN202180025936.8在审
发明人：加藤正纪 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2021-04-05 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：图案形成装置在沿第1方向移动的基板上的既定区域形成图案，其具备：第1对准系统，其在于第1方向上设定于既定区域的上游侧的第1检测区域内，光学检测在基板上沿着第1方向以既定间隔形成的第1基板标记；第2对准系统，其在于第1方向上设定于既定区域的上游侧的第2检测区域内，光学检测在与第1方向正交的第2方向上与第1基板标记隔开既定距离且在基板上沿着第1方向以既定间隔形成的第2基板标记；基准标志部件，其以沿着第1、第2对准系统的方式在第2方向上延伸设置，在第2方向上对应于第1检测区域和第2检测区域各检测区域的部分形成有基准标志标记；及合成光学部件，其设置于第1、第2对准系统各对准系统，以使来自基准标志标记的光通过供来自基板标记的光通过的光路中的方式进行合成
图案形成装置方法

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