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[发明专利]一种绿色环保可复用硅料清洗液及其制备方法和应用及清洗工艺-CN202211386710.3在审
发明人：张振宇;刘振颂;崔祥祥;李浩东;虞诗强;黄忱 -专利权人：大连理工大学;大连理工大学滇西产业发展研究院
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明属于硅单晶制造技术领域，涉及一种绿色环保可复用硅料清洗液及其制备方法和清洗工艺；所述硅料清洗液包括1#清洗液和2#清洗液；1#清洗液包括基底和氧化层腐蚀剂；2#清洗液包括pH调节剂、氧化剂、基底；硅料清洗液不含任何强酸强碱成分，极大改善了操作人员的工作环境，降低了对操作人员的健康威胁；硅料清洗液对硅料腐蚀性低且可复用，降低了对硅料和清洗液的消耗，降低成本；硅料清洗液组成成分绿色环保，对环境污染小
一种绿色环保可复用硅料清洗及其制备方法应用工艺

[发明专利]一种单模光纤双向光收发器-CN201710616634.3在审
发明人：商松泉;劳之豪;王昕;向涛;刘斌 -专利权人：深圳市傲科光电子有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： H04B10/25 文献下载
摘要：本发明提供一种单模光纤双向光收发器，包括光发射模块、光接收模块、模斑变换结构和基于氮化硅工艺制作的波分复用模块；光发射模块与波分复用模块的上行光信号发送端连接，波分复用模块的下行光信号接收端和光接收模块通过模斑变换结构耦合连接，波分复用模块的光纤连接端通过光纤连接光线路终端，光接收模块、波分复用模块和模斑变换结构通过硅光子技术集成在同一硅基片上，光发射模块复合集成在所述硅基片上。本发明可实现波分复用模块与光接收模块、光发射模块和光纤之间的有效耦合，波导尺寸均匀，可有效降低信号损耗、减少伪反射且对环境温度不敏感。
一种单模光纤双向收发

[实用新型]一种单模光纤双向光收发器-CN201720914049.7有效
发明人：商松泉;劳之豪;王昕;向涛;刘斌 -专利权人：深圳市傲科华芯技术有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： H04B10/25 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单模光纤双向光收发器，包括光发射模块、光接收模块、模斑变换结构和基于氮化硅工艺制作的波分复用模块；光发射模块与波分复用模块的上行光信号发送端连接，波分复用模块的下行光信号接收端和光接收模块通过模斑变换结构耦合连接，波分复用模块的光纤连接端通过光纤连接光线路终端，光接收模块、波分复用模块和模斑变换结构通过硅光子技术集成在同一硅基片上，光发射模块复合集成在所述硅基片上。本实用新型可实现波分复用模块与光接收模块、光发射模块和光纤之间的有效耦合，波导尺寸均匀，可有效降低信号损耗、减少伪反射且对环境温度不敏感。
一种单模光纤双向收发

[发明专利]一种基于动态模式复用的多参量测试的硅光传感器-CN202310952377.6在审
发明人：方玮祺;梁熙;管小伟;尹少杰 -专利权人：嘉兴合浙兴光电传感技术有限责任公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01J1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于动态模式复用的多参量测试的硅光传感器，由硅光可调滤波器、硅光多阶模式复用/解复用器、硅光传感器阵列构成。硅光可调滤波器包括三列可调级联微环滤波器和微环上面覆盖的金属加热电极；硅光多阶模式复用/解复用器将可调滤波器和硅光传感器阵列连接，硅光多阶模式复用/解复用器是由不同宽度的纯硅波导构成，再利用锥形波导将不同宽度波导连接一起；硅光传感器阵列由三个不同的微环谐振器组成，负责实现传感器不同的功能，本发明充分利用了硅光波导的动态多阶模式分时复用技术，把它引入生物传感器中，极大地拓展传感器的通路数量，实现了对大规模参量探测的片上多参量硅光传感器
一种基于动态模式参量测试传感器

[发明专利]基于多模干涉原理的高消光比粗波分复用/解复用器-CN201911350006.0有效
发明人：唐强;朱旭愿;梁松 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G02B6/28 文献下载
摘要：一种粗波分复用/解复用器，包括：衬底；二氧化硅氧化层，位于所述衬底上；体硅下波导层，位于所述二氧化硅氧化层上；氮化硅波导层，位于所述体硅下波导层上；体硅上波导层，位于所述氮化硅波导层上；其中，在体硅下波导层、氮化硅波导层和体硅上波导层三层材料上刻蚀形成多个多模干涉耦合器，包括1.31微米/1.55微米光波的复用/解复用单元、收集单元和滤波单元，所述收集单元的输入端与复用/解复用单元相连，所述滤波单元的输入端与复用/解复用单元的输出端相连。本发明的复用/解复用器可以在不同的位置形成重新汇聚的镜像点，从而实现在两束光波可以在不同的位置被分离并且收集，因此本发明的复用/解复用器的光信号串扰小，消光比高。
基于干涉原理高消光粗波分复用解复用器

[发明专利]硅基WDM光收发模块-CN201710078304.3在审
发明人：仇超;虞婷婷;武爱民;盛振;高腾;甘甫烷;赵颖璇;李军 -专利权人：上海新微科技服务有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中科院南通光电工程中心
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基WDM光收发模块，所述硅基WDM光收发模块包括硅光子芯片，包括调制器阵列和探测器阵列；以及基于平面光波导技术实现的波分复用器及解复用器，所述波分复用器与所述调制器阵列通过封装连接，所述解复用器与所述探测器阵列通过封装连接本发明通过将硅光子芯片和基于平面光波导技术（PLC）实现的波分复用及解复用芯片封装在一起实现WDM光模块，从而避免硅基波分复用/解复用器在工艺上的困难；并且，针对传统基于分立器件和PLC技术的WDM光收发模块，集成度低，功耗高的缺点，本发明通过采用硅光子技术将调制器阵列和探测器阵列集成在一起，可以大大提高光收发模块的集成度，降低功耗。
硅基 wdm 收发模块

[实用新型]硅基WDM光收发模块-CN201720133350.4有效
发明人：仇超;虞婷婷;武爱民;盛振;高腾;甘甫烷;赵颖璇;李军 -专利权人：上海新微科技服务有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中科院南通光电工程中心
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅基WDM光收发模块，所述硅基WDM光收发模块包括硅光子芯片，包括调制器阵列和探测器阵列；以及基于平面光波导技术实现的波分复用器及解复用器，所述波分复用器与所述调制器阵列通过封装连接，所述解复用器与所述探测器阵列通过封装连接。本实用新型通过将硅光子芯片和基于平面光波导技术（PLC）实现的波分复用及解复用芯片封装在一起实现WDM光模块，从而避免硅基波分复用/解复用器在工艺上的困难；并且，针对传统基于分立器件和PLC技术的WDM光收发模块，集成度低，功耗高的缺点，本实用新型通过采用硅光子技术将调制器阵列和探测器阵列集成在一起，可以大大提高光收发模块的集成度，降低功耗。
硅基 wdm 收发模块

[发明专利]波分复用器-CN202211400562.6在审
发明人：张巍;金展平;冯雪;刘仿;崔开宇;黄翊东 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及集成光电子领域，提供一种波分复用器。波分复用器包括第一硅波导；第二硅波导，第二硅波导与第一硅波导的长度相同且宽度不同；第一硅波导和第二硅波导中的至少一个形成有波导耦合段，波导耦合段内形成有周期性褶皱结构。该波分复用器能够实现具有单一滤波通带的波分复用器。与常用的基于不等臂马赫增德尔干涉仪和两波导耦合微环谐振腔器件相比，该波分复用器只有单一滤波通带，应用于宽带光信号处理时无需器件级联。并且该波分复用器的周期性褶皱结构周期较大，且可以和芯片上硅波导通过同一刻蚀过程制备，无需附加的制备工艺，因此该波分复用器结构简单，传输特性对结构参数不敏感，便于制备。
波分复用器

[发明专利]半导体装置的修复电路和修复方法-CN201010244677.1有效
发明人：崔香花;李政祐;辛尚勋 -专利权人：海力士半导体有限公司
申请日： 2010-08-04 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： G11C29/44 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体装置的修复电路，包括：多个穿通硅通孔，包括具有一个修复穿通硅通孔和M个正常穿通硅通孔的重复的组；发送单元，被配置为基于控制信号，以第一多路复用比对输入数据进行多路复用，并将多路复用的数据传输至多个穿通硅通孔；接收单元，被配置为基于控制信号，以第二多路复用比对经由多个穿通硅通孔传输的信号进行多路复用，并产生输出数据；以及控制信号发生单元，被配置为基于测试信号的输入次数来产生控制信号的组。
半导体装置修复电路方法

[发明专利]集成光学微电子机械系统中应力和间隙缓解的结构和方法-CN201980088028.6在审
发明人：弗朗索瓦·梅纳德;乔纳森·布里瑞;马丁·贝拉德;梅尔·布鲁德;弗雷德里克·奈卜克;迈克尔·梅纳德;莫汉纳德·埃尔萨德;苏拉杰·莎拉玛;达米恩·米歇尔 -专利权人：弗朗索瓦·梅纳德;乔纳森·布里瑞;马丁·贝拉德;梅尔·布鲁德;弗雷德里克·奈卜克;迈克尔·梅纳德;莫汉纳德·埃尔萨德;苏拉杰·莎拉玛;达米恩·米歇尔
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：硅光子学是如下候选技术，通过利用CMOS微电子工业的规模经济，并将诸如氮化硅(SixNy)和氮氧化硅(SiO可移动平台，允许将附加功能添加到硅电路以及硅光子学。因此，通过将形成在衬底上的“固定”波导与形成在一个或多个可移动平台上的“可移动”波导相结合，发明人建立了一系列基于硅光子学的集成光学MEMS(IO‑MEMS)。此类IO‑MEMS包括光学开关、光衰减器、光栅极、光学开关矩阵、可配置波分复用器/解复用器装置等，利用平台和可变形梁。
集成光学微电子机械系统应力间隙缓解结构方法

[发明专利]应用于高速并行长距离传输的新型波分复用解复用光组件-CN201210184192.7无效
发明人：李伟龙;孙雨舟;王攀;黄鹏;施高鸿;刘圣 -专利权人：苏州旭创科技有限公司
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： H04B10/24 文献下载
摘要：本发明涉及应用于高速并行长距离传输的新型波分复用解复用光组件，激光器组的输出端依次布置硅透镜组、光学调整板组和下层硅透镜阵列、下层滤光片组，下层滤光片组的输出端布置下层自由空间波分复用器件，下层自由空间波分复用器件的输出端布置光隔离器，光隔离器的输出端布置聚焦透镜，聚焦透镜的输出端与输入光纤相连，输出光纤与准直透镜相连，准直透镜的输出端与棱镜相衔接，棱镜的输出端布置上层自由空间波分复用器件，上层自由空间波分复用器件的输出端布置上层滤光片组，上层滤光片组的输出端布置上层硅透镜阵列，上层硅透镜阵列的输出端布置探测器组。利用滤波片阵列结构实现光信号的复用解复用。
应用于高速并行长距离传输新型波分复用解复用光组件

[实用新型]应用于高速并行长距离传输的新型波分复用解复用光组件-CN201220263983.4有效
发明人：李伟龙;孙雨舟;王攀;黄鹏;施高鸿;刘圣 -专利权人：苏州旭创科技有限公司
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H04B10/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及应用于高速并行长距离传输的新型波分复用解复用光组件，激光器组的输出端依次布置硅透镜组、光学调整板组和下层硅透镜阵列、下层滤光片组，下层滤光片组的输出端布置下层自由空间波分复用器件，下层自由空间波分复用器件的输出端布置光隔离器，光隔离器的输出端布置聚焦透镜，聚焦透镜的输出端与输入光纤相连，输出光纤与准直透镜相连，准直透镜的输出端与棱镜相衔接，棱镜的输出端布置上层自由空间波分复用器件，上层自由空间波分复用器件的输出端布置上层滤光片组，上层滤光片组的输出端布置上层硅透镜阵列，上层硅透镜阵列的输出端布置探测器组。利用滤波片阵列结构实现光信号的复用解复用。
应用于高速并行长距离传输新型波分复用解复用光组件

[发明专利]硅基光分路集成芯片、集成化光纤陀螺、制备及连接方法-CN202211346505.4在审
发明人：尚克军;雷明;李豪伟;于晓之;张丽哲 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅基光分路集成芯片、集成化光纤陀螺、制备及连接方法，其中硅基光分路集成芯片包括包层，包层内设置波导结构，波导结构包括两根直波导、n‑1根弯曲波导，n为待连接的复用型光纤环圈的纤芯根数；n‑1根弯曲波导用于将复用型光纤环圈n根纤芯连通为一条光路，直波导一端用于连接相位调制器的一个光信号端口、另一端连接复用型光纤环圈对应端口剩余的一根纤芯。本发明硅基光分路集成芯片可实现光纤环圈多纤芯间的通道切换，减小结构尺寸，简化加工工艺，降低成本，提高光路一致性。
硅基光分路集成芯片集成化光纤陀螺制备连接方法

[发明专利]硅基高速双载波双偏振调制器集成芯片-CN201611088806.6有效
发明人：李明;唐健;刘宇;袁海庆;祝宁华 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H04B10/516 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基高速双载波双偏振调制器集成芯片，该硅基高速双载波双偏振调制器集成芯片包括：2个单模垂直耦合光栅，2个调制模块，1个2×1多模干涉耦合器，1个双模垂直耦合光栅。该硅基高速双载波双偏振调制器集成芯片能够双波长、双偏振态工作，将偏振复用与波分复用相结合，实现复杂格式调制，提高数据调制速率。该硅基高速双载波双偏振调制器集成芯片可实现双偏振16进制正交幅度调制，满足下一代光通信系统要求的高阶格式调制，调制速率可达到甚至超过400Gbit/s。
高速载波偏振调制器集成芯片

[发明专利]一种硅基WDM接收器件及其制备方法-CN202011249407.X有效
发明人：冯大增;王奕琼;梁虹;武爱民 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅基WDM接收器件及其制备方法，所述方法包括：获取SOI晶圆；制备光波解复用器，包括：在所述SOI晶圆上定义光波解复用器区域；在所述光波解复用器区域形成增透膜和电介质材料层，所述增透膜位于所述电介质材料层的一侧；在所述电介质材料层的另一侧形成光栅，在所述光栅与所述电介质材料层之间形成反射膜；制备硅基光波导、探测器和硅基光膜转换器；在所述光波解复用器所述硅基光波导、所述探测器和所述硅基光膜转换器的表面形成保护膜本申请的硅基WDM接收器件及其制备方法，通过引入电介质材料实现非热敏光波解复用器，可以降低器件的光学折射率和热光系数，提高器件性能，有助于减小集成器件的体积、降低成本。
一种 wdm 接收器件及其制备方法

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