专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]具有Y轴传动机构的网印机定位平台-CN201120041697.9有效
  • 常文卿;张辉;焦宏海;王朝 - 深圳市港龙网印机械有限公司
  • 2011-02-18 - 2011-10-05 - B41F15/16
  • 一种具有Y轴传动机构的网印机定位平台包括底座(10),固定在该底座上的第一直线运动机构(20)、第二直线运动机构(30)以及第三直线运动机构(40),与上述第一直线运动机构(20)、第二直线运动机构(30)以及第三直线运动机构(40)连接的工作平台(50),所述第一直线运动机构(20)与第三直线运动机构(40)的运动轨迹平行,所述第二直线运动机构与第一、三直线运动机构的运动轨迹垂直。本实用新型采用纵一横的调节机构,可以三个点为轴旋转其上支撑的平台,使得对位更加准确,调节更加方便。
  • 具有传动机构网印机定位平台
  • [实用新型]Y轴对位机构-CN201120041701.1有效
  • 常文卿;张辉;焦宏海;王朝 - 深圳市港龙网印机械有限公司
  • 2011-02-18 - 2011-09-14 - B41F15/14
  • 一种Y轴对位机构包括底座(10),固定在该底座上的第一直线运动机构(20)、第二直线运动机构(30)以及第三直线运动机构(40),所述第一直线运动机构(20)与第三直线运动机构(40)的运动轨迹平行,所述第二直线运动机构与第一、三直线运动机构的运动轨迹垂直。本实用新型采用纵一横的调节机构,可以三个点为轴旋转其上支撑的平台,使得对位更加准确,调节更加方便。
  • 对位机构
  • [实用新型]一种基于线光谱共焦传感器的测量装置-CN202120715356.9有效
  • 杨宇翔;胡浩 - 熵智科技(深圳)有限公司
  • 2021-04-08 - 2021-10-15 - G01B11/24
  • 本实用新型公开了一种基于线光谱共焦传感器的测量装置,包括机架,设于机架上的龙门平台,设于龙门平台上的运动单元和Z轴直线运动模组,以及载物台和线光谱共焦传感器。龙门平台包括安装台面及龙门横梁,龙门横梁下方形成龙门开口,Z轴直线运动模组固设于龙门横梁上,线光谱共焦传感器与Z轴直线运动模组固定连接以沿Z轴移动。运动单元包括X轴直线运动模组,固设于X轴直线运动模组上且与X轴直线运动模组相垂直的Y轴直线运动模组,以使得载物台在X轴直线运动模组与Y轴直线运动模组的驱动下沿X方向或Y方向往返通过龙门开口。
  • 一种基于光谱传感器测量装置
  • [实用新型]新型粉腔预处理传送装置-CN202020293296.1有效
  • 古仁君;张强;潘旭辉;王健 - 山东新华医疗器械股份有限公司
  • 2020-03-11 - 2020-12-18 - B65G47/84
  • 本实用新型涉及一种新型粉腔预处理传送装置,属于粉液室袋加工技术领域;包括伺服电机驱动系统、带传送系统、直线运动系统、夹具系统,伺服电机驱动系统设置在台面下方提供动力,减小对无菌环境的影响;带传送系统连接伺服电机驱动系统和直线运动系统,带传送系统平行于台面,用于带动直线运动系统运动直线运动系统通过支柱设置在台面上方,位于夹具系统带传送系统外侧,用于带动夹具系统运动;夹具系统固定在直线运动系统上,用于固定粉液室袋;符合无菌设计,易于清洁
  • 新型预处理传送装置
  • [实用新型]用于高速转向移动搬运的龙门驱四轴结构-CN201922297733.7有效
  • 刘卫坤;龙凤祥;后程文 - 天津龙创恒盛实业有限公司
  • 2019-12-19 - 2020-09-29 - B65G47/90
  • 本实用新型涉及机器手技术领域,尤其涉及一种用于高速转向移动搬运的龙门驱四轴结构,包括两个Y轴直线运动部分同动构成双驱机构、X轴直线运动部分和Z轴滚轴花键部分;X轴直线运动部分横跨所述Y轴直线运动部分,所述Z轴滚轴花键部分固定在X轴直线运动部分上用以实现Z轴升降以及旋转。本结构相较于前者拥有速度快精度高的特点,相较后者的最大特点是龙门驱跨度大覆盖面积广,且负载能力出众,能够广泛应用于高速高精高负载的自动化搬运中。通过直线电机与驱动器的驱功能整合,能够完美替代,既优化了机构以及减少安装调试的复杂性,又提高了传递效率以及生产效率。
  • 用于高速转向移动搬运龙门双驱四轴结构
  • [发明专利]一种基于导轨驱步进扫描的双工件台交换装置与方法-CN201110377972.9有效
  • 谭久彬;马伟;崔继文;金国良 - 哈尔滨工业大学
  • 2011-11-12 - 2012-04-18 - G03F7/20
  • 一种基于导轨驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域,该装置包括基台,位于预对准工位和曝光工位的工件台,在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元,通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台;另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联,Y向第四直线电机动子与第二工件台固联,Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨驱结构;本发明在换台过程中采用三节拍,提高了换台效率,同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小,稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
  • 一种基于导轨步进扫描双工交换装置方法
  • [发明专利]一种过梁式导轨驱步进扫描硅片台交换装置与方法-CN201110377867.5有效
  • 谭久彬;王绍凯;崔继文 - 哈尔滨工业大学
  • 2011-11-12 - 2012-06-13 - G03F7/20
  • 一种过梁式导轨驱步进扫描硅片台交换装置与方法属于半导体制造装备;该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元,基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元,Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动,并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动;本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力,减小或克服运动偏差和形变偏差,提高硅片台运动精度;且本本发明整个过程只有三个节拍,可缩短台交换需要的时间,明显提高光刻机的生产效率。
  • 一种过梁导轨步进扫描硅片交换装置方法
  • [发明专利]过梁式单/导轨驱步进扫描双工件台交换装置与方法-CN201110377845.9有效
  • 谭久彬;王绍凯;崔继文 - 哈尔滨工业大学
  • 2011-11-12 - 2012-03-28 - G03F7/20
  • 过梁式单/导轨驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备;该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元,基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元;Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动,并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动;本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力,减小或克服因转矩干扰引起的运动偏差和形变偏差,提高硅片台运动精度;换台过程仅有三个节拍,缩短台交换需要的时间,明显提高光刻机的生产效率。
  • 过梁导轨步进扫描双工交换装置方法
  • [发明专利]对聚焦光学系统聚焦光斑尺寸测量的装置及其使用方法-CN201110352127.6无效
  • 王春慧;田爱玲;王红军;刘丙才 - 西安工业大学
  • 2011-11-09 - 2012-06-20 - G01M11/02
  • 本发明属于聚焦光斑精密测量技术领域,具体涉及一种对聚焦光学系统聚焦光斑尺寸测量的装置及其使用方法,包括准直激光光源、反射与透射切换单元、分光镜、聚光镜、光功率探测器、第一直线运动单元、第二直线运动单元、缝、聚焦透镜、CCD相机、计算机,其中准直激光光源、分光镜、反射与透射切换单元、缝、聚焦透镜、CCD相机共光路依次设置,反射与透射切换单元设置于第一直线运动单元上,缝和聚焦透镜设置于第二直线运动单元上,所述分光镜的反射光路上依次设置有聚光镜和光功率探测器,光功率探测器、直线运动单元、第二直线运动单元、CCD相机均与计算机连接,通过一定的使用方法以克服现有技术不能用于对聚焦光斑的尺度进行分析测量的问题
  • 聚焦光学系统光斑尺寸测量装置及其使用方法
  • [发明专利]一种独立Z轴头3D打印机构-CN202310114806.2在审
  • 蒋宾辰;罗明灵 - 武汉科技大学
  • 2023-02-08 - 2023-06-02 - B29C64/20
  • 本发明公开了一种独立Z轴头3D打印机构,包括主框架、XY轴运动组件以及Z轴运动组件,所述主框架包括支撑架和两根以相同高度对称安装在所述支撑架上并与X轴平行的横梁;所述XY轴运动组件包括沿横梁设置的第一直线运动模块和两个与Y轴平行的第二直线运动模块,所述第二直线运动模块的两端与第一直线运动模块的滑动部固定相连;所述Z轴运动组件包括两个与Z轴平行的第三直线运动模块,所述第三直线运动模块与所述第二直线运动模块的滑动部固定相连本发明提供的这种独立Z轴头3D打印机构构结构紧凑,安装方便灵活,通用性强,能同时对不同打印层进行打印,打印功能丰富,而且运动敏捷,打印精度高,还可以满足较大尺寸工件的打印。
  • 一种独立轴双头打印机构
  • [实用新型]步进电机直线运动模块-CN202121329179.7有效
  • 吕相明;邓欲 - 广州合泽利电子科技有限公司
  • 2021-06-15 - 2022-03-15 - H02K7/06
  • 本实用新型公开了步进电机直线运动模块,包括转动电机,所述转动电机一侧安装有直线运动电机,所述直线运动电机一侧安装有丝杆,所述直线运动电机内部设有工作腔,所述工作腔内部安装有第一转子,所述转子内部设有螺纹杆,所述螺纹杆一侧设有扁位固定;该步进电机直线运动模块通过设置转动电机、直线运动电机、丝杆、工作腔、第一转子、螺纹杆、扁位固定、第二转子、固定栓,可以达到有效进行解决伸缩到指定位置后,不能进行旋转动作和连动关系
  • 步进电机直线运动模块
  • [实用新型]一种光纤导管的辅助运动装置-CN202123350206.1有效
  • 夏良道;金慧杰;史鼎盛;廖响亮 - 杭州佳量医疗科技有限公司
  • 2021-12-28 - 2022-09-06 - A61B34/30
  • 本实用新型涉及一种光纤导管的辅助运动装置,属于消融手术装置技术领域。一种光纤导管的辅助运动装置,包括机架和运动组件;所述运动组件包括直线运动组件和旋转运动组件;所述直线运动组件在所述机架上进行直线运动,所述直线运动组件带动所述旋转运动组件实现同步直线运动。本实用新型实现了光纤导管同步的直线运动和旋转运动,且通过丝杆、齿轮啮合的方式提高了直线位移和旋转角度的控制精度;所述驱动组件具有驱动源,既可以实现对所述光纤导管的人工手动调节又可以实现对所述光纤导管的全自动调节
  • 一种光纤导管辅助运动装置

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