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[发明专利]压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板-CN201710427223.X有效
发明人：何晓龙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C08L83/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种压印模板及其制作方法、压印装置、压印方法和基板。本发明的压印模板基材内填充有导磁性纳米颗粒。所述导磁性纳米颗粒可在磁场作用下产生磁性辅助压印力，所述磁性辅助压印力为增强压印模板、配重滚轮、待压印件之间的接触稳定性提供了便利。同时，本发明还提出了一种压印装置，与所述压印模板相配合，提高了压印模版与压印部件之间的接触稳定性，保持了压印力的均匀性。
压印模板及其制作方法装置方法

[发明专利]一种匀强电场辅助纳米压印成型装置及方法-CN201910617394.8在审
发明人：谷岩;林洁琼;陈斯;李先耀;康洺硕;冯开拓;张昭杰;徐宏宇;徐贞潘;颜家瑄;易正发;戴得恩;卢发祥;刘骜;段星鑫 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种匀强电场辅助纳米压印成型装置及方法通过调节压印装置的上、下两电极板之间的电压来控制极板之间产生的匀强电场力，并以匀强电场力作为压印力进行压印，脱模时向两电极板之间反复施加正反两方向的等大可调电压，形成正反向的匀强电场力并以此作为脱模力，使压印模具与衬底分离。本发明采用匀强电场力作为压印力，使得压印模具受到均匀的力可使模具上的微结构更好的转印至基板上，同时以反复的正反两方向的匀强电场力作为脱模力，保证在脱模过程中图案的完整性，并且在脱模过程中通过调节水平调节装置，调节得到适宜的脱模角度，提高压印图案精度及分辨率。
一种电场辅助纳米压印成型装置方法

[实用新型]一种匀强电场辅助纳米压印成型装置-CN201921067353.8有效
发明人：谷岩;陈斯;康洺硕;李先耀;冯开拓;张昭杰;徐宏宇;徐贞潘;颜家瑄;易正发;戴得恩;卢发祥;刘骜;段星鑫;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀强电场辅助纳米压印成型装置，首先调节X向工作平台和Z向工作平台，使压印模具置于衬底的正上方，通过调节压印装置的上、下两电极板之间的电压来控制极板之间产生的匀强电场力，并以匀强电场力作为压印力进行压印，脱模时向两电极板之间反复施加正反两方向的等大可调电压，形成正反向的匀强电场力并以此作为脱模力，使压印模具与衬底分离。本实用新型采用匀强电场力作为压印力，使得压印模具受到均匀的力可使模具上的微结构更好的转印至基板上，同时以反复的正反两方向的匀强电场力作为脱模力，保证在脱模过程中图案的完整性，并且在脱模过程中通过调节水平调节装置，调节得到适宜的脱模角度，提高压印图案精度及分辨率。
匀强电场脱模压印模具本实用新型工作平台电极板压印力水平调节装置衬底分离成型装置可调电压纳米压印压印图案压印装置分辨率微结构正反向衬底等大基板极板压印转印模具施加图案保证

[发明专利]一种纳米压印技术过程中的脱模方法-CN201510378214.7在审
发明人：王清;马立俊;刘华伟;张睿;张金涛;郑旭 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2015-07-02 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米压印技术过程中的脱模方法，先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射超声波，以辅助模板和压印成型的胶层分离，移去模板，完成脱模过程。本发明与现有技术相比解决了纳米压印技术脱模过程中由于模板和胶层的黏聚力而导致的已成型纳米压印结构严重变形、撕裂和脱模力过大等问题，使压印后的图案传递与光刻完全一致，并有效地降低了脱模力，大大的提高了脱模的成功率

一种纳米压印技术过程中的脱模方法

[发明专利]模具、压印设备和制造物品的方法-CN202010789194.3在审

发明人：礼岛隆裕 -专利权人：佳能株式会社

申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本发明提供模具、压印设备和制造物品的方法。为了即使在减小施加到模具的力的情况下也能进行有效的脱模，提供一种压印设备中使用的模具，该压印设备通过用模具的压印表面将压印材料压印在基板上来使压印材料成型，并且通过向模具外周附近的剥离区域施加沿解脱方向的力而将模具脱模

模具压印设备制造物品方法

[实用新型]压印、冲铆压力机-CN02215962.2无效

发明人：吴宝平 -专利权人：上海申贝长城号码机械有限公司

申请日： 2002-03-01 - 公布日： 2003-05-28 - 主分类号： B30B1/00 文献下载

摘要：本实用新型公开了一种压印、冲铆压力机，包括冲击组件与压印冲铆组件，操作组件，所述的冲击组件包括冲击锤和导管，所述的压印冲铆组件包括压印冲铆头，所述的冲击锤和压印冲铆头位于导管内，在端盖与冲击锤后部的凸起部之间设有冲制弹簧采用了本实用新型，能使被冲击件始终与压印冲铆头垂直，每次压印冲铆时控制冲制弹簧的相同压缩度，产生相同的冲击力，保证了每次压印冲铆时冲击力不变，提高了压印冲铆质量。

压印压力机

[发明专利]一种电致浸润无残余层纳米压印装置及方法-CN202310408940.3在审

发明人：邓萌萌 -专利权人：璞璘科技（杭州）有限公司

申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本发明公开了一种电致浸润无残余层纳米压印装置，包括上部透明电极、下部结构化电极、纳米压印模板、纳米压印胶和纳米压印衬底，所述上部透明电极与下部结构化电极之间设有外部电压，所述下部结构化电极的顶部设有纳米压印衬底，所述纳米压印衬底上沉积有纳米压印胶，所述纳米压印胶与上部透明电极之间设有纳米压印模板，所述上部透明电极的上方设有紫外固化装置。本发明通过外加电压，可根据纳米压印模板的结构要求而分区调节电压，从而使纳米压印胶受电场力、毛细力以及本征张力的多种作用，使得纳米压印胶流体在模板图案中完全铺展，以满足无残余层压印的前提条件。

一种浸润残余纳米压印装置方法

[发明专利]一种激光诱导空化微压印装置-CN201910398742.7在审

发明人：郭钟宁;王亮亮;邓宇;陈铁牛;谢明 -专利权人：广东工业大学

申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： B44B5/00 文献下载

摘要：本发明公开了一种激光诱导空化微压印装置，包括壳体，壳体内设置有可移动的、用于压印工件的压印部，压印部与壳体的侧壁密封连接以在压印部上方形成用于放置液体的腔室，还包括用于向腔室内的液体发射激光以产生空化效应的激光发射部，压印部在空化效应所产生的冲击力作用下向工件所在方向移动以压印工件。空化效应产生的空泡在生长过程中产生冲击波，最终在溃灭时产生微射流，冲击波和微射流对压印部有一定的冲击力，压印部在冲击波和微射流冲击力的作用下向工件所在方向移动，达到微压印的效果，即以激光诱导空化所产生的冲击力为动力带动压印部移动

压印部激光诱导空化效应冲击波微射流微压印空化冲击力方向移动壳体冲击力作用传动零部件激光发射部侧壁密封动力带动机械传动生长过程可移动空泡腔室磨损激光室内体内发射移动维护

[发明专利]压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法-CN201210493215.2有效

发明人：宫田巨树 -专利权人：佳能株式会社

申请日： 2012-11-28 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本发明公开了压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法。该压印装置包括：保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具；吸附力调整单元，被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小

压印装置使用物品制造方法

[实用新型]一种新型冷烫一体机压印装置-CN202221806156.5有效

发明人：张铁军;安洪申 -专利权人：玉田县信德诚印刷机械有限公司

申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B41F17/00 文献下载

摘要：本实用新型属于压印设备领域，尤其是一种新型冷烫一体机压印装置，针对现有的冷烫一体机压印装置的两个压印辊压印的力不便于同步调节，两个压印辊的压印力不便于单独调节，影响压印效果的问题，现提出如下方案，其包括墙板所述墙板的数量设置有两个，两个墙板对称设置，且两个墙板相互靠近的一侧均固定安装有固定板，两个墙板相互靠近的一侧均滑动安装有气缸定位调整件，两个固定板的顶部均转动安装有手扭螺栓，本实用新型较之常规的新型冷烫一体机压印装置，能够同步调节同侧的两个压印辊的纵向位置，也可以单独调节压印辊两端的纵向位置，提升了压印效果，利用推广使用。

一种新型冷烫一体机压印装置

[发明专利]定影装置及图像形成装置-CN200310113213.7无效

发明人：北泽淳宪;古贺欣朗;藤田彻;中村昌英 -专利权人：精工爱普生株式会社

申请日： 2003-11-05 - 公布日： 2004-06-09 - 主分类号： G03G15/20 文献下载

摘要：压印部分(69)入口侧的压印力比压印部分(69)出口侧的压印力高。这样通过在压印部分(69)入口侧对记录介质(4)施加比较高的压印力来从调色剂T之间、以及记录介质(4)—调色剂T之间挤出液体载体L，从而使它们之间的液体载体L的余量大大减少。然后，记录介质(4)在这种低余量的状态下向压印部分(69)的出口侧移动，使调色剂T与记录介质(4)的一面S1相互加压接触来将调色剂T定影在记录介质(4)上。

定影装置图像形成

[实用新型]一种可调节脱模角度的紫外纳米压印装置-CN201820035502.1有效

发明人：谷岩;周岩;戴得恩;郑艳苹;张群;李景鹏;郑恭承;易正发;冯开拓;曹东旭;田旭;康洺硕;杨继犇;王点正;张成龙 -专利权人：长春工业大学

申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：一种可调节脱模角度的紫外纳米压印装置，本装置包括调节装置、压印装置、固化装置、调节装置固定架、工作台，放卷辊放出衬底，收卷辊卷收衬底，涂胶装置对衬底进行涂胶，被涂过胶的衬底通过支撑辊一传输至压印装置进行压印，紫外灯对准压印区域，对其进行固化，在对衬底进行脱模前，调节装置通过位移平台和微动平台对调节辊进行宏观与微观调节，调节到一个合适的脱模角度后，进行脱模，最后得到带有微纳图案的衬底，再通过收卷辊将衬底回收，本实用新型采用宏观微观结合可精确调节脱模角度，从而缓解脱模过程中脱模力、粘附力和摩擦力对脱模过程的影响，降低压印图案的缺陷率，提高压印图案精度及分辨率且装置简易，操作简单，效率高，成本低。

脱模衬底调节装置紫外纳米压印压印图案压印装置可调节收卷辊本实用新型固化装置宏观微观涂胶装置微动平台微观调节位移平台压印区域放卷辊分辨率工作台固定架缺陷率支撑辊紫外灯卷收涂胶压印粘附固化对准简易图案传输回收缓解宏观

[实用新型]一种气体辅助紫外纳米压印装置-CN202022317515.8有效

发明人：谷岩;刘亚梅;许济琛;李超;陈文豪;卢发祥;李洁;康洺硕;范亚林;郭金槄;邹晨宇;袁旭;郭鑫;付斌;张昭杰 -专利权人：长春工业大学

申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本实用新型公开了一种气体辅助紫外纳米压印装置，该装置包括机架、升降装置、压印装置、工作平台、气体装置、Z轴微动装置，装卡已涂胶衬底，升降装置控制压印装置下降，使其与工作平台紧密贴合形成封闭腔室，Z轴微动装置控制衬底贴近软模板，气体装置对封闭腔室抽气形成负压环境，使软模板下移进行压印，紫外线灯对压印胶进行固化，气体装置对封闭腔室充气完成脱模，最后压印装置上升，取出带有微结构的衬底，完成压印。本装置使用真空负压施压技术，在对曲面衬底压印时，能使软模板和衬底形成更好的共形接触，并有效提高压印力和脱模力的均匀性，从而增大压印胶的填充率，改善软模板损伤和衬底翘曲的问题，提高转移图案的精度和保真度。

一种气体辅助紫外纳米压印装置

[发明专利]一种步进压印复合凸台模板及其制备方法-CN202310750584.3在审

发明人：邓萌萌 -专利权人：璞璘科技（杭州）有限公司

申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本发明提供一种步进压印复合凸台模板及其制备方法；主要用于步进压印光刻，其能够灵活制备步进压印凸台模板；能够容易地更换模板以满足步进压印需要；采用3D打印、浇筑以及吸胶的方法可快速制备步进压印复合凸台模板，凸台分别由透明刚性支撑层、透明弹性缓冲层、透明模板压印层组成；高的透光率可以极大的提高UV光的利用率，节能环保；同时，复合凸台模板刚性层提供压印力的支撑与传递、弹性层提供力的均匀分布与缓冲，模板层提供结构的传递与复制因此，本发明可实现步进压印复合凸台模板的制备与替换，良好的普适性，将具有很重要的研究意义与工程应用价值。

一种步进压印复合模板及其制备方法

[实用新型]一种通过滚轮实现均匀压印的纳米压印设备-CN201820403759.8有效

发明人：冀然 -专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司

申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载

摘要：本实用新型公开了一种通过滚轮实现均匀压印的纳米压印设备，包括工作台、用于带动工作台做左右移动的移动平台，所述工作台的上方固定有用于放置基板的托盘，还包括底部设有纳米结构的软模板、用于支撑软模板于基板上方的支撑单元；滚压单元包括滚轮总成和带动滚轮总成做上下移动的滚轮驱动装置，还包括控制单元，所述控制单元分别与支撑单元驱动装置、移动平台、滚轮驱动装置做电连接；实现软模板与涂抹在基板上的压印胶线性、顺次接触压印，压印力分布更加均匀，用较小的压印力就能使模板结构完全转印到基板上的压印胶上，压印过程中陷入的气泡能够被及时排出。

基板软模板工作台滚轮驱动装置纳米压印设备滚轮总成移动平台支撑单元压印胶压印力滚轮压印滚压本实用新型托盘模板结构纳米结构驱动装置上下移动压印过程左右移动电连接接触压排出转印涂抹支撑

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