[发明专利]一种步进压印复合凸台模板及其制备方法在审
| 申请号： | 202310750584.3 | 申请日： | 2023-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN116794929A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 邓萌萌 | 申请（专利权）人： | 璞璘科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州大道知识产权代理有限公司 33525 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富阳区银*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种步进压印复合凸台模板及其制备方法；主要用于步进压印光刻，其能够灵活制备步进压印凸台模板；能够容易地更换模板以满足步进压印需要；采用3D打印、浇筑以及吸胶的方法可快速制备步进压印复合凸台模板，凸台分别由透明刚性支撑层、透明弹性缓冲层、透明模板压印层组成；高的透光率可以极大的提高UV光的利用率，节能环保；同时，复合凸台模板刚性层提供压印力的支撑与传递、弹性层提供力的均匀分布与缓冲，模板层提供结构的传递与复制。因此，本发明可实现步进压印复合凸台模板的制备与替换，良好的普适性，将具有很重要的研究意义与工程应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 步进 压印 复合 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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