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[发明专利]一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势的判断方法-CN202011609839.7在审
发明人：张欢;连庆伟;李超;王雅楠;吴志强;崔彬;姜舰 -专利权人：有研半导体材料有限公司;山东有研半导体材料有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： C30B15/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种直拉硅单晶收尾阶段单晶收放趋势的判断方法，包括以下步骤：(1)按照所生产单晶直径的1‑1.3倍预算出收尾长度，结合勾股定理算出收尾的两个角度为63°和69°，根据两个角度分别计算不同长度段内的重量随长度变化斜率，绘制出理论重量随长度变化曲线图；(2)通过单晶炉客户端获得收尾部分任意位置A和重量B；通过单晶炉客户端获得收尾部分位置A下的位置C和重量D；计算位置A到位置C的重量随着长度的变化斜率α＝(D‑B)/(采用本发明能够及时有效的判断出单晶收放趋势，正确的调节拉速，提高单晶的完好率。
一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势判断方法

[发明专利]单晶硅棒金刚线进刀装置-CN201610194944.6有效
发明人：朱亮;傅林坚;曹建伟;沈文杰;杨思炜;卢嘉彬;邱文杰;罗世铭;邱敏秀 -专利权人：上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备，旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆，能利用金刚线切割单晶硅。本发明采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳，利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳，从而使晶棒切割表面质量好；采用金刚线能减少环境污染，减小硅损耗；三工位及切断自动检测显著提高生产效率
单晶硅金刚进刀装置

[实用新型]一种单晶硅棒金刚线进刀装置-CN201620261846.5有效
发明人：朱亮;傅林坚;曹建伟;沈文杰;杨思炜;卢嘉彬;邱文杰;罗世铭;邱敏秀 -专利权人：上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备，旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆，能利用金刚线切割单晶硅。本实用新型采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳，利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳，从而使晶棒切割表面质量好；采用金刚线能减少环境污染，减小硅损耗；三工位及切断自动检测显著提高生产效率
一种单晶硅金刚进刀装置

[实用新型]一种金刚线收放线装置-CN201620256835.8有效
发明人：傅林坚;沈文杰;曹建伟;朱亮;杨思炜;卢嘉彬;邱文杰;何守龙;邱敏秀 -专利权人：上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅线切割加工设备辅助设备，旨在提供一种金刚线收放线装置。该种金刚线收放线装置包括收放线轮、导轨、滑块、排线组件底板、凸轮、弹簧限位块、排线电机安装座、排线组件盖板、弹簧螺杆、弹簧、弹簧限位柱、收放线电机、卷线电机盖板、卷线电机安装座、收放线轮连接座、收放线轮压盖本实用新型结构简单紧凑，使用本实用新型进行金刚线收放线，能够使金刚线均匀绕在收放线轮上；收放线时的排线均匀使金刚线在切割时极大的提高了切割平稳性，也即是提高了切割表面平整度，能有效减少金刚线损耗，提高使用寿命
一种金刚放线装置

[发明专利]具有超宽吸收放射差的纳米晶及其制法-CN201810374366.3有效
发明人：陈学仕;杨贻晴 -专利权人：陈学仕
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C09K11/02 文献下载
摘要：具有超宽吸收放射差的纳米晶及其制法，纳米晶包含光电半导体化合物所构成并包括掺杂区及未掺杂区的单晶体。第一化学结构式的能隙大于第二化学结构式，且掺杂区内部的掺质浓度足够低以致使单晶体具至少大于350nm的吸收放射差。通过掺杂区的第一化学结构式的能隙大于未掺杂区的第二化学结构式的能隙，与掺杂区的内部的掺质浓度足够低以致使单晶体的吸收放射差至少大于350nm以扩增纳米晶于下游应用端的广度。
具有吸收放射纳米及其制法

[发明专利]一种多刀头单晶硅截断机-CN202010397881.0有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;张航;谢罗炳;罗叶枫;周锋;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅切割技术领域，具体涉及一种多刀头单晶硅截断机。包括底架，底架上端面两端均设有进刀单元支撑组件，两个进刀单元支撑组件相对侧均设有第一直线运动机构，横梁框架两端与第一直线运动机构相连。横梁框架顶端设有第二直线运动机构，多个移动刀头组件设于横梁框架下方并与第二直线运动机构相连，金刚线从一侧的收放线组件绕出，依次绕过移动刀头组件上的切割导轮至另一侧的收放线组件。本发明实现一根或多根同时切割成多段的要求，单根可实现切割长约6米的单晶硅棒的需求。
一种刀头单晶硅截断

[发明专利]一种数控单晶硅剖方机-CN201810796577.6在审
发明人：杨昊;杨阳;杭菲;董海杰;朱培达 -专利权人：无锡上机数控股份有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种数控单晶硅剖方机，包括床身，所述床身上通过立柱设有沿其运动的工作台，立柱外顶部通过第一直线导轨连接有工作台移动机构，工作台的两端分别安装自动夹紧机构和自动分度旋转机构，自动夹紧机构上安装有晶线检测装置；床身的中部安装上、下料滑台机构，位于其一侧的床身上设有切割线架，位于上、下料滑台机构另一侧的床身上设有两个收放线架，分别固定于工作台的两侧，每个收放线架内下部安装有收放线机构，上部安装有排线模组、张力摆臂装置和第一过线轮，顶部安装有电箱；床身一侧安装废料输送机构，所述立柱的顶部安装有操纵箱；本发明提高了单晶硅开方的加工效率和质量，节约人力和生产成本，增加了经济效益。
单晶硅工作台床身立柱自动夹紧机构顶部安装滑台机构收放线架数控下料工作台移动机构废料输送机构收放线机构线检测装置加工效率旋转机构张力摆臂直线导轨自动分度开方操纵箱过线轮排线模切割线外顶部电箱生产成本节约

[实用新型]一种数控单晶硅剖方机-CN201821151388.5有效
发明人：杨昊;杨阳;杭菲;董海杰;朱培达 -专利权人：无锡上机数控股份有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种数控单晶硅剖方机，包括床身，所述床身上通过立柱设有沿其运动的工作台，立柱外顶部通过第一直线导轨连接有工作台移动机构，工作台的两端分别安装自动夹紧机构和自动分度旋转机构，自动夹紧机构上安装有晶线检测装置；床身的中部安装上、下料滑台机构，位于其一侧的床身上设有切割线架，位于上、下料滑台机构另一侧的床身上设有两个收放线架，分别固定于工作台的两侧，每个收放线架内下部安装有收放线机构，上部安装有排线模组、张力摆臂装置和第一过线轮，顶部安装有电箱；床身一侧安装废料输送机构，所述立柱的顶部安装有操纵箱；本实用新型提高了单晶硅开方的加工效率和质量，节约人力和生产成本，增加了经济效益。
单晶硅工作台床身立柱自动夹紧机构本实用新型顶部安装滑台机构收放线架数控下料工作台移动机构废料输送机构收放线机构线检测装置加工效率旋转机构张力摆臂直线导轨自动分度开方操纵箱过线轮排线模切割线外顶部电箱生产成本节约

[实用新型]单晶硅棒金刚线截断装置-CN201821609073.0有效
发明人：沈春来 -专利权人：杭州澳德精密机械有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型的目的是提供一种使用成本低、工件损耗小、工件截断效率高的单晶硅棒金刚线截断装置。为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种单晶硅棒金刚线截断装置，包括底座和框架，所述底座上设有若干工件放置座，底座左右两侧分别设有一个收放线筒，所述框架上设有若干主轴导轮和若干过渡导轮，切割线围绕在所述主轴导轮和过渡导轮上，且切割线的两端分别与一个收放线筒相连，所述收放线筒均配合有用于张紧切割线的第一驱动机构，所述主轴导轮与第二驱动机构联动，在所述第二驱动机构的作用下，所述切割线做往复运动，所述底座上设有用于使工件放置座上下移动的升降机构
切割线底座单晶硅棒截断装置收放线筒主轴导轮金刚线本实用新型工件放置过渡导轮驱动机构上下移动升降机构第一驱动机构左右两侧截断联动张紧配合

[发明专利]一种单晶炉氩气回收设备-CN202310955772.X有效
发明人：张正雄 -专利权人：上海联风气体有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种单晶炉氩气回收设备，包括依次连接的除尘装置、冷却分离装置、吸附装置、除碳装置、脱氧塔和纯化塔，除尘装置包括方形罐体、过滤膜和颗粒收集机构，罐体的上部设有进气管，罐体的下部设有出气管；颗粒收集机构包括第一驱动组件、收放辊和转运膜，罐体的外部设有容纳槽体，转运膜的下表面设有胶粘层，转运膜的上表面设有离型层，转运膜的一端与容纳槽体固定连接，转运膜的另一端缠绕固定于收放辊上；第一驱动组件的驱动端与收放辊可拆卸连接，第一驱动组件用于带动收放辊沿过滤膜长度方向往复移动，收放辊沿远离容纳槽体方向移动的过程中逐步放卷转运膜。
一种单晶炉氩气回收设备

[发明专利]<110>无位错硅单晶的制造方法-CN200610129891.6有效
发明人：沈浩平;汪雨田;胡元庆;尚伟泽;周建华;李翔;李海静 -专利权人：天津市环欧半导体材料技术有限公司
申请日： 2006-12-06 - 公布日： 2007-07-11 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及硅单晶的拉晶工艺，特别涉及一种适用于半导体和太阳能光电器件的<110>无位错单晶的制造方法以及对在制造方法过程中使用的石墨热系统的改进。该方法包括如下步骤：(1).在引晶工艺中，引晶直径应≥5mm，其收放比例为100％，引晶拉速应≥5mm/min，引晶长度为150－300mm；(2).在放肩工艺中，放肩速度为0.2～1.5mm/min；(3).在等径工艺中，单晶头部拉速应为1.0－3.0mm/min，尾部拉速应为0.5－2.0mm/min；(4).在收尾工艺中，单晶收尾长度应大于晶体的直径，收尾最小直径应≤10mm。制造<110>无位错硅单晶的石墨热系统的上保温筒的保温层厚度为20～30mm，下保温筒的保温层厚度为60～70mm，炉底护盘的保温层厚度为70～80mm。本发明成功实现了生产<110>无位错单晶，从而满足了国内外市场对<110>无位错单晶的需求。
110 无位错硅单晶制造方法

[发明专利]金刚线单晶硅棒切方设备-CN201610158042.7有效
发明人：傅林坚;何守龙;曹建伟;沈文杰;朱亮;卢嘉彬;邱文杰;沈加富;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供金刚线单晶硅棒切方设备。该金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒
金刚单晶硅棒切方设备

[实用新型]一种金刚线单晶硅棒切方设备-CN201620213665.5有效
发明人：傅林坚;何守龙;曹建伟;沈文杰;朱亮;卢嘉彬;邱文杰;沈加富;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供一种金刚线单晶硅棒切方设备。该种金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒
一种金刚单晶硅棒切方设备

[发明专利]一种单晶硅片成品存放架-CN201811434643.1在审
发明人：周伟平 -专利权人：江苏晶成光学有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅片成品存放架，包括底座，所述底座的上端固定连接设有液压柱，所述液压柱的上端连接设有支撑板，所述支撑板的上端面连接设有存放架，所述存放架的一侧设有挡板，所述存放架设为J形，所述存放架的中部设为弯曲内凹的圆弧形结构本发明与现有技术相比的优点在于：本单晶硅片成品存放架支撑稳定，能够进行升降调整，能够快速收放成品，同时可以方便观察存放情况。
存放架单晶硅片圆弧形结构液压柱支撑板底座隔板上端固定升降调整支撑稳定挡板上端面上端内凹收放架设观察

[实用新型]一种用于全自动晶棒单线截断机的进刀装置-CN201721213238.8有效
发明人：曹建伟;沈文杰;卢嘉彬;张正良;邱文杰;陈志聪;徐开涛;李林 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：一种用于全自动晶棒单线截断机的进刀装置，包括龙门架、竖直丝杆组件、竖直导轨组件、进刀单元背板和导轮组件；所述龙门架还安装有两个收放线单元组件和两个排线组件，所述收放线单元组件中的一个作为缠绕金刚线的起点，另一个作为缠绕金刚线的终点；所述收放线单元组件和排线组件分别对称的设置在龙门架的两个立杆的侧面上，且收放线单元组件和排线组件是分开的；所述龙门架的两个立杆的侧面还分别对称设有中主轴导轮组件，所述中主轴导轮组件位于所述排线组件的上方；本实用新型可以同时对3根单晶硅棒进行切割，切割效率更高，切割速度更快。
一种用于全自动单线截断进刀装置

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