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- [发明专利]静电吸盘及处理装置-CN202010143616.X在审
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白石纯;西愿修一郎;森达哉;渡边仁弘;佐佐木雄基
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TOTO株式会社
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2020-03-04
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2020-09-15
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H01L21/683
- 本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、向所述第1主面开口的槽；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述气体导入路之间，所述陶瓷电介体基板具有多个孔，其连通所述槽与所述气体导入路，在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向上穿通所述陶瓷电介体基板，所述第1多孔质部具有：多孔区域，具有多个孔；及致密区域，比所述多孔区域更致密，所述多孔区域还具有致密部，当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时，设置于所述陶瓷电介体基板的所述多个孔的至少1个构成为与所述致密部的至少1个发生重叠。
- 静电吸盘处理装置
- [发明专利]固体电解电容器的制造方法-CN02107712.6有效
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青山达治;小岛浩一
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松下电器产业株式会社
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2002-02-19
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2002-09-25
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H01G9/15
- 本发明的固体电解电容器的制造方法解决了由于在阳极氧化中产生的气体等从而在阳极外表面上形成的介电体氧化保护膜层变得不均匀、漏电流特性以及介电体氧化保护膜层强度下降的问题,并能形成均匀的介电体氧化保护膜、能稳定和发挥较好的性能本发明在阳极氧化过程中,通过设置暂时从阳极电镀液中捞出阳极进行热处理之后,将该阳极再次返回电镀液中进行阳极氧化的热处理过程,能够形成介电体氧化保护膜内的缺陷部分以及不纯物变少的均匀的介电体氧化保护膜。其结果,可以减少漏电流并提高介电体氧化保护膜层的耐压,并提供比较高性能高可靠度的固体电解电容器。
- 固体电解电容器制造方法
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