专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]扩散阻障结构、导电迭层及其制法-CN201811140140.3有效
  • 卫子健;王伟彦 - 卫子健
  • 2018-09-28 - 2021-07-06 - H01L23/532
  • 本发明公开一种扩散阻障结构、导电迭层及其制法。导电迭层包括一基板、一扩散阻障结构以及一导电层,扩散阻障结构形成于基板和导电层之间,扩散阻障结构包括一非连续改质层以及一阻障层,非连续改质层设置于所述基板上,所述非连续改质层的材料是一具有亲水基的高分子;阻障层设置于所述基板和所述非连续改质层上,所述阻障层的材料至少包括一自修复高分子。扩散阻障结构可阻障金属原子的扩散,避免导电迭层在加工热处理时,因温度升高导致导电迭层的特性退化或毁损。
  • 扩散阻障结构导电及其制法
  • [发明专利]半导体装置及其形成方法-CN200810211829.0有效
  • 李香寰;李明翰;叶名世;余振华 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2008-09-09 - 2009-09-02 - H01L21/768
  • 本发明是有关于一种半导体装置及其形成方法,该一种半导体接触结构包括铜插塞及复合阻障层,铜插塞是形成在介电材料中的双镶嵌、单镶嵌、或其它开口部之中,而复合阻障层是位在铜插塞及开口部的侧壁与底面之间。虽然其它适当的原子层沉积层亦可使用,但复合阻障层较佳是包含位在开口部的底面、且沿着开口部的侧边以原子层沉积层法所形成的氮化钽层,阻障材料是位在铜插塞及原子层沉积层之间;阻障层可为锰基阻障层、铬基阻障层、钒基阻障层、铌基阻障层、钛基阻障层、或其它适当的阻障层层;应用本发明的优点为,在特征尺寸持续减缩的半导体制造工业中,借着降低半导体装置中传导结构的电阻值及提高可靠度,可改善半导体装置整体速度表现。
  • 半导体装置及其形成方法

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