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[发明专利]阵列波导光栅及具有该阵列波导光栅的可调谐激光器-CN201480077957.4有效
发明人：高磊;王寅;曹权 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：一种阵列波导光栅(30)及具有该阵列波导光栅(30)的可调谐激光器(1000)，该阵列波导光栅(30)包括输入耦合器(31)、第一阵列波导区(33)及第二阵列波导区(34)，所述第一阵列波导区(33)包括多个第一波导(331)，且相邻的所述第一波导(331)具有第一光程差，所述第二阵列波导区(34)包括多个第二波导(341)，且相邻的所述第二波导(341)具有第二光程差，其中，所述第一光程差不等于所述第二光程差。
阵列波导光栅具有调谐激光器

[发明专利]用于光学相控阵的波导光栅天线阵列及其制备方法-CN202011529276.0有效
发明人：吴蓓蓓;金里;路侑锡;刘其鑫 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明提供一种用于光学相控阵的波导光栅天线阵列及其制备方法，包括：衬底；位于衬底上的波导光栅天线阵列，每条波导光栅天线包括基体波导和若干个光栅齿；覆盖层，覆盖于波导光栅天线阵列及衬底上，且位于波导光栅天线阵列上的覆盖层呈空间曲面形状，覆盖层的折射率介于波导光栅天线与空气的折射率之间。通过在波导光栅天线上覆盖覆盖层，且使位于波导光栅天线上的覆盖层呈空间曲面形状，当从波导光栅天线出射的光束经过曲面部和空气的界面时，根据光的折射定律，光束出射角将变大，使从波导光栅天线出射的光功率分布至更大的角度范围
用于光学相控阵波导光栅天线阵列及其制备方法

[发明专利]一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器-CN201910231592.0在审
发明人：方青;顾苗苗;陈晓铃;张志群 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该微环集成的阵列波导光栅波分复用器，从下至上包括硅衬底、隔离层、波导层、上包层、加热电极和电极引线，所述波导层包括阵列波导光栅、若干个传输波导和若干个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中设有若干个输出波导，每个输出波导均通过一个传输波导连接一个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中若干个输出波导依次通过若干个传输波导连接若干个微环谐振滤波器组成微环集成的阵列波导光栅波分复用器。
阵列波导光栅微环波分复用器谐振滤波器传输波导输出波导波导层光信号传输电极引线二次滤波加热电极隔离层硅衬底上包层总损耗串扰滤波半导体

[实用新型]一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器-CN201920388456.8有效
发明人：方青;顾苗苗;陈晓铃;张志群 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该微环集成的阵列波导光栅波分复用器，从下至上包括硅衬底、隔离层、波导层、上包层、加热电极和电极引线，所述波导层包括阵列波导光栅、若干个传输波导和若干个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中设有若干个输出波导，每个输出波导均通过一个传输波导连接一个微环谐振滤波器，阵列波导光栅中若干个输出波导依次通过若干个传输波导连接若干个微环谐振滤波器组成微环集成的阵列波导光栅波分复用器。
一种集成阵列波导光栅波分复用器

[发明专利]一种低窜扰的阵列波导光栅-CN201610918021.0有效
发明人：邹俊;乐孜纯 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：一种低窜扰的阵列波导光栅，包括输入波导区、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导区和输出波导区，输入波导区的各输入波导末端位于一个输入罗兰圆上并指向阵列波导区的输入面中心，阵列波导区的各阵列波导输入端位于一个输入光栅圆上并指向输入波导区的输出面中心，同时输入罗兰圆和输入光栅圆相切于输入平板波导区和阵列波导区交界线的中心；阵列波导区中的各相邻阵列波导之间的长度差为ΔL；各阵列波导的输入端中心点在输入光栅圆上的位置点投影到切线上，且相邻投影点的距离均相等，距离为固定值da；输出平板波导区和输出波导区的结构与输入波导区和输入平板波导区相同。
一种窜扰阵列波导光栅

[实用新型]一种低窜扰的阵列波导光栅-CN201621143930.3有效
发明人：邹俊;乐孜纯 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：一种低窜扰的阵列波导光栅，包括输入波导区、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导区和输出波导区，输入波导区的各输入波导末端位于一个输入罗兰圆上并指向阵列波导区的输入面中心，阵列波导区的各阵列波导输入端位于一个输入光栅圆上并指向输入波导区的输出面中心，同时输入罗兰圆和输入光栅圆相切于输入平板波导区和阵列波导区交界线的中心；阵列波导区中的各相邻阵列波导之间的长度差为ΔL；各阵列波导的输入端中心点在输入光栅圆上的位置点投影到切线上，且相邻投影点的距离均相等，距离为固定值da；输出平板波导区和输出波导区的结构与输入波导区和输入平板波导区相同。
一种窜扰阵列波导光栅

[发明专利]基于氮化硅光波导的可调微波光子真延时芯片及其制备方法-CN201910117646.0在审
发明人：张彦峰;卢杰筠;陈钰杰;陈晖;余思远 -专利权人：中山大学
申请日： 2019-02-15 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于氮化硅光波导的可调微波光子真延时芯片及其制备方法，其包括阵列波导光栅、若干个不同长度的螺旋线；阵列波导光栅包括中心输入波导、输入波导、第一平板波导耦合器、阵列波导、第二平板波导耦合器、中心输出波导、输出波导；中心输入波导依次与第一平板波导耦合器、阵列波导、第二平板波导耦合器、中心输出波导连接；以阵列波导为中心，螺旋线对称的排列在阵列波导的上下侧，并与阵列波导光栅上下侧对应的输入波导的一端、输出波导的一端相连接；输入波导的另一端、输出波导的另一端分别与第一平板波导耦合器、第二平板波导耦合器连接；所述阵列波导光栅与螺旋线以回环的方式形成闭环结构，螺旋线之间采用上下错位布局。
平板波导耦合器输出波导阵列波导光栅阵列波导波导输入波导螺旋线氮化硅光微波光子延时芯片中心输入可调制备闭环结构上下错位线对称回环

[发明专利]光学传感器寻址芯片、模组、测量系统及测量方法-CN202111181120.2在审
发明人：刘晓海;俞童 -专利权人：欧梯恩智能科技(苏州)有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本申请提供一种光学传感器寻址芯片、模组、测量系统及测量方法，该寻址芯片包括主光波导入接口、主光波导出接口、第一阵列波导光栅、第二阵列波导光栅、连接波导、第一耦合器、第二耦合器、多个第一副光波导出接口及多个第二副光波导出接口第一阵列波导光栅与主光波导入接口连接；第二阵列波导光栅与主光波导出接口连接；连接波导一端与第一阵列波导光栅连接，另一端与第二阵列波导光栅连接；第一耦合器与连接波导连接；第二耦合器与连接波导连接；多个第一副光波导出接口与第一耦合器连接；多个第二副光波导出接口与第二耦合器连接。
光学传感器寻址芯片模组测量系统测量方法

[发明专利]基于阵列波导光栅结构的聚合物波导光开关阵列-CN200610098251.3无效
发明人：胡国华;崔一平;恽斌峰;钟嫄 -专利权人：东南大学
申请日： 2006-12-05 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：基于阵列波导光栅结构的聚合物波导光开关阵列涉及一种单波长的聚合物材料波导光开关阵列器件，该波导光开关阵列中：输入平板波导(12)的输入端与输入波导(11)的输出端连接，输入平板波导(12)的输出端连接由弯曲波导组成的阵列波导光栅(13)的输入端；在阵列波导光栅(13)的顶部设有电流控制的电极组(16)，在电极组的两端连接有电流输入引线(18)和电流输出引线(19)共同构成温度控制装置，输出平板波导(14)的输入端与阵列波导光栅(13)的输出端连接，输出平板波导的输出端接输出波导(15)的输入端，该器件在同一个波长的信号输入下，通过不同电流的控制，实现光开光阵列的功能。此器件将减小常规级联结构光开关阵列的尺度，简化器件的驱动装置。
基于阵列波导光栅结构聚合物开关

[发明专利]基于平面阵列波导光栅结构的多通道光发射器-CN202110231247.4在审
发明人：陈亦凡;郑睿 -专利权人：苏州易锐光电科技有限公司;易锐光电科技（安徽）有限公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面阵列波导光栅结构的多通道光发射器，涉及激光发射器技术领域，多通道光发射器包括：多波长光源、n个光调制器以及阵列波导光栅；多波长光源和n个光调制器均基于平面波导与阵列波导光栅耦合相连；多波长光源用于产生包括n种波长的光信号，将n种波长的光信号通过波导传输至阵列波导光栅；阵列波导光栅将接收到的光信号进行分束得到n路光信号，将每路光信号通过耦合输出至一个光调制器；每个光调制器对接收到的光信号进行调制，并将调制后的光信号传输至阵列波导光栅；阵列波导光栅对接收到的各个光调制器返回的光信号进行合束之后进行输出。
基于平面阵列波导光栅结构通道发射器

[发明专利]一种基于交错结构的大通道波分复用器-CN202211004586.X在审
发明人：方青;刘世平;赵顺才;陈华;马晓悦;胡鹤鸣 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、器件层和器件的SiO2上包层，所述器件层分别为微环谐振器、移相器、传输波导和阵列波导光栅，移相器加载在微环上，微环谐振器通过传输波导与上下两个阵列波导光栅相连本发明通过微环谐振器级联两个输出通道波峰交错的波导阵列光栅，微环直通端的谐振波峰和下阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，微环谐振器下载端的谐振波峰与上阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，且上阵列波导光栅与下阵列波导光栅的输出波峰交错排列
一种基于交错结构通道波分复用器

[实用新型]一种大通道波分复用器-CN202222202729.X有效
发明人：方青;刘世平;赵顺才;陈华;马晓悦;胡鹤鸣 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大通道波分复用器，从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、器件层和器件的SiO2上包层，所述器件层分别为微环谐振器、移相器、传输波导和阵列波导光栅，移相器加载在微环上，微环谐振器通过传输波导与上下两个阵列波导光栅相连。本实用新型通过微环谐振器级联两个输出通道波峰交错的波导阵列光栅，微环直通端的谐振波峰和下阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，微环谐振器下载端的谐振波峰与上阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，且上阵列波导光栅与下阵列波导光栅的输出波峰交错排列
一种通道波分复用器

[发明专利]一种阵列波导光栅实现均匀偏振补偿的方法-CN201110219194.0有效
发明人：何建军;邹俊;郎婷婷 -专利权人：浙江大学
申请日： 2011-08-02 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列波导光栅实现均匀偏振补偿的方法。该光程差由阵列波导区和平板波导区的光程差共同决定，采用对阵列波导区中的两种偏振态使用不同的衍射级次并结合平板波导区的几何双折射性质来补偿阵列波导区的几何双折射性质。平板波导区与阵列波导区的几何形状由所选波导材料、波导结构和对各通道波长的偏振色散要求共同决定。本发明实现了对阵列波导光栅各输出通道波长的均匀偏振色散补偿，解决偏振色散补偿方法不能实现的均匀偏振色散补偿和造成的器件性能变差，结构复杂等问题，该方法适用于具有双折射的各种波导材料和各种波导结构的阵列波导光栅，特别适用于具有较大几何双折射的硅纳米线阵列波导光栅，具有制作简单、成本低等优点。
一种阵列波导光栅实现均匀偏振补偿方法

[发明专利]阵列波导光栅芯片与半导体光放大器芯片倒装集成的方法-CN201210541783.5无效
发明人：马卫东;丁丽;李迪;赵建宜;朱虎;陈昊;王宁 -专利权人：武汉光迅科技股份有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： H01S5/026 文献下载
摘要：本发明公开了阵列波导光栅芯片与半导体光放大器芯片倒装集成的方法，包括如下步骤：设计制作出适于集成的阵列波导光栅芯片；在阵列波导光栅芯片上制作出定位区域；在阵列波导光栅芯片上的定位区域制作出对准标记；在阵列波导光栅芯片上的定位区域制作出电极；将半导体放大器芯片的对准标记同定位区域的对准标记对准后，将半导体放大器芯片倒装焊在阵列波导光栅芯片的定位区域上；采用本发明提供的方法可以使SOA芯片集成在AWG芯片的衬底上，提高了器件的可靠性，同时简化了集成工艺
阵列波导光栅芯片半导体放大器倒装集成方法

[发明专利]一种机械补偿式无热阵列波导光栅及其制备工艺-CN202310959266.8在审
发明人：黄剑美;刘飞荣 -专利权人：深圳市飞宇光纤股份有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种波分复用系统技术，具体是一种机械补偿式无热阵列波导光栅及其制备工艺,该波导光栅包括输入光纤阵列、输出光纤阵列、芯片、补偿基座；输入光纤阵列与芯片的输入波导连接；输出光纤阵列与芯片的输出波导连接；芯片固定于补偿基座上端，并与输入光纤阵列及输出光纤阵列连接；补偿基座作为芯片的支撑底层；补偿基座上设置机械补偿结构。将无热阵列波导光栅的芯片分割为两部分，设置机械补偿结构使分割后的两个部分在温度变化时产生相对移动，从而补偿无热阵列波导光栅的芯片波长由温度引起的偏移。补偿后的无热阵列波导光栅输出中心波长随温度变化规律，为非线性关系。通过机械方式进行补偿，波导光栅能够在工作温度范围内正常工作，实现其中心波长能够稳定于合理范围内。
一种机械补偿式无热阵列波导光栅及其制备工艺