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[实用新型]内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置-CN201120272666.4有效
发明人：赵智忠;王丽君 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2011-07-29 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01H33/668 文献下载
摘要：本实用新型是一种内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置。它包括真空灭弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电路，冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内部，冷阴极真空规管封接在真空灭弧室静端盖板的内侧，与真空灭弧室成为一体，在灭弧室的静端盖板引出测量电极；阴极为两块不锈钢平板并相对放置本实用新型适用于真空灭弧室直径大于120mm的所有电压等级的真空灭弧室，适用于外壳材料是玻璃或陶瓷的真空灭弧室。
内置阴极真空灭弧室测量装置

[发明专利]一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法-CN202310386885.2在审
发明人：陈美艳;沈丽如;唐德礼;蒲世豪;李民久 -专利权人：核工业西南物理研究院;中核同创（成都）科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法，包括真空室；柱状阴极弧源，置于管状工件内部，与管状工件一起固定连接于真空室顶部；加热系统，装配于真空室上，用于对管状工件进行加热；阴极弧电源，连接于柱状阴极弧源以形成回路；电抗器，串联接入柱状阴极弧源与阴极弧电源、真空室形成的回路中；非对称双极性脉冲偏压电源，作为工件偏压具有输出电极A和输出电极B，输出电极A、B分别连接管状工件、真空室。采用电抗器的稳弧作用，再结合非对称双极性脉冲偏压电源的正、负脉冲周期性输出特性，解决半封闭环境中阴极弧源放电的“阳极消失”问题，实现内置式柱状阴极弧源长期稳定工作，工艺简单稳定，设备结构简单，镀膜效率高
一种用于管状工件内壁镀膜装置方法

[实用新型]带过滤屏的阴极弧离子镀装置-CN201120008051.0有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：超晶科技有限公司
申请日： 2011-01-12 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C23C14/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其目的在于提供一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，能够能效的抑制金属液滴的产生，且能过滤阴极弧源产生的较大颗粒的金属液滴，获得较高表面质量的金属氮化物涂层，设备简单本实用新型包括真空室、电源与控制装置和供气设备，真空室上连有抽真空设备和循环水冷却设备，真空室内设有旋转工件支架，所述真空室侧壁上均布有多个前端与真空室连通的阴极弧源，阴极弧源分别与电源与控制装置和供气设备连接，阴极弧源的前端口上设有网状过滤屏。
过滤阴极离子镀装置

[实用新型]一种带真空传感器的真空灭弧室-CN201020221516.6有效
发明人：王军;肖红 -专利权人：成都凯赛尔电子有限公司
申请日： 2010-06-09 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带真空传感器的真空灭弧室，包括真空灭弧室管体，在真空灭弧室管体静端安装有一真空传感器，该真空传感器外设有瓷壳，所述瓷壳的外壁均匀开有凹槽，瓷壳底面和顶面分别钎焊有一阳极密封帽和阴极密封筒，所述阴极密封筒钎焊在真空灭弧室管体上，在瓷壳内设置有阳极板，在阴极密封筒内安装有一个倒U形的阴极板，该阴极密封筒的外壁相对两侧与通孔对应位置处还分别固定连接有一永磁铁。本实用新型阴极板呈倒U形，在安装时更加方便，瓷壳外壁开有数条凹槽，能提高绝缘效果，真空灭弧室管内真空压强信号通过真空传感器的阳极密封帽处引出并提供给在线监测装置，就可实现真空灭弧室管内压强的在线监测。
一种真空传感器灭弧室

[发明专利]一种多弧离子镀阴极装置-CN201910349838.4在审
发明人：崔岸;黄显晴;刘天赐;杨伟丽;徐晓倩;孙文龙;郝裕兴 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内；多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接；凹型矩形靶固定在多弧阴极体上；电磁铁设置有多个；多弧阴极底座的两端安装绝缘密封电极，多弧阴极底座一端安装引弧装置；绝缘密封电极分别与多个电磁铁连接；控制系统调节多个电磁铁线圈的电流幅值。本发明提供了一种多弧离子镀阴极装置，通过计算机对磁场进行智能控制，使镀膜更加均匀致密，提高镀膜层均匀性和镀膜效率。
多弧离子镀阴极装置阴极底座阴极体电磁铁真空腔体装置绝缘密封电极电磁铁线圈绝缘支撑柱镀膜效率均匀致密控制系统阴极电源引弧装置智能控制镀膜层矩形靶均匀性阳极板凹型镀膜磁场计算机

[发明专利]一种硬质涂层的快速沉积装置及方法-CN201410186643.X在审
发明人：宋忠孝;雷哲锋;邢聪;程亮亮;宋佳豪 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种硬质涂层的快速沉积装置及方法，该装置包括阴极弧源以及开设进气口的真空腔体；真空腔体与真空系统相连，真空腔体与阴极弧源之间设有用于聚束腔体；聚束腔体与真空腔体相连通，且聚束腔体内设置有待测样，待测样与阴极弧源之间设有靶材，阴极弧源的电源正极分别与真空腔体和偏压电源的正极相连，阴极弧源的电源正极、真空腔体、偏压电源的正极分别接地。该方法为对真空系统抽真空，并利用氩气和反应气清洗真空系统，然后对待测样的表面进行辉光清洗，然后在其表面沉积过渡金属层，接着沉积硬质涂层。
一种硬质涂层快速沉积装置方法

[实用新型]一种多弧离子镀阴极装置-CN201920596788.5有效
发明人：崔岸;黄显晴;刘天赐;杨伟丽;徐晓倩;孙文龙;郝裕兴 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内；多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接；凹型矩形靶固定在多弧阴极体上；电磁铁设置有多个，且均匀排布于多弧阴极体底座上；多弧阴极底座的两端安装绝缘密封电极，多弧阴极底座一端安装引弧装置；绝缘密封电极分别与多个电磁铁连接；控制系统调节多个电磁铁线圈的电流幅值。本实用新型提供了一种多弧离子镀阴极装置，通过计算机对磁场进行智能控制，使镀膜更加均匀致密，提高镀膜层均匀性和镀膜效率。
一种离子镀阴极装置

[实用新型]一种射频放电引燃真空电弧起弧装置-CN202122203641.5有效
发明人：许建平;陈晶;李青川;潘岩;陈昊 -专利权人：黑龙江省海振科技有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B23K9/067 文献下载
摘要：一种射频放电引燃真空电弧起弧装置。本实用新型为了提高已有空心阴极真空电弧起弧稳定性。本实用新型包括空心阴极、射频电源、电弧电源、电感线圈、陶瓷绝缘帽、阴极法兰、绝缘垫、阴极夹等，阴极法兰通过绝缘垫与真空室绝缘密封连接，陶瓷绝缘帽与阴极夹螺纹连接，电感线圈串联至射频电源阴极与空心阴极的回路，射频电源和电弧电源的共同阴极和阳极分别连接空心阴极和工件。本实用新型具有稳定性起弧的特点。
一种射频放电引燃真空电弧装置

[发明专利]内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置-CN201110214982.0有效
发明人：赵智忠;王丽君 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2011-07-29 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： H01H33/668 文献下载
摘要：本发明是一种内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置。它包括真空灭弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电路，冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内部，与真空灭弧室成为一体，在灭弧室的静端盖板引出测量电极。用于真空开关停电检修时测量真空度，避免了强电磁场对测量的干扰，又能满足渐变量真空度的定期测量的要求。真空开关带电工作时，规管处于断电不用的状态；规管的结构、位置的设计也充分考虑到规管置入对电场的微扰尽可能小。本发明适用于真空灭弧室直径大于120mm的所有电压等级的真空灭弧室，适用于外壳材料是玻璃或陶瓷的真空灭弧室。
内置阴极真空灭弧室测量装置

[实用新型]一种不锈钢表面离子渗硅装置-CN201520574188.0有效
发明人：陈俊卫;牧灏;蒋震 -专利权人：贵州电力试验研究院
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： C23C10/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种不锈钢表面离子渗硅装置，包括具有抽气口和硅烷气体进口的真空腔体；真空腔体内设有阴极腔体和不锈钢靶，阴极腔体通过绝缘材料与真空腔体连接，不锈钢靶位于阴极腔体上方并通过绝缘材料与阴极腔体连接，真空腔体内设有与不锈钢靶面接触的引弧针，引弧针通过控制线圈与直流电源连接；阴极腔体内通有冷却水，阴极腔体内设有控弧永磁铁，控弧永磁铁位于不锈钢靶后并浸泡在冷却水中；阴极腔体和真空腔体通过稳弧电源连接。
一种不锈钢表面离子装置

[发明专利]一种电弧钛泵及包括该电弧钛泵的真空抽气机组-CN201010279635.1无效
发明人：储继国 -专利权人：储继国
申请日： 2010-09-13 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本发明适用于真空获得技术领域，公开了一种电弧钛泵及包括该电弧钛泵的真空抽气机组。电弧钛泵包括泵壳、捕集板、阴极弧源构件及电源，捕集板设于泵壳的内侧壁，阴极弧源构件固设于泵壳内，泵壳和阴极弧源构件均呈圆柱状，阴极弧源构件与泵壳同轴设置。所述真空抽气机组包括真空室，真空室上连接有分子泵、前级泵、粗抽泵和上述的电弧钛泵。本发明提供的电弧钛泵可使阴极弧源构件所蒸散出的原子形成厚度均匀的活性薄膜，提高阴极弧源构件的利用率，从而提高抽速及抽气流量、降低能耗和运行成本。本发明提供的真空抽气机组，可取代目前的高能耗、高油蒸汽污染的大型扩散泵+罗茨泵抽气机组，获得清洁真空，节省抽气能耗、降低运行费用。
一种电弧包括真空抽气机

[发明专利]大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源-CN91103541.9无效
发明人：吴振华;黄经筒;游本章;任侠 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 1991-06-01 - 公布日： 1995-08-23 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明涉及的大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源，是真空电弧离子镀膜机的核心部件，由主弧电源、阴极、含电磁线路的磁路、水冷和点弧极组成，特点主弧电源≥150A，电磁线圈为可调电流的电磁线圈，阴极为圆形阴极或复合阴极，在≥150A的大电弧电流和与之匹配的磁场下工作时，电弧弧根分裂为几个小弧斑，在几乎整个阴极表面上作多轨迹旋转，阴极表面烧蚀均匀，镀膜沉积速率提高2-3倍，采用环形阴极，横向磁场增加，弧斑旋转速度更高，能基本消除金属液滴，阴极材料利用率更高。
电流多弧斑受控真空电弧蒸发

[发明专利]类金刚石涂层活塞环的制备方法-CN201210425959.0无效
发明人：王星;张洪涛;陈春;程伟胜 -专利权人：安庆帝伯格茨活塞环有限公司
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种类金刚石涂层活塞环的制备方法，将活塞环表面进行丙酮超声波清洗后低温烘干，装夹入磁过滤真空阴极弧炉，磁过滤真空阴极弧炉包括真空阴极弧装置，该真空阴极弧装置的入口设置L型磁过滤真空管道，将装有高纯石墨的阴极靶安装在L型磁过滤真空管道的入口处，L型磁过滤真空管道的外围安装偏向磁圈；磁过滤真空阴极弧炉抽真空后升温至160～220℃，再通入本底气体高纯氩气，通入电压电流，对活塞环外圆面镀膜后，排气，降温；经抛光、清洗、
金刚石涂层活塞环制备方法

[发明专利]一种基于多阳极结构的真空弧推进器-CN201811191261.0有效
发明人：崔伟胜;刘文正;高永杰 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： F03H1/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基于多阳极电极结构的真空弧推进器，包括：阴极结构、多阳极结构和绝缘部件。阴极结构外接负高压，多阳极结构接地。阴极结构为带锥状的圆柱型结构，用于生成金属等离子体。多阳极结构包括第一阳极和第二阳极：第一阳极为喷嘴状，外覆绝缘介质包裹；第二阳极为环状，置于与阴极结构间隔预设距离的位置。第一阳极、第二阳极与阴极结构圆锥体中心轴线重合。多阳极结构可实现长间隙真空击穿，形成真空金属弧；绝缘部件为圆筒状，包覆于阴极结构的外部，并嵌置于第一阳极的内部，对阴极结构和第一阳极进行绝缘和机械固定。本发明提出的真空弧推进器，可减少等离子体径向扩散，改善真空弧推进器的推进性能。
一种基于阳极结构真空推进器

[实用新型]多弧离子真空镀膜机-CN201721690225.X有效
发明人：田琳;夏虎;施戈 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多弧离子真空镀膜机，包括腔室、抽真空系统和多弧靶组件，腔室内设有旋转架组件，旋转架组件上安装有工作台，旋转架组件用于带动工作台在腔室内转动，工作台用于安装工件；抽真空系统与腔室连接；多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个阴极多弧靶座上设有永磁铁，每个阴极多弧靶座的内端通过直管磁场叠加装置与腔室密封连接，且阴极多弧靶座的内端连接有套设于直管磁场叠加装置内的靶材座，靶材座用于安装靶材，每个阴极多弧靶座上均设有引弧装置，引弧装置的引弧针能够接触靶材，直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。该多弧离子真空镀膜机，能有效过滤掉涂层中的大颗粒，使涂层致密光亮，性能优良。
阴极靶材靶座旋转架组件真空镀膜机磁场叠加工作台直管离子抽真空系统引弧装置靶组件内端腔室室内本实用新型安装工件变化磁场腔室密封致密光亮大颗粒引弧针永磁铁转动过滤

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