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- [发明专利]氧化铟锡薄膜表面粗化方法-CN202111247698.3在审
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李云鹏;董乔
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-10-26
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2022-01-28
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H01L51/52
- 本发明提供一种氧化铟锡薄膜表面粗化方法,包括准备阶段和粗化阶段,其中,准备阶段将制备有氧化铟锡薄膜的晶圆放置于采用微波等离子体源的工艺腔室内,通入氧气与水蒸气,在第一工艺条件下使工艺腔室内形成氧气与水蒸气混合的气氛;粗化阶段,通入氧气与水蒸气,在第二工艺条件下使水蒸气解离生成氢自由基,并使氧气解离生成氧自由基,氢自由基用于还原氧化铟锡中的铟离子和锡离子,氧自由基用于将还原后的铟和锡氧化,通过控制氢自由基和氧自由基的比例,使氧化铟锡薄膜表面粗化。本发明提供的氧化铟锡薄膜表面粗化方法,能够提高氧化铟锡薄膜表面粗化的适用性,并提高粗化程度的可控性。
- 氧化薄膜表面方法
- [发明专利]镀锡基合金铜包钢线-CN201310577581.0在审
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闵雁
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张家港市星河电子材料制造有限公司
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2013-11-19
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2014-03-26
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H01B1/02
- 本发明公开了一种镀锡基合金铜包钢线,所述镀锡基合金铜包钢线的直径为0.2-0.4mm,包括钢芯、铜层和锡基合金层,所述铜层包覆在所述钢芯上,所述铜层厚度为20-30μm,所述锡基合金层镀于所述铜层上,所述锡基合金层厚度为3-6μm,所述钢芯材料为低碳钢,所述低碳钢中碳含量不超过0.2%,所述铜层采用含量为99.95%以上的无氧铜,所述锡基合金层采用锡铅合金。通过上述方式,本发明镀锡基合金铜包钢线成本低,且具有良好的焊接性、导电性和的耐腐蚀性。
- 镀锡合金包钢
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