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[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用-CN201711310758.5在审
发明人：程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用，其中，铝钪合金靶坯包括0.1‑15重量份的钪，85‑99.9重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。此外，上述铝钪合金靶坯还具有靶坯晶粒粒度均匀的优点。
合金及其制备方法应用

[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用-CN201711308051.0在审
发明人：程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。
合金及其制备方法应用

[发明专利]高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法-CN202310711910.X在审
发明人：蔡新志;张磊;冉成义;苏紫珊;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于合金靶材制备技术领域，公开了高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：（1）按照铝钪合金靶坯中设计的钪含量、铝含量称取金属钪和金属铝，并将金属钪和金属铝混合熔炼，得到合金熔液；（2）将合金熔液浇铸到模具内，然后冷却成型，得到铸坯Ⅰ；合金熔液在模具中冷却的速度为50~100℃/min；（3）铸坯Ⅰ经打磨后再次熔炼，然后浇铸到模具内，冷却成型，得到铸坯Ⅱ；所述冷却的速度为3~12℃/min；（4）真空热处理步骤（3）得到的铸坯Ⅱ。本发明制备得到的高钪含量的铝钪合金靶坯上下面的铝钪粒子晶粒尺寸大小均匀，靶坯成分均匀、纯度高、成品氧含量可以控制小于200ppm且靶坯不易开裂。
含量合金制备方法

[发明专利]高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法-CN202010992890.4在审
发明人：陈力学 -专利权人：长沙神弧离子镀膜有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法，步骤包括（1）制取自耗熔炼的坯棒：将铝颗粒与块状钪混合后压坯，获得坯棒；该坯棒的密度是60%—70%，铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%；（2）自耗熔炼：将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼，获得粗坯；（3）电子轰击熔炼炉熔炼：将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼，获得高钪铝钪合金靶材或粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺，克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷，利用各相关工艺的优点实现协同作用，可以制备出高品质的高钪铝钪合金靶材，或为粉末冶金法制备高钪铝钪合金靶材提供优质前级材料。
高含钪量铝钪合金靶材前级材料制备方法

[发明专利]一种铝钪合金扩散焊接靶材及其制备方法与应用-CN202011543862.0在审
发明人：吴道高;陈德宏;王志强;庞思明;徐明磊;钟嘉珉;钟强;程军;王育民 -专利权人：有研稀土高技术有限公司;有研稀土新材料股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种铝钪合金扩散焊接靶材及其制备方法与应用，包括铝钪合金靶坯、铝基合金背板及位于所述铝钪合金靶坯和铝基合金背板之间的中间层，所述中间层为铝层，所述中间层与所述铝钪合金靶坯之间、所述中间层与所述铝基合金背板之间均通过扩散焊接该方法相比直接扩散焊接温度可降低100‑150℃，有效解决了铝钪合金靶坯和铝合金背板在较高温条件下因收缩比例差异性大导致脆性断裂或者变形不能有效焊接的问题。
一种合金扩散焊接及其制备方法应用

[发明专利]一种铝钪合金靶材的成型方法-CN202011529707.3在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周友平;冯新印 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶材的成型方法，所述成型方法包括：将铝钪合金靶坯和锻模进行加热，之后将加热后的铝钪合金靶坯放入到喷涂有助剂的锻模进行锻压，得到铝钪合金靶材。本发明提供的成型方法，通过对成型工艺的设计，采用的模锻的方式，并且在锻造之前进行加热，解决了铝钪合金靶材在成型过程中开裂的问题，显著的提高了靶坯的利用率，节省物料成本及提高生产效率。
一种合金成型方法

[发明专利]一种铝钪合金靶材的制备方法-CN202010492396.1有效
发明人：童培云;蔡新志;朱刘;赵佳;白向钰;谢小林;郑双明 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝原料和钪原料通过冷坩埚悬浮熔炼，得到铝钪合金熔体；将铝钪合金熔体浇铸到模具上冷却成型，得到铝钪合金铸锭；将铝钪合金铸锭置于真空坩埚炉内，升温使铸锭熔融成为铝钪合金液；将铝钪合金液进行雾化后得到铝钪合金粉末；将铝钪合金粉末进行烧结后得到铝钪合金靶坯；将铝钪合金靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。本发明提供的一种铝钪合金靶材的制备方法，根据铝和钪的金属熔点相差悬殊特点，将铝原料分批次加入钪原料中进行熔炼，可以使合金靶材熔炼至完全合金化，而且采用熔化雾化的方式，制备出产品纯度高的铝钪合金粉，解决了现有技术制备铝钪合金靶材会造成合金分相的技术问题
一种合金制备方法

[发明专利]一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用-CN202010497464.3在审
发明人：蔡小勇;张科;曹建亮;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用，涉及铝钪合金制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；在惰性气体保护下将所述熔融合金液冷凝，得到铝钪合金铸锭；将所述铝钪合金铸锭依次进行电磁搅拌和重复热机械处理，得到铝钪合金靶坯。本发明在真空、惰性气氛下进行电弧熔炼，减小了铝钪合金中的氧含量，重复电弧熔炼、电磁搅拌和重复热机械加工，改善了铝钪合金铸态的组织并修复其缺陷，利用的水冷铜坩埚冷却速度快，减小了铝钪合金中钪的偏析，靶坯晶粒均匀
一种合金及其制备方法应用

[发明专利]铝钪合金靶材及其制备方法-CN201910728796.5有效
发明人：黄培;黄美松;王志坚;刘华;邓月华;马小波;文康;刘维 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钪合金靶材及其制备方法。其中制备方法包括：选取纯度在99.99％以上的金属铝和金属钪；按金属钪的质量百分比含量为5％～40％，金属铝的质量百分比含量为60％～95％配料，将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中，反复熔炼，得到预期的铝钪合金；将所述铝钪合金浇铸到模具中，得到铝钪合金靶坯；将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。采用本发明可以解决现有技术中靶材成分的均匀化难以实现，钪分布不均匀，靶材氧含量高，致密度低，合金纯度低，无法用来制备溅射镀膜的问题。
合金及其制备方法

[发明专利]铝钪靶材的制备方法-CN202010680008.2有效
发明人：樊玉川;傅臻;刘华;黄美松;李剑;王志坚;文康;周煌;邓月华 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种铝钪靶材的制备方法，包括如下步骤：将金属铝原料和金属钪原料混合熔炼，得到铝钪中间合金；以酒精为介质，将铝钪中间合金进行湿法球磨，通过真空干燥后得到合金粉；将合金粉与金属铝粉混匀，且压制成型，得到铝钪生坯；将铝钪生坯在800℃～1200℃，真空或惰性气氛保护下烧结1h～4h，得到铝钪合金靶坯；按照预设工艺对铝钪合金靶坯进行精加工，得到与预设工艺对应规格的铝钪靶材。利用本发明，能够解决现有技术中的由于高钪含量铝钪合金脆性大，熔炼铸锭后难以后续加工，以及制备得到的靶材成膜均匀性差等问题。
铝钪靶材制备方法

[发明专利]一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法-CN202210714592.8有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，属于半导体材料技术领域，所述的低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，包括以下步骤：(1)将浇铸得到的铝钪合金靶坯进行热轧或锻造处理；(2)将步骤(1)热轧或锻造处理后的靶坯进行热处理；(3)将步骤(2)热处理后的靶坯进行C扫描缺陷，并标记缺陷类型和位置；(4)将靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造；(5)将步骤(4)热轧或锻造处理后的靶坯再次进行C扫描，将靶坯加工至成品。本发明通过在热轧或者再经过HIP处理之后，经过C扫描，确认缺陷，并标记缺陷类型和位置，针对靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造，能够有效的消除缺陷，提升靶坯的质量。
一种低钪铝钪合金缺陷处理方法

[发明专利]一种铝钪靶材的制备方法-CN202010348639.4有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘;何坤鹏;赵宇飞;邓瑞 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种铝钪靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝钪合金块粉碎、筛分后得到铝钪合金粉末；将所述铝钪合金粉末与铝粉或钪粉按照一定比例进行混合，进行均质处理后得到混合粉末；将所述混合粉末进行烧结后得到铝钪靶坯；将所述铝钪靶坯进行机加工得到铝钪靶材。本发明提供的一种铝钪靶材的制备方法，通过采用铝钪合金粉末与铝粉或钪粉进行混合，制备低钪含量的铝钪靶材只需要添加铝粉混合，制备高钪含量的铝钪靶材只需要添加钪粉混合，不需要经过繁琐的熔炼过程，同时也能有效解决现有技术采用钪粉和铝粉混合后热压烧结，导致使用过多昂贵的金属钪粉而产生成分偏析、氧含量高和晶粒尺寸不均匀的技术问题。
一种铝钪靶材制备方法

[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法-CN201910728801.2有效
发明人：刘华;黄美松;樊玉川;王志坚;贾帅广;傅臻;姚茂海;杨露辉 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法。其中方法包括：选取金属铝和金属钪，并配料；将金属钪熔化，然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼，多次熔炼后冷却得到铝钪合金；将所述铝钪合金进行球磨，真空干燥得到合金粉，然后经预压制和真空烧结得到铝钪合金靶坯；将得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工，得到铝钪合金靶材，所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工。采用本发明使得铝钪合金靶材组织和化学成分更均匀，相对密度更高，达到99.0％以上，晶粒尺寸更细小，延展性更高；采用本发明还减少了缩孔、疏松缺陷；节省了原料成本；解决了合金脆性大，不能加工靶材的难题；可满足大规模集成电路用配线材料的需求
含量合金及其制备方法

[发明专利]一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用-CN201811144477.1在审
发明人：陈德宏;吴道高;何金江;钟嘉珉;闫缓;庞思明;张小伟;苗睿瑛;杨宏博;杨秉政 -专利权人：有研新材料股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了属于铝钪合金技术领域的一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用。本发明通过冷坩埚悬浮熔炼结合变频电磁搅拌制备的铝钪合金靶坯氧含量＜100ppm，铝、钪元素的质量百分数之和＞99.95％，纯度高且氧含量低，利于后期高质量成膜；铝钪合金靶坯中二次析出相体积百分数为5～25％，平均尺寸为20～45μm，外形为多边形和近球形，微观组织均匀，靶坯致密度得到显著提高，能有效避免铸锭和变形加工过程中微裂纹等内部缺陷的形成，显著提高靶材品质及成品率。
铝钪合金制备方法和应用冷坩埚悬浮熔炼体积百分数质量百分数变频电磁变形加工内部缺陷微观组织成品率近球形微裂纹析出相靶材成膜铸锭制备

[发明专利]一种铝钪合金靶材组分的检测方法及其应用-CN202211186911.9在审
发明人：蔡新志;童培云;冉成义;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N25/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钪合金靶材组分的检测方法及其应用，属于合金检测技术领域。所述检测方法包括以下步骤：将铝钪合金靶材置于悬浮熔炼炉内，并以200～300kw/min的速度调节功率至350～550kw进行熔炼，待合金熔体全熔后20s～50s内测试并记录对应熔体温度，并与铝钪合金靶材理论熔点进行对比，得铝钪合金靶材组分信息；本发明提供的检测方法能够无损、快速、低成本的得到铝钪合金靶材中的组分信息；并且本发明的铝钪合金靶材中组分的检测方法能够应用于实际的铝钪靶坯生产过程中，从而能够帮助快速、准确、高效且低成本的生产出特定钪含量的铝钪靶坯
一种合金组分检测方法及其应用

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