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[发明专利]量测系统、量测方法及其计量量测装置-CN201010278188.8无效
发明人：刘颖昌;戴君如 -专利权人：国产科技有限公司
申请日： 2010-09-10 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G01R31/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种电动车电池电量的量测系统、量测方法及其计量量测装置，量测系统包括前级单元、读取装置以及计量量测装置。计量量测装置包括电源单元、量测信号处理单元及近场通讯单元。前级单元提供一量测输入信号至量测信号处理单元，以产生一计量值。该计量值储存于近场通讯单元。当读取装置位于计量量测装置预设距离内，读取器与近场通讯单元建立连结且可读取该计量值。
系统方法及其计量装置

[发明专利]曲面量测路径规划方法、曲面量测方法及曲面量测系统-CN202210379163.X在审
发明人：黄进昌;邱明哲;朱建兴 -专利权人：盟立自动化股份有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种非接触式曲面量测路径规划方法、非接触式曲面量测方法及非接触式曲面量测系统。非接触式曲面量测系统能执行非接触式曲面量测方法，以对待测物的曲面进行量测。非接触式曲面量测方法包含：输入及规划步骤：输入待测物的三维图档，并执行非接触式曲面量测路径规划方法，以取得规划路径；设置步骤：将待测物设置于载台；移动步骤：使雷射传感器依据规划路径，对待测物的曲面进行量测通过非接触式曲面量测路径规划方法，所产生的规划路径，可以让雷射传感器以相对较少的活动量，完成对待测物的曲面的量测。
曲面路径规划方法系统

[发明专利]电阻量测系统及电阻量测装置-CN201710153400.X在审
发明人：陈仁和;李崇智;苟崴第;王皓冀 -专利权人：上海骐宏电驱动科技有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G01R27/14 文献下载
摘要：一种电阻量测系统及电阻量测装置,电阻量测装置包含一电流侦测器、串联的一标准电阻及一探针及一信号处理单元。电流侦测器侦测该输入电流，以产生一正比该输入电流大小的量测电流值。串联的一标准电阻及一探针总成用于供该输入电流流过，该标准电阻根据该输入电流产生一标准电压，该探针总成用于固定该待测金属物件，且受控制以依序量测该待测金属物件的每一待测区，以产生一对应每一待测区的量测电压信号处理单元接收来自该电流侦测器的该量测电流值、来自该标准电阻的该标准电压及来自该探针总成的该量测电压，且记录该标准电阻的一标准电阻值，并根据该标准电阻值、该标准电压及该量测电压进行运算，以产生一指示每一待测区的量测电阻值
标准电阻电阻量输入电流电流侦测器标准电压量测电压探针总成测装置量测信号处理单元金属物件串联量测电阻探针侦测运算记录

[发明专利]光学量测装置以及间隙量测方法-CN201510537461.7在审
发明人：刘冠贤;高定甲;洪颢庭;王一鸥;蔡侑宏;黄渤弘 -专利权人：华硕电脑股份有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明揭示一种光学量测装置以及间隙量测方法，用以量测电子装置的间隙。光学量测装置包括图像捕获设备以及图像处理装置。图像捕获设备用以获取包括间隙的图像画面。图像处理装置用以接收图像画面，并且对图像画面进行图像扫描操作，以量测间隙的宽度。本发明可快速地提供精准的量测结果。
光学装置以及间隙方法

[发明专利]血压量测装置及血压量测方法-CN201710176392.0在审
发明人：李永斌 -专利权人：美盛医电股份有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： A61B5/0205 文献下载
摘要：本发明的题目是一种血压量测装置与血压量测方法。一种血压量测装置包括一壳体、一第一电极、一压力感测单元。壳体具有一第一表面及一第二表面，第一电极设置于第一表面，以及压力感测单元设置于第二表面。其中血压量测装置系于一使用者的一身体部位上操作，身体部位内有一血管，当量测血压时，第一电极、压力感测单元以及血管在同一投影方向上至少部分重叠，使使用者接触第一电极时，压力感测单元能贴压身体部位。
血压装置方法

[发明专利]虚拟量测方法和虚拟量测装置-CN201910652892.6在审
发明人：朱墉 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种虚拟量测方法和虚拟量测装置，该虚拟量测方法用于预测膜层厚度，该虚拟量测方法包括：获取所述膜层对应的制程参数以及制程时间，根据参数速率关系，以及所述制程参数，确定所述制程参数对应的成膜速率，并根据参数速率关系，以及获取的制程参数，可确定膜层的成膜速率，然后根据获取的制程时间和膜层的成膜速率得到膜层的厚度，可消除制程时间对预测的影响，从而使得预测膜厚准确性提高，提高模型的拟合度，解决了现有虚拟量测方法存在预测膜厚不准确的技术问题
虚拟量测膜层制程参数制程成膜预测速率关系膜厚

[发明专利]血压量测装置及其血压量测方法-CN202380008436.2在审
发明人：高笙庭;冷赫 -专利权人：上海英医达医疗器械用品有限公司;英华达（上海）科技有限公司;英华达（上海）电子有限公司;英华达股份有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： A61B5/0225 文献下载
摘要：本发明提供了一种血压量测装置。此血压量测装置包括充气泵、匀速泄气阀以及控制电路。充气泵用以与压脉带相连接。匀速泄气阀用以与压脉带相连接。控制电路连接于充气泵。
血压装置及其方法

[发明专利]材积量测方法及材积量测设备-CN202111504215.3在审
发明人：李永仁;江承祐;林欣宜 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提供一种材积量测方法，其包括下列步骤。将透明载体设置在背景上方，并将待测物品放置在透明载体上以使待测物品的顶面与背景之间维持间隔距离。通过设置在透明载体上方的深度摄影机撷取放置在透明载体上的待测物品的影像，其中待测物品的影像包括深度信息，且间隔距离大于或等于深度摄影机的最小深度量测极限。根据待测物品的影像中的深度信息计算出待测物品的材积。本公开另提供一种材积量测设备以执行前述的材积量测方法。
材积方法设备

[发明专利]辅助量测治具及量测系统-CN202211185294.0在审
发明人：成镓伟 -专利权人：昆山联滔电子有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明涉及测量设备技术领域，具体公开了辅助量测治具及量测系统。该治具用于辅助量测待测产品，包括治具框架和定位轴；定位轴转动连接于治具框架，定位轴上固接有等分定位组件和装配组件，等分定位组件使装配组件能定位于多个量测位置之一，且定位轴在任意两个相邻的量测位置之间转动的角度相同；装配组件包括定位框架、滑动框架和把手，弹性件夹设于定位框架和滑动框架之间，弹性件能驱动滑动框架沿工作方向滑动并止动于装配位置，定位框架和位于装配位置的滑动框架能固定待测产品，把手能使位于装配位置的滑动框架相对定位框架移动该治具通过定位框架、滑动框架和把手的配合，实现了对待测产品的选择性固定，有助于对待测产品的辅助量测。
辅助量测治具系统

[发明专利]表面量测方法及表面量测系统-CN201710206887.3有效
发明人：周智川;杨沛哲;陈建国 -专利权人：均豪精密工业股份有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种表面量测方法及表面量测系统。表面量测方法用以量测待测晶圆的表面，包含以下步骤：利用表面量测装置对待测晶圆进行表面扫描，以取得待测晶圆的表面量测信息；利用移动装置依据表面量测信息的其中一个高度数据，使白光干涉仪移动至启始扫描位置。
表面方法系统

[发明专利]孔量测图形以及孔量测方法-CN201110366174.6有效
发明人：夏婷婷;毛智彪 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2011-11-17 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种孔量测图形以及孔量测方法。跟本发明的孔量测图形包括：第一部分、第二部分以及第三部分；其中，所述第一部分是至少包含三行三列的重复图形的重复图形区域，所述第二部分是一个“T”型图形翻转90度之后形成的图形，所述第三部分是一个“T”型图形根据本发明，提供了一种改善接触孔和/或通孔层密集区域量测关键尺寸的孔量测图形和方法，其中借助在接触孔和通孔层密集图形区域设置辅助量测图形，从而改善了其关键尺寸量测情况。
孔量测图形以及方法

[发明专利]取样量测系统及其取样量测方法-CN201610006634.7有效
发明人：陈彧 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种取样量测系统及其取样量测方法，本发明通过预先设定第一量测方案和第二量测方案，所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率，在判断所述批次在制品是高风险批次在制品，并且判断量测产能充足时，采用取样率较大的第一量测方案，能够及时了解工艺表现，降低产品报废率，提高制造良品率；在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品，或者判断量测产能不足时，采用取样率较小的第二量测方案，以缩短产品生产周期。因此本发明可以基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估。根据所述批次在制品的工艺风险高低，选择采用不同采样率的量测方案，能够兼顾缩短产品生产周期和及时反馈工艺表现的要求。
取样系统及其方法

[发明专利]量测参数确定和量测配方选择-CN201880053401.X有效
发明人： K·布哈塔查里亚;S·G·J·马斯杰森;M·J·诺特;A·J·登博夫;M·哈吉阿玛迪;F·法哈德扎德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-06-18 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种方法，该方法包括：对于使用图案化工艺创建的具有偏置的第一目标结构和不同偏置的第二目标结构的量测目标，获得包括用于第一目标结构的信号数据与用于第二目标结构的信号数据之间关系的量测数据，该量测数据是针对多个不同量测配方获得的，并且每个量测配方指定不同的测量参数；确定通过针对多个不同量测配方的量测数据的统计的拟合曲线或拟合函数作为参考；以及标识至少两个不同量测配方，所述至少两个不同量测配方的集体量测数据从所述参考的参数的变化超过或满足特定阈值
参数确定配方选择

[发明专利]控片量测方法及量测装置-CN202110108391.9有效
发明人：朱贺 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种控片量测方法及量测装置。所述控片量测方法包括如下步骤：固定一产品片，所述产品片上具有若干对准标记以及与所述对准标记分别对应的产品量测位点；根据所述对准标记确定所述产品量测位点；放置控片，所述控片在竖直方向上的投影与所述产品片对准重合本发明可以减少甚至是消除所述控片在测量过程中的位置误差，使得所述控片的量测位置精度可以达到产品级别，从而能够更好的对量测机台本身以及制程变化进行监控。
控片量测方法装置

[发明专利]缺陷量测装置和缺陷量测方法-CN201010609535.0无效
发明人：彭保仁;陈政宪;柯心怡;温博浚 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2010-12-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G01N25/72 文献下载
摘要：本发明公开一种缺陷量测装置和缺陷量测方法，该缺陷量测装置包括至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷样品的一第二端；以及一热像仪，用以量测样品的热影像；其中加热源和致冷源用以使得样品的热影像具有温度梯度
缺陷装置方法