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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]蚀刻金属氧化物和保护腔室部件-CN201980061918.8在审
发明人：阿希尔·N·辛格尔;达斯汀·扎卡里·奥斯丁;阿隆·加纳尼;丹尼尔·博特赖特 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：各种实施方案包括蚀刻金属氧化物膜的方法和化学物质。在一个实施方案中，一种蚀刻氧化锡(SnO2)膜的方法包括使用亚硫酰氯(SOCl2)化学物质产生与在相似的流量和处理条件下的Cl2化学物质相比高出达10倍的SnO2膜蚀刻速率，以及通过使用SOCl2从公开了其他方法、化学物质和技术。
蚀刻金属氧化物保护部件

[发明专利]基底加工设备、显示面板制造设备和制造显示面板的方法-CN202110356712.7在审
发明人：金永大;金眞锡;朴种熙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：该基底加工设备包括：第一工艺腔室，在第一工艺腔室中加工目标基底；第一罐，连接到第一工艺腔室，以将第一化学物质供应到第一工艺腔室；第二工艺腔室，在第二工艺腔室中加工目标基底；以及第二罐，连接到第二工艺腔室，以将第二化学物质供应到第二工艺腔室。供应到第一工艺腔室的第一化学物质中包含的金属离子具有比供应到第二工艺腔室的第二化学物质中包含的金属离子的离子浓度大的离子浓度。
基底加工设备显示面板制造方法

[发明专利]蚀刻金属氧化物和保护腔室部件-CN202210832513.3在审
发明人：阿希尔·N·辛格尔;达斯汀·扎卡里·奥斯丁;阿隆·加纳尼;丹尼尔·博特赖特 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：各种实施方案包括蚀刻金属氧化物膜的方法和化学物质。在一个实施方案中，一种蚀刻氧化锡(SnO2)膜的方法包括使用亚硫酰氯(SOCl2)化学物质产生与在相似的流量和处理条件下的Cl2化学物质相比高出达10倍的SnO2膜蚀刻速率，以及通过使用SOCl2从公开了其他方法、化学物质和技术。
蚀刻金属氧化物保护部件

[发明专利]反应物汽化器和相关系统与方法-CN201710795262.5有效
发明人： M·E·韦尔盖塞;E·J·希罗;C·L·怀特;K·范德如里奥;H·特霍斯特 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本文公开了与固体源化学物质汽化器容器和多腔室沉积模块相关的系统和方法。在一些实施方案中，固体源化学物质汽化器包括外壳底座和外壳盖。一些实施方案还包括被构造成安置于所述外壳底座内的第一和第二托盘，其中每个托盘界定适合于容纳固体源化学物质并且允许气体在它上方流动的第一蛇形路径。在一些实施方案中，多腔室沉积模块包括第一和第二气相反应室以及用以供应所述第一和第二气相反应室中的每一个的固体源化学物质汽化器容器。
反应物汽化器相关系统方法

[发明专利]生产率评价方法、生产率评价装置、程序以及记录介质-CN201380046060.0在审
发明人：藤森洋治;正角彰朗 -专利权人：积水化学工业株式会社
申请日： 2013-09-19 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： G06Q50/04 文献下载
摘要：本发明的生产率评价方法包括下述步骤，第一碳质量计算步骤:在通过下述生产方法生产化学物质时，算出废弃物中所含的碳的质量，所述生产方法包括从废弃物中得到气体的第一工序、以及将所述第一工序中得到的气体作为原料并使用催化剂合成化学物质的第二工序；第二碳质量计算步骤:算出通过所述生产方法生产的所述化学物质中所含的碳的质量；生产率评价步骤:基于所述第一碳质量计算步骤中算出的碳的质量、以及所述第二碳质量计算步骤中算出的碳的质量，来评价所述化学物质的生产率
生产率评价方法装置程序以及记录介质

[发明专利]使用顺序化工品施加对半导体衬底进行表面处理的方法和装置-CN200980137280.8有效
发明人：卡特里娜·米哈利钦科;伊扎克·萨巴;德拉甘·波德莱斯尼克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-07-13 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：确定第一清洁化学物质和第二清洁化学物质并根据该工艺参数确定与该第一和第二清洁化学物质相关联的多个施加参数。使用施加参数以受控方式顺序施加该第一和第二施加化学物质以基本上除去该聚合物残留，同时保留该栅极结构的结构完整性。
使用顺序化工施加对半导体衬底进行表面处理方法装置

[发明专利]涂敷设备和涂敷方法-CN200680046966.2有效
发明人：泽田郁夫;松崎和爱;田中崇;岩下光秋;宗像瑞惠 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-12-15 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明是一种涂覆设备，其包括：水平地固定衬底的衬底固定部件；将化学物质供应至被衬底固定部件水平固定的衬底的中心部分的化学物质喷嘴；使衬底固定部件旋转以便通过离心力使化学物质在衬底表面散开从而使化学物质涂敷在整个表面上的旋转机构
敷设方法

[发明专利]对用于光刻掩模应用的富含硼的膜的设计-CN201180024727.8无效
发明人： V·恩古耶;Y·陈;M·巴尔塞努;I·罗弗劳克斯;夏立群;D·R·威蒂 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：通过改变化学成分，可针对不同的蚀刻化学物质来最优化富含硼的材料的选择性及蚀刻速率。可将富含硼的材料以多层沉积在层堆叠基板上，并以一图案进行蚀刻。可接着以多重蚀刻化学物质蚀刻暴露的层堆叠。各个富含硼的层可具有对于多重蚀刻化学物质为最优化的不同化学成分。
用于光刻应用富含设计

[发明专利]一种可内掺可外喷的水性渗透结晶防水剂及其制备方法-CN202210926076.1在审
发明人：闫永春;王希 -专利权人：昆明晶活生物科技有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C04B24/12 文献下载
摘要：本发明公开一种可内掺可外喷的水性渗透结晶防水剂及其制备方法，由晶核剂、结晶助剂、氟活性剂、阻垢剂、防冻剂、还原剂、水化促进剂和去离子水组成，按照一定比例混合后通过磁化水器制备而成。本发明是采用无机化学物质为主，辅助部分有机化学物质制备成的液体状材料，通过渗透作用进入混凝土内部，促进水泥水化，同时提供与水泥水化产物相同的结晶核，晶核与水泥水化的副产物氢氧化钙快速发生结晶反应，增加混凝土的密实度等各方面指标
一种可内掺可外喷水性渗透结晶防水剂及其制备方法

[发明专利]含稀释控制系统的化学喂料机-CN201610538561.6在审
发明人：扎卡里·哈里斯·亚当斯 -专利权人：拱化工有限公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： B01F1/00 文献下载
摘要：一个生产溶解化学物质的溶液的化学喂料机，包括一个料斗、一个水泵、一个从水泵延伸的供水管路，一个化学溶液制备单元，它包括一个贮存器和一个溶解装置和一个稀释控制装置，它们分别各自连接到上述供水管路。溶解装置具有一个向含固体化学物质的漏斗喷水的喷雾歧管，以接触并溶解化学物质。稀释控制装置向喷雾歧管反方向喷水，喷向贮存器来帮助调整化学溶液的浓度，以达到所需的化学溶液浓度范围。因此，稀释控制装置使得化学喂料机应用广泛。
稀释控制系统化学喂料

[发明专利]含稀释控制系统的化学喂料机-CN201280045609.X无效
发明人：扎卡里·哈里斯·亚当斯 -专利权人：拱化工有限公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： C02F1/68 文献下载
摘要：一个生产溶解化学物质的溶液的化学喂料机，包括一个料斗、一个水泵、一个从水泵延伸的供水管路，一个化学溶液制备单元，它包括一个贮存器和一个溶解装置和一个稀释控制装置，它们分别各自连接到上述供水管路。溶解装置具有一个向含固体化学物质的漏斗喷水的喷雾歧管，以接触并溶解化学物质。稀释控制装置向喷雾歧管反方向喷水，喷向贮存器来帮助调整化学溶液的浓度，以达到所需的化学溶液浓度范围。因此，稀释控制装置使得化学喂料机应用广泛。
稀释控制系统化学喂料

[发明专利]基片湿法处理设备及使用该设备对化学物质加热的方法-CN200710008396.4无效
发明人：李炳埾;许东澈;曹模炫 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2007-01-29 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：提供了一种在化学池中具有加热部分的基片湿法处理设备及使用该设备对用于基片湿法处理的化学物质加热的方法。所述设备包括化学池，化学池含有用于基片湿法处理的化学物质。加热部分安装在化学池中，并且加热部分包括加热元件和容纳加热元件的外壳。在外壳中填充惰性气体。
湿法处理设备使用化学物质加热方法

[发明专利]光导纤维化学传感器及检测装置和检测方法-CN00107821.6无效
发明人：梁传信 -专利权人：梁传信
申请日： 2000-06-23 - 公布日： 2002-01-23 - 主分类号： G01N21/77 文献下载
摘要：本发明是关于检测化学物质的光导纤维化学传感器。提供一种应答速度快、灵敏度高、安全可靠、选择性强的耐久性传感器以及检测方法。用于检测非极性化学物质的传感器是由极性高聚物构成光导纤维的芯材[1],其外侧由能够与被检物质发生极性作用的至少一种以上的非极性聚物构成包层[2];用于检测极性化学物质的传感器是由非极性高聚物构成光导纤维的芯材[1],其外侧由能够与被检物质发生极性作用的至少一种以上的极性高聚物构成包层[2]。
光导纤维化学传感器检测装置方法

[实用新型]一种还原性物质检测装置-CN201822130686.2有效
发明人：王雪娇;张帆;陈双龙;常龙娇;王秋实 -专利权人：渤海大学
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本实用新型的一种还原性物质检测装置，包括箱体和紫外灯，其中：紫外灯设置在箱体上方，箱体上方设有胶体加入口，强氧化物加入口和待检物加入口，箱体侧壁设有观测口，箱体上部材质为可透过紫外光材料，以便于紫外光照射胶体本实用新型的还原性物质检测装置结构简单，检测方法简单易行，适用范围广，既可以检测固体粉末也可以检测液体还原性物质。
还原性物质检测装置加入口本实用新型紫外灯箱体底部中心磁力搅拌器紫外光材料紫外光照射固体粉末检测液体强氧化物箱体侧壁箱体上部观测口可透过流出口检测

[发明专利]原位实时等离子腔室状态监测-CN201910457530.1在审
发明人： T-Y·谢;S·R·库拉库拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：所述自由基的所述频率和所述波长与至少一种选定的化学物质相关联。将所相关联的自由基与指数进行比较。所述指数包括所述至少一种选定的化学物质中的每种化学物质的目标范围。
原位实时等离子状态监测

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