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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]运动台-CN202221505894.6有效
发明人：陈啸虎;江旭初;杜江;周羽;吴火亮;袁嘉欣 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种运动台，包括承载台和与承载台连接以驱动承载台运动的驱动主体，驱动主体包括：固定座；轴向移动部，沿预定直线可移动地设置在固定座上；周向转动部，绕预定直线可转动地设置在轴向移动部的容纳槽内且与承载台连接以对轴向移动部的沿预定直线的移动进行导向；旋转导向部，设置在轴向移动部和周向转动部之间且位于容纳槽内，包括可相对转动地连接的第一连接件和第二连接件，第一连接件与轴向移动部固定连接，第二连接件与周向转动部固定连接，以解决现有技术中的运动装置的结构不够紧凑
运动

[外观设计]运动台-CN202030170656.4有效
发明人：杨日升 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台。2.本外观设计产品的用途：用于对物体进行定位，尤其是垂向和旋转运动方向的定位。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
运动

[外观设计]运动台-CN202030170462.4有效
发明人：陈啸虎 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台。2.本外观设计产品的用途：用于对物体进行定位，尤其是垂向和旋转运动方向的定位。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
运动

[外观设计]运动台-CN202230222160.6有效
发明人：吴火亮;江旭初;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于精密定位平台。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
运动

[外观设计]运动台-CN202230387390.8有效
发明人：陈啸虎;江旭初;杜江;周羽;吴火亮;袁嘉欣 -专利权人：苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于对物体进行定位，尤其是垂向或旋转运动方向的定位，应用在晶圆检测领域。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
运动

[发明专利]运动台测量系统、方法以及运动台-CN201610193277.X有效
发明人：程国苗;贾辉;杨庆华;连国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动台测量系统、方法以及运动台，该运动台测量系统包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块本发明采用三向正交振动的加速度传感器，可以同时测量粗动电机在X、Y、Z三个方向的加速度，并输出三个方向的加速度值，实现空间上的监控，加速度值具有相位超前，提前判断的优点，可以及时保护运动台，解决掉现有技术中存在的安全隐患且本发明中的每个粗动电机上的加速度传感器均设置有两组，可以精确获得运动台的实际速度和位移。
运动测量系统方法以及

[外观设计]水平运动台-CN202030170461.X有效
发明人：吴火亮 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：水平运动台。2.本外观设计产品的用途：用于对物体进行定位，尤其是水平运动方向的定位。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
水平运动

[外观设计]运动台套件-CN202030594909.0有效
发明人：袁嘉欣 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台套件。2.本外观设计产品的用途：用于对物体进行定位，尤其是垂向和旋转运动方向的定位。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。其中套件1为运动台，套件2为托盘。
运动套件

[发明专利]桌球运动的运动台-CN96197630.6无效
发明人：安德鲁·塔卡克斯 -专利权人：安德鲁·塔卡克斯
申请日： 1996-08-22 - 公布日： 2003-04-23 - 主分类号： A63B67/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种运动台，特别是用于玩桌球、例如乒乓球的运动台，它具有在打球的过程中与球接触的作用表面及支承该作用表面并放置在地面上的支座。该运动台的特征在于支座[1]以框架的形式构成，该运动台具有一个由三个作用表面[8，9，10]构成的开放式运动区[13]，作用表面[8，9，10]由支座[1]支承，该运动台包括两个等尺寸并设置成V字形的下作用表面
桌球运动

[发明专利]运动台移动机构、运动台系统与光刻装置-CN201711060732.X在审
发明人：管博然;李志龙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种运动台移动机构、运动台系统与光刻装置，所述的机构，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别连接所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。相较于现有技术中垂向位置不可调的机械方案，本发明可通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。
运动台导向杆固定件连接件垂向位置光刻装置移动机构弹簧弹簧两端方向设置滚轮连接一端连接滚轮

[发明专利]运动台控制系统、运动台系统与曝光装置-CN201710912242.1有效
发明人：袁智行;吴立伟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种运动台控制系统、运动台系统与曝光装置，其中的控制系统，包括运动台、测量系统、PID控制器，所述PID控制器包括积分模块、比例增益模块以及微分模块，所述输入误差经所述比例增益模块处理后分别输入至微分模块以及积分模块
运动控制系统系统曝光装置

[发明专利]运动台驱动装置-CN201610862123.5在审
发明人：张霖;胡兵;季汉川 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种运动台驱动装置，用于向所述运动台提供驱动力。所述运动台驱动装置包括驱动粗动台运动的长行程电机组和驱动微动台运动的短行程电机组；还包括磁阻电机组和微动台控制模块。所述磁阻电机组用于为所述微动台加、减速度提供推力；所述微动台控制模块通过一闭环反馈通道控制所述短行程电机组出力和通过一开环前馈通道控制所述磁阻电机组出力。解决现有的粗、微动台响应速度不够的问题。
运动驱动装置

[发明专利]气浮运动台-CN202010955162.6在审
发明人：杨晓峰;王攀;吴立伟;刘维珂;张佩瑾 -专利权人：复旦大学
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H02N15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；
运动

[发明专利]旋转运动台-CN202210117849.1在审
发明人：李伟民;罗岩;谢扬;陆海亮 -专利权人：江苏集萃苏科思科技有限公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B25H1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转运动台，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。本申请结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于横向作用力的抗干扰性，同时提高旋转运动台的工作稳定性和可靠性。
旋转运动

[发明专利]直线运动台-CN202210117889.6在审
发明人：李伟民;罗岩;谢扬;陆海亮 -专利权人：江苏集萃苏科思科技有限公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种直线运动台，包括线性促动器、环状外圈、环状内圈、板簧，环状外圈与环状内圈同轴设置且环状外圈与环状内圈之间固定连接有板簧，线性促动器设置于环状内圈的内侧并与基台固定连接，环状外圈与环状内圈中的一个与基台固定连接，另一个则与负载台面相连，线性促动器的运动轴与负载台面相连。本申请结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于惯性力的抗干扰性，同时提高直线运动台的工作稳定性和可靠性。
直线运动

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