专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]半导体钢瓶及半导体沉淀设备-CN202223270662.X有效
  • 关帅;野沢俊久 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2022-12-07 - 2023-03-28 - F22B1/28
  • 本实用新型提供了一种半导体钢瓶及半导体沉淀设备,涉及半导体设备的技术领域,包括钢瓶主体、入口端、出口端和第一换热机构;第一换热机构与入口端连接,第一换热机构用于对经入口端进入至钢瓶主体内部的加热,以使进入至钢瓶主体内部的气温度与钢瓶主体内部液态源的液面温度相配适,通过控制进入到钢瓶内的温度以稳定液态源的液面温度,保证了蒸汽的稳定发生和输出,最后通过出口端用于将和蒸汽输出,使得成膜质量更好,保持一致性,缓解了现有技术中存在的钢瓶内部由于输入导致内部液面温度不稳定,以及间接导致出口可能携带未完全汽化的小液滴,导致成膜质量存在异常的技术问题。
  • 半导体钢瓶沉淀设备
  • [发明专利]一种用于前驱体固体源的钢瓶-CN202211472550.4在审
  • 张晓斌;李胜帅;林俊元;谈益强;杨孝欢 - 浙江陶特半导体材料有限公司
  • 2022-11-18 - 2023-02-28 - F17C11/00
  • 本发明公开了一种用于前驱体固体源的钢瓶,包括:固体源钢瓶主体,固体源钢瓶主体连接有加热控温系统;所述的源钢瓶主体内部设有通道,所述的通道侧壁设有朝向固体源钢瓶底部并连通外界的开口,所述的通道由中心向外侧等间距螺旋布置;所述的加热控温系统位于固体源钢瓶主体底部,所述的加热控温系统包括加热器,所述的加热器由中心向外侧等间距螺旋布置,所述的加热器与开口对应并延伸至开口内部;在有限的空间内延长了的流通路径,能够充分有效保证对前躯驱体化学品的带出量通过加热器伸入到通道的侧壁中进行加热,保证通道的均匀受热,提高化学品的加热效率,缩小了固体源钢瓶的整体尺寸。
  • 一种用于前驱固体钢瓶
  • [发明专利]前驱体材料气化特性的测定装置及其测试方法-CN202111419766.X在审
  • 陈德义;颜桂花;钱瑶;王荣 - 南大光电半导体材料有限公司
  • 2021-11-26 - 2022-02-15 - G01N33/00
  • 本发明涉及前驱体材料气化特性的测定装置及测试方法,储罐,提供源;气流量调节阀,调节气流量,连接于储罐与气流量计之间;气流量计,控制气流量,与前驱体钢瓶连接;气压计,测定前驱体钢瓶内被测样品的相分压;温度计二,测定前驱体钢瓶内被测样品温度;前驱体钢瓶,置于恒温加热控温模块中,二者置于热重分析仪上;温度计一,测定恒温加热控温模块温度;混合气流量调节阀,调节样品气流量,连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间;颗粒度仪,测定液体前驱体材料汽化后相产品的颗粒物含量;混合气流量计,与颗粒度仪连接;截止阀,连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。
  • 前驱材料气化特性测定装置及其测试方法
  • [实用新型]前驱体材料气化特性的测定装置-CN202122978230.3有效
  • 陈德义;颜桂花;钱瑶;王荣 - 南大光电半导体材料有限公司
  • 2021-11-26 - 2022-04-12 - G01N33/00
  • 本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置,储罐,提供源;气流量调节阀,调节气流量,连接于储罐与气流量计之间;气流量计,控制气流量,与前驱体钢瓶连接;气压计,测定前驱体钢瓶内被测样品的相分压;温度计二,测定前驱体钢瓶内被测样品温度;前驱体钢瓶,置于恒温加热控温模块中,二者置于热重分析仪上;温度计一,测定恒温加热控温模块温度;混合气流量调节阀,调节样品气流量,连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间;颗粒度仪,测定液体前驱体材料汽化后相产品的颗粒物含量;混合气流量计,与颗粒度仪连接;截止阀,连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。
  • 前驱材料气化特性测定装置
  • [发明专利]用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性的测试装置及其方法-CN202210545642.4在审
  • 徐耀中;徐涛 - 江苏南大光电材料股份有限公司
  • 2022-05-17 - 2022-07-26 - G01F1/76
  • 本发明涉及用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性的测试装置及方法,钢瓶经质量流量控制器连接至有源钢瓶,有源钢瓶置于水浴槽中,有源钢瓶经质量流量计与蒸汽收集瓶连接,蒸汽收集瓶经压力控制器连接冷阱,真空泵连接冷阱。通过气体种类匹配的MFC,气流被调节为定量的气流,有源钢瓶被置于水浴槽中,被加热恒温在某一温度范围,通过改变阀门启闭,控制的方向,源蒸汽和通过MFM后,得到实时流量数据,源蒸汽被冷却在收集瓶中;可测试所有的液态和固态前驱体,可使用同一钢瓶,比较不同纯度MO源的优劣;可使用同一MO源,测试钢瓶的结构优劣;可使用钢瓶,测试新研发的MO源的蒸汽性能;选择范围远远大于成套设备。
  • 用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性装置及其方法
  • [实用新型]用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性的测试装置-CN202221189368.3有效
  • 徐耀中;徐涛 - 江苏南大光电材料股份有限公司
  • 2022-05-17 - 2022-09-06 - G01F1/76
  • 本实用新型涉及用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性的测试装置,钢瓶与质量流量控制器相连,质量流量控制器分别与质量流量计以及有源钢瓶相连,有源钢瓶置于水浴槽中,有源钢瓶与质量流量计相连,质量流量计分别与压力控制器以及蒸汽收集瓶相连通过气体种类匹配的MFC,气流被调节为定量的气流,有源钢瓶被置于水浴槽中,被加热恒温在某一温度范围,通过改变阀门启闭,控制的方向,源蒸汽和通过MFM后,得到实时流量数据,源蒸汽被冷却在收集瓶中;测试线基本上可以测试所有的液态和固态前驱体,可使用同一钢瓶,比较不同纯度MO源的优劣。
  • 用于测试有源钢瓶蒸汽稳定性装置
  • [实用新型]一种油色谱在线监测设备的控温装置-CN202222419735.0有效
  • 刘富文;王六玉;黄春艺;张潍中;陈龙;吴逸军 - 福建优迪电力技术有限公司
  • 2022-09-13 - 2023-04-07 - G01N30/30
  • 本实用新型公开了一种油色谱在线监测设备的控温装置,其包括监测控温主体、钢瓶控温箱,钢瓶控温箱正面设有钢瓶箱门,其内部下底面安装有钢瓶底座,内部左侧面设有钢瓶气体端口、钢瓶电磁阀,内部上底面设有钢瓶温度监测器,钢瓶底座上设有钢瓶放置槽、钢瓶板,钢瓶放置槽内放置有钢瓶,监测控温主体包括主体外壳、集气罩、色谱室温度监测器、进电磁阀、风机、电源配饰器、无线网络结构、中央控制器、气体加热结构、出气电磁阀、色谱室电磁阀本实用新型的有益效果有:其可用于在冬季低温环境下对油色谱在线监测装置和瓶实现自动控温,使其在正常工作温度范围内工作,提高了稳定性,节约冬季设备运行的气成本和人力成本。
  • 一种色谱在线监测设备装置

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